Blog20220501 のバックアップ(No.1)


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プラズマ流動工学 Plasma flow engineering / 西山秀哉著. -- 東京図書出版. リフレ出版 (発売) , 2021.7

1.はじめに
2.プラズマ流動の機能性
3.プラズマ流動システム
4.電磁場下のプラズマ流動
5.混相プラズマ流動
6.おわりに

プラズマ流体工学の応用と新たな展開 / 西山秀哉 ターボ機械 第21巻 614ページ (1993年10月)

プラズマは,エネルギーを加えることにより気体の一部が電離してイオン群,電子群,中性粒子群等から構成され,巨視的には電気的中性で,プラズマ構成粒子の挙動は個別性と集団性を有する第4の相である.電離度により完全電離プラズマと弱電離プラズマ,熱平衡度により熱(平衡)プラズマと低温(非平衡)プラズマに大別される.
プラズマ流を,多機能性とプラズマ粒子間の相互干渉を有する超微粒子群の熱流動と解釈する.
プラズマは,高いエネルギー密度,化学的高活性,高制御性,非平衡性や多種の光情報を有する流体である.
プラズマ材料プロセシング 機能性を有する新素材および超微粒子創製プロセスへの応用
プラズマ冶金,プラズマ切断
低温プラズマは,わずかな荷電粒子と多数の中性ラジカルから構成された熱非平衡プラズマである.イオンの大きな運動エネルギーを利用して,膜形成や表面反応過程が行われるプロセスで使われる.
プラズマCVD,スパッタリング,イオンプレーティング,表面改質,エッチング,
プラズマ推進,プラズマ燃焼
近未来の新たな展開 1.プラズマ流の電離・再結合および励起等の素過程,荷電粒子群の電磁場下での特異な挙動や非平衡性およびミクロ構造を考慮した精密なモデリングと基礎式の構築さらにシミュレーション.2. 非平衡プラズマ流と混入微粒子あるいは固体表面との伝熱・反応機構および熱・運動量相互交換の輸送現象解明とプラズマ粒子との相関.3.迅速なプラズマ診断法の確立や温度・圧力依存性のある輸送係数の決定法,さらにはプラズマパラメータ片化の可視化.4.プラズマ流の機能性の促進と電磁場やレーザーによる最適制御法の確立.