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*2024
** 第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月22日~25日 ...
-[24a-61B-7]カーボンハードマスクの膜特性に対する基板バイ...
--〇安藤 悠介1、近藤 博基2、堤 隆嘉3、石川 健治3、関根 誠...
---2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:3061B (6号館)
-[24a-61B-8]パルスプラズマにおける負イオンエネルギー分布...
--〇(M2)都地 一輝1、堤 隆嘉2、蕭 世男2、関根 誠2、堀 勝2...
-[25a-61B-2]基板昇温下でのGaN選択エッチング
--〇中村 昭平1,2、谷出 敦1,2、灘原 壮一1,2、石川 健治2、...
---2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
-[25a-61B-5]パルスプラズマを用いた絶縁膜加工における荷電...
--〇福島 航平1、中村 雄吾1、都地 一輝2、トラン トラングエ...
---2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
-[25a-61B-8]計算化学によるC3F8とC3F6の解離過程の比較
--〇林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学工)
---2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
-[22a-12H-7]がん細胞におけるPAL内オートファジー誘導物質に...
--〇山川 太嗣1、中村 香江2、梶山 広明2、豊國 伸哉2、水野 ...
---2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:1512H (1号館)
-[24p-P10-8]プラズマ活性化溶液によるイチゴ果実成熟促進
--〇橋爪 博司1、松本 省吾1、坪田 憲紀1、三田 薫1、阿部 明...
---2024年3月24日(日) 16:00 〜 18:00P10 (9号館)
others
-[24a-61B-5]プラズマ誘起欠陥の発生と修復~RIE-SiO2に伴うS...
--〇布村 正太1、堤 隆嘉2、深沢 正永1、堀 勝2 (1.産総研、2...
---2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:3061B (6号館)
-[22a-12H-1]大気圧酸化窒素ラジカル源への水蒸気添加効果
--〇杉江 恭輔1、山本 航大1、呉 準席2、田中 宏昌3、堀 勝3...
---2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:1512H (1号館)
-[22p-12H-2]酸化窒素ラジカル照射によるリグニン分解酵素の...
--〇石川 雄偉1、大橋 龍一1、加藤 大志1、清水 元亨1、加藤 ...
---2024年3月22日(金) 14:15 〜 17:0012H (1号館)
-[22p-12H-4]酸素ラジカル活性化L-トリプトファン溶液処理シ...
--〇荒木 祥多1、太田 智通1、塚越 啓央1、堀 勝2、伊藤 昌文...
---2024年3月22日(金) 14:15 〜 17:0012H (1号館)
-[22p-12H-1][第24回業績賞(研究業績)受賞記念講演] 低温プ...
--〇堀 勝1 (1.名大低温プラズマ)
---2024年3月22日(金) 13:00 〜 13:4512H (1号館)
**秋応用物理学会 9/16-20
-18a-A31-6 9/18 10:15-10:30
--EBEP CVD法を⽤いたBN膜形成における基板種の影響
---針⾕ 達, 井上 健⼀, 髙島 成剛, 上坂 裕之, ⽯川 健治, ...
-18p-A31-4 9/18 14:15-14:30
--電⼦線⽀援原⼦層エッチングにおけるGaN表⾯フッ素化反応
---泉 祐輔, 堤 隆嘉, 近藤 博基, 関根 誠, ⽯川 健治, 堀 勝
-18p-A31-5 9/18 14:30-14:45
--酸素プラズマとギ酸蒸気によるPtの原⼦層エッチング時の表...
---三輪 和弘, グエン ティ トゥイ ガー, ⾚⽊ ⼤⼆郎, 岡東 健, 堀 ...
-18p-A31-10 9/18 15:45-16:00
--紫外光照射時のGaN表⾯エッチング反応機構
---⾼橋 遼⼈, 酒井 流星, ⽯川 健治, 関根 誠, 堤 隆嘉, 堀 勝
-18p-A31-14 9/18 17:00-17:15
--⾼アスペクト⽐ホール内におけるラジカルの付着確率の輸送...
---来島 拓海, 堤 隆嘉, 関根 誠, 堀 勝, ⽯川 健治
-18p-A31-17 9/18 17:45-18:00
--CF4/H2プラズマによるSiO2低温エッチングのRFバイアス依存性
---今井 祐輔, 蕭 世男, 関根 誠, 堤 隆嘉, ⽯川 健治, 堀 勝
-19a-A36-1 9/19 9:00-9:15
--カーボンナノウォール成⻑時の構造制御と基板温度効果
---ゴ クアンミン, ノ ヴァンノン, ⼩⽥ 修, ⽯川 健治, 堀 勝
-20a-A33-5 9/20 10:00-10:15
--温度制御した酸素ラジカル活性化ピロール溶液の殺菌効果
---渡邊 拓哉, 北川 ⼤慈, ⽯川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌⽂
-20a-A33-6 9/20 10:15-10:30
--酸素ラジカル活性化インドール溶液による中性pH領域での殺...
---北川 ⼤慈, 渡邊 拓哉, 志⽔ 元亨, 加藤 雅⼠, ⽯川 健治,...
-20a-A33-10 9/20 11:30-11:45
--SiC被覆カーボンナノウォール上でのヒト間葉系幹細胞への電...
---⼩野 浩毅, ⽥中 ⽂⼦, ⽯川 健治, ⽵内 和歌奈, 上原 賢...
-20p-A33-2 9/20 13:45-14:00
--酸素ラジカル活性L-トリプトファン溶液による線維芽細胞の...
---⽥島 慶⼈, ⽯川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌⽂
-20p-A33-4 9/20 14:15-14:30
--プラズマ活性乳酸リンゲル液による正常細胞のマイトファジ...
---森 皓平, ⽯川 健治, ⽥中 宏昌, 堀 勝
-20p-A33-5 9/20 14:30-14:45
--マンモスフェア由来細胞を標的としたプラズマ活性溶液の影響
---鈴⽊ 崇⽮, ⼭川 太嗣, ⽥中 ⽂⼦, ⽔野 正明, 豊國 伸哉,...
-20p-A33-6 9/20 14:45-15:00
--Heプラズマジェットを⽤いた直接照射による豚⽪膚への影響
---⼭⽥ 真帆, 中村 ⾹江, 梶⼭ 広明, 豊國 伸哉, ⽔野 正明,...
-20p-A33-7 9/20 15:00-15:15
--プラズマ活性乳酸リンゲル液(PAL)が及ぼすプラナリアの再...
---⼩島 陽太, ⽯川 健治, 橋⽖ 博司, 堀 勝, ⽥中 宏昌
-20p-A32-11 9/20 16:15-16:30
--スピントラップ法を⽤いたプラズマ/液相界⾯ラジカルの実時...
---井上 健⼀, 近藤 隆, ⽯川 健治, 堀 勝
* 2025
第86回応用物理学会秋季学術講演会
-7p-S103-8 2025年9月7日(日) 16:15 〜 16:30
--窒化チタンの熱サイクル原子層エッチング(Thermal-Cyclic A...
---平井 俊也、篠田 和典、グエン ティ トゥイ ガー、井上 健...
-10a-N323-9 2025年9月10日(水) 11:15 〜 11:30
--機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析(2)
---高橋 康太朗、安藤 悠介、堤 隆嘉、井上 健一、関根 誠、'...
-10p-N324-1 2025年9月10日(水) 13:30 〜 13:45
--酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt膜の異方性サイクルエ...
---三輪 和弘、グエン ティ トゥイ ガー、赤木 大二郎、堀 勝...
-10p-N324-2 2025年9月10日(水) 13:45 〜 14:00
--電子線支援原子層エッチングにおけるフッ素化 GaN 表面の反...
---島津 大隼、平井 俊也、堤 隆嘉、関根 誠、井上 健一、''...
-10p-N324-4 2025年9月10日(水) 14:15 〜 14:30
--プラズマエッチングによるダイヤモンドトレンチ形状の精密...
---大矢 拓人、トラン トラン グエン、グエン ティ トゥイ ガ...
-10p-N324-7 2025年9月10日(水) 15:15 〜 15:30
--気相中ラジカル組成比がCFxの付着確率に及ぼす影響
---来島 拓海、堤 隆嘉、関根 誠、井上 健一、''石川 健治''
-10p-N324-9 2025年9月10日(水) 15:45 〜 16:00
--ラジカル種の深さ依存性がSiエッチング中の側壁保護に与え...
---土岡 柊斗、井上 健一、堤 隆嘉、関根 誠、''石川 健治''
-10p-N324-10 2025年9月10日(水) 16:00 〜 16:15
--エッチングガス解離過程の光電子-光イオンコインシデンス...
---トラン トラン グエン、岩山 洋士、林 俊雄、井上 健一、...
-10p-N324-11 2025年9月10日(水) 16:15 〜 16:30
--CF3OCF3分子の電子物性と解離
---林 俊雄、''石川 健治''、関根 誠、堀 勝
-10p-N324-12 2025年9月10日(水) 16:30 〜 16:45
--CF3OC2F5分子の電子物性と解離
---林 俊雄、''石川 健治''、関根 誠、堀 勝
-9a-N206-6 2025年9月9日(火) 10:45 〜 11:00
--Si0.7Ge0.3/Si/Si0.7Ge0.3積層構造のCF4/H2プラズマエッチ...
---尾崎 孝太朗、今井 祐輔、今井 友貴、堤 隆嘉、''石川 健...
-7a-N323-1 2025年9月7日(日) 9:00 〜 9:15
--NOラジカルの逐次生成に与えるプラズマ照射条件の影響
---山川 太嗣、井上 健一、''石川 健治''、堀 勝、田中 宏昌
-7a-N323-2 2025年9月7日(日) 9:15 〜 9:30
--複数回PAL処理による抗腫瘍効果の調査
---若司 瞭、キャメリア ミロン、中村 香江、''石川 健治''、...
-7a-N323-3 2025年9月7日(日) 9:30 〜 9:45
--プラズマ処理が抗体-抗原相互作用に与える影響の調査
---葛 紹云、水野 寛子、''石川 健治''、鎌足 雄司、大塚 智...
-7p-N323-2 2025年9月7日(日) 13:45 〜 14:00
--酸素ラジカル活性化インドール溶液の殺菌物質の分析
---北川 大慈、清水 健太、志水 元亨、加藤 雅士、西川 泰弘...
-7p-N323-9 2025年9月7日(日) 15:45 〜 16:00
--大気圧質量分析法を用いたイネ種皮の酸化窒素ラジカル透過...
---川口 幸大、塚越 啓央、田中 宏昌、''石川 健治''、堀 勝...
-7p-N323-10 2025年9月7日(日) 16:00 〜 16:15
--非平衡大気圧プラズマを用いた植物種子の発芽性向上とその...
---伊藤 輝喜、橋爪 博司、近藤 隆、''石川 健治''、堀 勝、...
-9p-P10-3
--酸素ラジカル照射銅クロロフィリンナトリウム溶液の殺菌効果
---福井 公輝、田中 宏昌、''石川 健治''、堀 勝、伊藤 昌文
-9p-P10-4
--酸素ラジカル活性化インドール溶液中の長寿命殺菌物質
---清水 健太、北川 大慈、田中 宏昌、''石川 健治''、堀 勝...
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*2024
** 第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月22日~25日 ...
-[24a-61B-7]カーボンハードマスクの膜特性に対する基板バイ...
--〇安藤 悠介1、近藤 博基2、堤 隆嘉3、石川 健治3、関根 誠...
---2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:3061B (6号館)
-[24a-61B-8]パルスプラズマにおける負イオンエネルギー分布...
--〇(M2)都地 一輝1、堤 隆嘉2、蕭 世男2、関根 誠2、堀 勝2...
-[25a-61B-2]基板昇温下でのGaN選択エッチング
--〇中村 昭平1,2、谷出 敦1,2、灘原 壮一1,2、石川 健治2、...
---2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
-[25a-61B-5]パルスプラズマを用いた絶縁膜加工における荷電...
--〇福島 航平1、中村 雄吾1、都地 一輝2、トラン トラングエ...
---2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
-[25a-61B-8]計算化学によるC3F8とC3F6の解離過程の比較
--〇林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学工)
---2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
-[22a-12H-7]がん細胞におけるPAL内オートファジー誘導物質に...
--〇山川 太嗣1、中村 香江2、梶山 広明2、豊國 伸哉2、水野 ...
---2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:1512H (1号館)
-[24p-P10-8]プラズマ活性化溶液によるイチゴ果実成熟促進
--〇橋爪 博司1、松本 省吾1、坪田 憲紀1、三田 薫1、阿部 明...
---2024年3月24日(日) 16:00 〜 18:00P10 (9号館)
others
-[24a-61B-5]プラズマ誘起欠陥の発生と修復~RIE-SiO2に伴うS...
--〇布村 正太1、堤 隆嘉2、深沢 正永1、堀 勝2 (1.産総研、2...
---2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:3061B (6号館)
-[22a-12H-1]大気圧酸化窒素ラジカル源への水蒸気添加効果
--〇杉江 恭輔1、山本 航大1、呉 準席2、田中 宏昌3、堀 勝3...
---2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:1512H (1号館)
-[22p-12H-2]酸化窒素ラジカル照射によるリグニン分解酵素の...
--〇石川 雄偉1、大橋 龍一1、加藤 大志1、清水 元亨1、加藤 ...
---2024年3月22日(金) 14:15 〜 17:0012H (1号館)
-[22p-12H-4]酸素ラジカル活性化L-トリプトファン溶液処理シ...
--〇荒木 祥多1、太田 智通1、塚越 啓央1、堀 勝2、伊藤 昌文...
---2024年3月22日(金) 14:15 〜 17:0012H (1号館)
-[22p-12H-1][第24回業績賞(研究業績)受賞記念講演] 低温プ...
--〇堀 勝1 (1.名大低温プラズマ)
---2024年3月22日(金) 13:00 〜 13:4512H (1号館)
**秋応用物理学会 9/16-20
-18a-A31-6 9/18 10:15-10:30
--EBEP CVD法を⽤いたBN膜形成における基板種の影響
---針⾕ 達, 井上 健⼀, 髙島 成剛, 上坂 裕之, ⽯川 健治, ...
-18p-A31-4 9/18 14:15-14:30
--電⼦線⽀援原⼦層エッチングにおけるGaN表⾯フッ素化反応
---泉 祐輔, 堤 隆嘉, 近藤 博基, 関根 誠, ⽯川 健治, 堀 勝
-18p-A31-5 9/18 14:30-14:45
--酸素プラズマとギ酸蒸気によるPtの原⼦層エッチング時の表...
---三輪 和弘, グエン ティ トゥイ ガー, ⾚⽊ ⼤⼆郎, 岡東 健, 堀 ...
-18p-A31-10 9/18 15:45-16:00
--紫外光照射時のGaN表⾯エッチング反応機構
---⾼橋 遼⼈, 酒井 流星, ⽯川 健治, 関根 誠, 堤 隆嘉, 堀 勝
-18p-A31-14 9/18 17:00-17:15
--⾼アスペクト⽐ホール内におけるラジカルの付着確率の輸送...
---来島 拓海, 堤 隆嘉, 関根 誠, 堀 勝, ⽯川 健治
-18p-A31-17 9/18 17:45-18:00
--CF4/H2プラズマによるSiO2低温エッチングのRFバイアス依存性
---今井 祐輔, 蕭 世男, 関根 誠, 堤 隆嘉, ⽯川 健治, 堀 勝
-19a-A36-1 9/19 9:00-9:15
--カーボンナノウォール成⻑時の構造制御と基板温度効果
---ゴ クアンミン, ノ ヴァンノン, ⼩⽥ 修, ⽯川 健治, 堀 勝
-20a-A33-5 9/20 10:00-10:15
--温度制御した酸素ラジカル活性化ピロール溶液の殺菌効果
---渡邊 拓哉, 北川 ⼤慈, ⽯川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌⽂
-20a-A33-6 9/20 10:15-10:30
--酸素ラジカル活性化インドール溶液による中性pH領域での殺...
---北川 ⼤慈, 渡邊 拓哉, 志⽔ 元亨, 加藤 雅⼠, ⽯川 健治,...
-20a-A33-10 9/20 11:30-11:45
--SiC被覆カーボンナノウォール上でのヒト間葉系幹細胞への電...
---⼩野 浩毅, ⽥中 ⽂⼦, ⽯川 健治, ⽵内 和歌奈, 上原 賢...
-20p-A33-2 9/20 13:45-14:00
--酸素ラジカル活性L-トリプトファン溶液による線維芽細胞の...
---⽥島 慶⼈, ⽯川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌⽂
-20p-A33-4 9/20 14:15-14:30
--プラズマ活性乳酸リンゲル液による正常細胞のマイトファジ...
---森 皓平, ⽯川 健治, ⽥中 宏昌, 堀 勝
-20p-A33-5 9/20 14:30-14:45
--マンモスフェア由来細胞を標的としたプラズマ活性溶液の影響
---鈴⽊ 崇⽮, ⼭川 太嗣, ⽥中 ⽂⼦, ⽔野 正明, 豊國 伸哉,...
-20p-A33-6 9/20 14:45-15:00
--Heプラズマジェットを⽤いた直接照射による豚⽪膚への影響
---⼭⽥ 真帆, 中村 ⾹江, 梶⼭ 広明, 豊國 伸哉, ⽔野 正明,...
-20p-A33-7 9/20 15:00-15:15
--プラズマ活性乳酸リンゲル液(PAL)が及ぼすプラナリアの再...
---⼩島 陽太, ⽯川 健治, 橋⽖ 博司, 堀 勝, ⽥中 宏昌
-20p-A32-11 9/20 16:15-16:30
--スピントラップ法を⽤いたプラズマ/液相界⾯ラジカルの実時...
---井上 健⼀, 近藤 隆, ⽯川 健治, 堀 勝
* 2025
第86回応用物理学会秋季学術講演会
-7p-S103-8 2025年9月7日(日) 16:15 〜 16:30
--窒化チタンの熱サイクル原子層エッチング(Thermal-Cyclic A...
---平井 俊也、篠田 和典、グエン ティ トゥイ ガー、井上 健...
-10a-N323-9 2025年9月10日(水) 11:15 〜 11:30
--機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析(2)
---高橋 康太朗、安藤 悠介、堤 隆嘉、井上 健一、関根 誠、'...
-10p-N324-1 2025年9月10日(水) 13:30 〜 13:45
--酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt膜の異方性サイクルエ...
---三輪 和弘、グエン ティ トゥイ ガー、赤木 大二郎、堀 勝...
-10p-N324-2 2025年9月10日(水) 13:45 〜 14:00
--電子線支援原子層エッチングにおけるフッ素化 GaN 表面の反...
---島津 大隼、平井 俊也、堤 隆嘉、関根 誠、井上 健一、''...
-10p-N324-4 2025年9月10日(水) 14:15 〜 14:30
--プラズマエッチングによるダイヤモンドトレンチ形状の精密...
---大矢 拓人、トラン トラン グエン、グエン ティ トゥイ ガ...
-10p-N324-7 2025年9月10日(水) 15:15 〜 15:30
--気相中ラジカル組成比がCFxの付着確率に及ぼす影響
---来島 拓海、堤 隆嘉、関根 誠、井上 健一、''石川 健治''
-10p-N324-9 2025年9月10日(水) 15:45 〜 16:00
--ラジカル種の深さ依存性がSiエッチング中の側壁保護に与え...
---土岡 柊斗、井上 健一、堤 隆嘉、関根 誠、''石川 健治''
-10p-N324-10 2025年9月10日(水) 16:00 〜 16:15
--エッチングガス解離過程の光電子-光イオンコインシデンス...
---トラン トラン グエン、岩山 洋士、林 俊雄、井上 健一、...
-10p-N324-11 2025年9月10日(水) 16:15 〜 16:30
--CF3OCF3分子の電子物性と解離
---林 俊雄、''石川 健治''、関根 誠、堀 勝
-10p-N324-12 2025年9月10日(水) 16:30 〜 16:45
--CF3OC2F5分子の電子物性と解離
---林 俊雄、''石川 健治''、関根 誠、堀 勝
-9a-N206-6 2025年9月9日(火) 10:45 〜 11:00
--Si0.7Ge0.3/Si/Si0.7Ge0.3積層構造のCF4/H2プラズマエッチ...
---尾崎 孝太朗、今井 祐輔、今井 友貴、堤 隆嘉、''石川 健...
-7a-N323-1 2025年9月7日(日) 9:00 〜 9:15
--NOラジカルの逐次生成に与えるプラズマ照射条件の影響
---山川 太嗣、井上 健一、''石川 健治''、堀 勝、田中 宏昌
-7a-N323-2 2025年9月7日(日) 9:15 〜 9:30
--複数回PAL処理による抗腫瘍効果の調査
---若司 瞭、キャメリア ミロン、中村 香江、''石川 健治''、...
-7a-N323-3 2025年9月7日(日) 9:30 〜 9:45
--プラズマ処理が抗体-抗原相互作用に与える影響の調査
---葛 紹云、水野 寛子、''石川 健治''、鎌足 雄司、大塚 智...
-7p-N323-2 2025年9月7日(日) 13:45 〜 14:00
--酸素ラジカル活性化インドール溶液の殺菌物質の分析
---北川 大慈、清水 健太、志水 元亨、加藤 雅士、西川 泰弘...
-7p-N323-9 2025年9月7日(日) 15:45 〜 16:00
--大気圧質量分析法を用いたイネ種皮の酸化窒素ラジカル透過...
---川口 幸大、塚越 啓央、田中 宏昌、''石川 健治''、堀 勝...
-7p-N323-10 2025年9月7日(日) 16:00 〜 16:15
--非平衡大気圧プラズマを用いた植物種子の発芽性向上とその...
---伊藤 輝喜、橋爪 博司、近藤 隆、''石川 健治''、堀 勝、...
-9p-P10-3
--酸素ラジカル照射銅クロロフィリンナトリウム溶液の殺菌効果
---福井 公輝、田中 宏昌、''石川 健治''、堀 勝、伊藤 昌文
-9p-P10-4
--酸素ラジカル活性化インドール溶液中の長寿命殺菌物質
---清水 健太、北川 大慈、田中 宏昌、''石川 健治''、堀 勝...
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