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• ナノプロセス工学特論 へ行く。
  • 1 (2020-11-20 (金) 23:22:33)

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Seminar

ナノプロセス 工学特論

• 1. ナノプロセス工学とは何か？ ナノスケールとは
• 2. デバイス作製の実例　まずプロセスをみてみよう
• 　トランジスタと配線　回路技術・ULSI設計技術との結びつき
• 　マイクロ電子機械システム(MEMS)
• 　健康診断デバイス
• 　コラム：生物学
• 3. 酸化・拡散プロセス
• 　コラム：電界効果（MOS）デバイスとナノポアDNAシーケンシング
• 4. 製膜　熱化学気相成長、物理スパッタ
• 　絶縁物、半導体、金属　材料の膜付け
• 　コラム：太陽電池
• 5. 加工　ウェットエッチング、プラズマエッチング
• 　物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング
• 　プラズマ物理・シース物理による理解
• 　反応工学　平衡支配と速度論支配
• 　プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析
• 　コラム：ナノ分析
• 6. リソグラフィー　高分子光化学、光学
• 7. ウェットプロセス　化学機械研磨、メッキ、自己組織化
• 　非線形力学、非平衡熱統計力学
• 　コラム：DNAオリガミ
• 8. リスクや社会的影響をどう考えるか？
• 9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。
• 10. まとめ