Book のバックアップソース(No.3)

#author("2020-11-22T14:59:00+09:00","default:ishikawa","ishikawa")
[[FrontPage]]

*English Books [#qf9558c7]
//&ref(book_plasmamed.jpg);


-2. [["Plasma Medical Science">https://www.elsevier.com/books/plasma-medical-science/toyokuni/978-0-12-815004-7]] (Academic Press, July 10, 2018） [[web:https://www.elsevier.com/books/plasma-medical-science/toyokuni/978-0-12-815004-7]], [[Amazonで購入:https://www.amazon.co.jp/gp/product/0128150041/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=0128150041&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]
--Chapter 2 Physical and Chemical Basis of Nonthermal Plasma　[[DOI:https://doi.org/10.1016/B978-0-12-815004-7.00002-0]]
--Chapter 2.1 Introduction 
//---&ref(PlasmaMedicalScience2-1.pdf);
--Chapter 2.4 Optical diagnostics of atmospheric pressure plasma
--Chapter 2.5 Electrical diagnostics
--Chapter 2.6 Plasma chemistry of reactive species in gaseous phase
//---&ref(PlasmaMedicalScience2-6.pdf);
--Chapter 2.8 Reaction of reactive species in cell culture medium
//---&ref(PlasmaMedicalScience2-8.pdf);

//&ref(book_misra.jpg);

-1. [["Cold Plasma in Food and Agriculture, Fundamentals and Applications">http://store.elsevier.com/Cold-Plasma-in-Food-and-Agriculture/isbn-9780128013656/]] (Academic Press, Aug. 2016) ed. by  N. N. Misra, Oliver Schlüter, P. J. Cullen [[web>http://store.elsevier.com/Cold-Plasma-in-Food-and-Agriculture/isbn-9780128013656/]], [[DOI:http://dx.doi.org/10.1016/B978-0-12-801365-6.00005-6]], [[Amazonで購入:https://www.amazon.co.jp/gp/product/0128013656/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=0128013656&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]

--Chapter 5. "Plasma Diagnostics", 


*書籍執筆 [#qaaadae3]

-9. 「プラズマプロセス技術」プラズマ・核融合学会編　林康明編集委員　（森北出版, Jan 27, 2017） [[web:https://www.morikita.co.jp/books/book/2887]], [[Amazonで購入:https://www.amazon.co.jp/gp/product/462777561X/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=462777561X&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]

--第７章　計測技術とプロセス解析　７．２節　[[表面計測>Book05]]　分担執筆

-8. 『化学便覧 応用化学編 第7版』（丸善, Jan, 2014） [[web:http://pub.maruzen.co.jp/book_magazine/7kagakubinran/index.html]]
--7.5.2 「ドライエッチング」　分担執筆

-7. 『精密加工と微細構造の形成技術 －材料･プロセスの最適化、トラブル対策－』 [[web:http://www.gijutu.co.jp/doc/docbookfp/b_1720.htm]] (技術情報協会, July 31, 2013)　
--第2章第2節[2] [[ArFフォトレジストのプラズマエッチング技術>Book07]]　分担執筆

-6. 「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成（表面技術協会編）」 [[web:http://www.coronasha.co.jp/np/isbn/9784339046311/]] （コロナ社, May 20, 2013） [[Amazonで購入:http://www.amazon.co.jp/gp/product/4339046310/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=4339046310&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]

--第３章　ドライプロセスによる薄膜形成と表面処理　3.4節「[[ドライエッチング>Book06]]」 分担執筆 

-5. 「次世代ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術と膜・界面の物性科学」 [[web:http://www.nts-book.co.jp/item/detail/summary/buturi/20120720_66.html]] (エヌティエス出版, July 20, 2012)　
--第５編　絶縁成膜とエッチング　[[第５章　層間絶縁膜の成膜とエッチング>Book04]]　分担執筆 pp. 309-222

-4. 「レジストプロセスの最適化テクニック」 [[web:http://www.johokiko.co.jp/publishing/BC110901.php]]  （情報機構, September 30, 2011）　
--[[第６章　エッチング工程の手法およびレジスト・レジストパターンへの影響>Book03]] 　分担執筆

-3. 「有機汚染物質／アウトガスの発生メカニズムとトラブル対策事例集」, （技術情報協会 2008年）　
--[[第５章　半導体プロセス洗浄方法とその効果>Book02]] 分担執筆

-2. 「エレクトロニクス洗浄技術」, （技術情報協会 2007年）　
--[[第１３章　シリコン基板の洗浄>Book01]]　分担執筆

-1． 「[[半導体ドライ洗浄技術の開発現況と展望>Book10]]」, （工業技術会主催「次世代半導体洗浄における課題と解決技術」 )

*雑誌 [#hd0455bd]

工業材料 (2006年9月)　半導体プロセス洗浄方法
精密工学会 (2004年6月)　半導体表面のドライ清浄化


*その他 [#o5983fe3]

[[平成15年度成果報告書>Book11]] (ASET, 有機酸蒸気による酸化銅表面の清浄化)

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