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#author("2020-12-02T23:30:03+09:00","default:ishikawa","ishikawa")
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[[FrontPage]]
[[博士論文>https://ci.nii.ac.jp/naid/500000350118]] 著者名:石川健治
-フルオロカーボンプラズマによるシリコン酸化膜エッチング表面反応解析に関する研究
-東北大学 博士 (工学) 甲第10868号 (2006年3月24日) [[要旨(pdf)>https://tohoku.repo.nii.ac.jp/?action=repository_uri&item_id=96985&file_id=18&file_no=1]], [[序論>SiO2Etching2]], [[手法>SiO2Etching3]], [[第3章>SiO2Etching4]], [[第4章>SiO2Etching5]], [[結論>SiO2Etching6]], [[付録>SiO2Etching7]]
-Surface reactions during silicon oxide etching using fluorocarbon plasma
[[Abstract>SiO2Etching]],
[[博士論文(石川健治)>SiO2Etch]]
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[[原稿を書く >Writing]]
[[ブログ >Blogs]]
[[計算化学 >CompChem]]
[[発表スライド >Presentations]]
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[[堀研修士論文]], [[堀研博士論文]]
[[研究ハイライト>Highlights]]
[[グロー放電について>GlowDischarge]]
[[電子物性>Electronics]]
[[数式>math_typesetting]]
[[ナノプロセス工学特論]]
上付き,下付きの表示 [[参考>http://acompass.net/centos6/?CentOS6%20%E3%82%B5%E3%83%BC%E3%83%90%E3%83%BC%E6%A7%8B%E7%AF%89/Wiki%E3%82%B5%E3%82%A4%E3%83%88%E6%A7%8B%E7%AF%89/PukiWiki%E6%94%B9%E9%80%A0%EF%BC%96]]
[[電磁波工学]]
&sup(13);C H&sub(2);
[[誘電体工学]]
&sup(13);C H&sub(2);
[[物理数学]]
[[エッチング]]
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Link GEC International Online Plasma Seminar - IOPS [[(Web):https://www.apsgec.org/main/iops.php]]
Link International Low Temperature Plasma Community (ILTPC)[[(Web):https://mipse.umich.edu/iltpc.php]]
[[UPWARDS]]
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[[大型研究ロードマップ>Roadmap]]
[[Plasma Global Forum>PGF]]
[[学振]]
[[業績メモ]]
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[[解析メモ>Hamiltonian]]
[[学生>DoctorStudents]]
[[TTN 業績>TTN]]
[[専攻長>Senkocho]]
農耕と園芸2024年3月号◇【連載】クローズアップ! 農業最新技術 プラズマを取り入れて農業生産性の向上を目指す 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター 特任教授 堀 勝さん 特任講師 橋爪博司さん [[(雑誌Web):https://www.seibundo-shinkosha.net/magazine/science/85772/]]