#author("2020-11-20T23:22:33+09:00","default:ishikawa","ishikawa") [[Seminar]] ナノプロセス 工学特論 -1. ナノプロセス工学とは何か? ナノスケールとは -2. デバイス作製の実例 まずプロセスをみてみよう - トランジスタと配線 回路技術・ULSI設計技術との結びつき - マイクロ電子機械システム(MEMS) - 健康診断デバイス - コラム:生物学 -3. 酸化・拡散プロセス - コラム:電界効果(MOS)デバイスとナノポアDNAシーケンシング -4. 製膜 熱化学気相成長、物理スパッタ - 絶縁物、半導体、金属 材料の膜付け - コラム:太陽電池 -5. 加工 ウェットエッチング、プラズマエッチング - 物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング - プラズマ物理・シース物理による理解 - 反応工学 平衡支配と速度論支配 - プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析 - コラム:ナノ分析 -6. リソグラフィー 高分子光化学、光学 -7. ウェットプロセス 化学機械研磨、メッキ、自己組織化 - 非線形力学、非平衡熱統計力学 - コラム:DNAオリガミ -8. リスクや社会的影響をどう考えるか? -9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。 -10. まとめ