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[[FrontPage]] *English Books [#qf9558c7] //&ref(book_plasmamed.jpg); -2. [["Plasma Medical Science">https://www.elsevier.com/b... --Chapter 2 Physical and Chemical Basis of Nonthermal Pla... --Chapter 2.1 Introduction //---&ref(PlasmaMedicalScience2-1.pdf); --Chapter 2.4 Optical diagnostics of atmospheric pressure... --Chapter 2.5 Electrical diagnostics --Chapter 2.6 Plasma chemistry of reactive species in gas... //---&ref(PlasmaMedicalScience2-6.pdf); --Chapter 2.8 Reaction of reactive species in cell cultur... //---&ref(PlasmaMedicalScience2-8.pdf); //&ref(book_misra.jpg); -1. [["Cold Plasma in Food and Agriculture, Fundamentals ... --Chapter 5. "Plasma Diagnostics", *和書 [#qaaadae3] -12. 「エッチングの高度化と3次元構造の作製技術」　（S&T出... --第1章　加工技術の基礎と高度化，第3節　ドライエッチング... -11. 「シリコンと化合物半導体の超精密・微細加工プロセス技... --第14章　「GaN系デバイスに向けたプラズマエッチング技術」... -10. 「先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術」(技... --第５章 ドライエッチング技術の開発動向とプロセス制御 第... -9. 「プラズマプロセス技術」プラズマ・核融合学会編　林康... --第７章　計測技術とプロセス解析　７．２節　表面計測　分... -8. 『化学便覧 応用化学編 第7版』（丸善, Jan, 2014） [[(W... --7.5.2 「ドライエッチング」　分担執筆 -7. 『精密加工と微細構造の形成技術 －材料･プロセスの最適... --第2章第2節[2] ArFフォトレジストのプラズマエッチング技術... // [[(Web):http://www.gijutu.co.jp/doc/docbookfp/b_1720.h... -6. 「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成（表面技術協... --第３章　ドライプロセスによる薄膜形成と表面処理　3.4節「... -5. 「次世代ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術と... --第５編　絶縁成膜とエッチング　第５章　層間絶縁膜の成膜... -4. 「レジストプロセスの最適化テクニック」（情報機構, Sep... --第６章　エッチング工程の手法およびレジスト・レジストパ... // [[(Web):http://www.johokiko.co.jp/publishing/BC110901.... -3. 「有機汚染物質／アウトガスの発生メカニズムとトラブル... --第５章　半導体プロセス洗浄方法とその効果 分担執筆　[[(... -2. 「エレクトロニクス洗浄技術」 （技術情報協会 2007年）　 --第１３章　シリコン基板の洗浄　分担執筆　[[(原稿)>Book01]] -1． 「半導体ドライ洗浄技術の開発現況と展望」 （工業技術... *雑誌 [#hd0455bd] 工業材料 (2006年9月)　半導体プロセス洗浄方法 精密工学会 (2004年6月)　半導体表面のドライ清浄化 *その他 [#o5983fe3] 平成15年度成果報告書 (ASET, 有機酸蒸気による酸化銅表面の... #include(Footer,notitle)

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