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[[SiO2Etch]] **2.11 赤外分光法によるその場実時間観察技術の開発 　エッチング反応表面を“その場時間分解”で観察する手段とし... 1. 高真空を必要としないこと， 2. 対象とするSiO2 とa-C:F に関する化学情報が得られること， 3. 十分な時間分解能が得られること， などが挙げられる．プラズマエッチングは減圧下（1Pa 程度）... 　これまでに，多くの研究機関から赤外分光法によるエッチン... 　ATR 法の他に，表面高感度化の手段として外部反射分光(RAS*... 　以上のその場観察に関するフロンティア的な研究成果から，... • 単分子層レベルを検出する感度を如何に得るか， • エッチングという一過性過渡現象を高い時間分解能で如何に... • SiO2 の縦光学(LO) モードとa-C:F 膜のピークのオーバーラ... • 気相の信号のオーバーラップを如何に回避するか， などに留意する必要があった．これらの点に関して， • 全反射減衰吸収分光(ATR) 法を用いた単原子層レベル検出可... • 高速測定機能を有する分光器を使用した十分な時間分解能， • ピーク・オーバーラップを避けるため，LO モードが検出不可... • 気相での吸収に勝る表面感度を得る工夫 などの手段を講じることにした．この中で一番の問題はATR 法... 　プラズマエッチングの表面がイオン衝撃を受けるため，基板...

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[[SiO2Etch]] **2.11 赤外分光法によるその場実時間観察技術の開発 　エッチング反応表面を“その場時間分解”で観察する手段とし... 1. 高真空を必要としないこと， 2. 対象とするSiO2 とa-C:F に関する化学情報が得られること， 3. 十分な時間分解能が得られること， などが挙げられる．プラズマエッチングは減圧下（1Pa 程度）... 　これまでに，多くの研究機関から赤外分光法によるエッチン... 　ATR 法の他に，表面高感度化の手段として外部反射分光(RAS*... 　以上のその場観察に関するフロンティア的な研究成果から，... • 単分子層レベルを検出する感度を如何に得るか， • エッチングという一過性過渡現象を高い時間分解能で如何に... • SiO2 の縦光学(LO) モードとa-C:F 膜のピークのオーバーラ... • 気相の信号のオーバーラップを如何に回避するか， などに留意する必要があった．これらの点に関して， • 全反射減衰吸収分光(ATR) 法を用いた単原子層レベル検出可... • 高速測定機能を有する分光器を使用した十分な時間分解能， • ピーク・オーバーラップを避けるため，LO モードが検出不可... • 気相での吸収に勝る表面感度を得る工夫 などの手段を講じることにした．この中で一番の問題はATR 法... 　プラズマエッチングの表面がイオン衝撃を受けるため，基板...

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