ナノプロセス工学特論 のバックアップ差分(No.1)


#author("2020-11-20T23:22:33+09:00","default:ishikawa","ishikawa")
[[Seminar]]

ナノプロセス 工学特論

-1. ナノプロセス工学とは何か? ナノスケールとは
-2. デバイス作製の実例 まずプロセスをみてみよう
- トランジスタと配線 回路技術・ULSI設計技術との結びつき
- マイクロ電子機械システム(MEMS)
- 健康診断デバイス 
- コラム:生物学
-3. 酸化・拡散プロセス
- コラム:電界効果(MOS)デバイスとナノポアDNAシーケンシング
-4. 製膜 熱化学気相成長、物理スパッタ
- 絶縁物、半導体、金属 材料の膜付け
- コラム:太陽電池
-5. 加工 ウェットエッチング、プラズマエッチング
- 物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング
- プラズマ物理・シース物理による理解
- 反応工学 平衡支配と速度論支配
- プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析
- コラム:ナノ分析
-6. リソグラフィー 高分子光化学、光学
-7. ウェットプロセス 化学機械研磨、メッキ、自己組織化
- 非線形力学、非平衡熱統計力学
- コラム:DNAオリガミ
-8. リスクや社会的影響をどう考えるか?
-9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。
-10. まとめ