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Kenji Ishikawa, ph. D

Professor

Center for low-temperature plasma sciences
Center for low-temperature plasma sciences and

and Plasma nanoprocess science laboratory in the research group of future electronics creation,
Plasma nanoprocess science laboratory in the research group of future electronics creation,

Department of Electronics, Graduate School of Engineering

[[Nagoya University>http://www.nagoya-u.ac.jp]]

Address: Furo-cho, Chikusa, Nagoya, Aichi 464-8601 Japan

phone/fax: +81-52-788-6077

e-mail: ishikawa.kenji_at_nagoya-u.jp


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