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2009年以前の国内 会議の講演リスト
***1992年 [#e786d49a]
-1. 藤村修三, ''石川健治'', 小川力:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(1)”
---1992 年春季第39 回応用物理学会関係連合講演会日本大学19...
-2. ''石川健治'', 藤村修三, 森治久:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(2)”
---1992 年秋季第53 回応用物理学会関係連合講演会関西大学19...
***1993年 [#g2b9a778]
-3. 小川洋輝, ''石川健治'', 藤村修三, 森治久, 鈴木雅史:
--“水素終端シリコン表面の自然酸化過程”
---1993 年春季第40 回応用物理学会関係連合講演会青山学院大...
-4. ''石川健治'', 猪股カルロス, 小川洋輝, 藤村修三, 森治久:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(4)”
---1993 年春季第40 回応用物理学会関係連合講演会青山学院大...
-5. ''石川健治'', 猪股カルロス, 小川洋輝, 藤村修三, 森治久:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(3)”
---1993 年春季第40 回応用物理学会関係連合講演会青山学院大...
----
-6. 藤村修三, 小川洋輝, ''石川健治'', 猪股カルロス, 森治久:
--“FT-IR-ATR, FT-IR-RASを用いたSi 自然酸化膜成長過程の観察”
---信学技報SDM 93-7, (1993), p. 43.
-7. ''石川健治'', 小川洋輝, 猪股カルロス, 藤村修三:
--“赤外反射吸収(FT-IR-RAS) 法によるシリコン酸化膜の観察”
---第44 回半導体・集積回路技術シンポジウム東京1993年6 月1...
-8. 小川洋輝, ''石川健治'', 猪股カルロス, 藤村修三, 森治...
--“赤外反射吸収測定法によるシリコン自然酸化膜の構造解析”
---1993 年秋季第54 回応用物理学会学術講演会北海道大学1993...
-9. 藤村修三, 小川洋輝, 猪股カルロス, 山崎健, 鈴木美紀, ...
--“表面洗浄と酸化膜構造”
---セミコンSEMI テクノロジーシンポジウム93, 幕張1993 年12...
***1994年 [#b405094d]
-10. 小川洋輝, ''石川健治'', 鈴木美紀, 早見由香, 藤村修三...
--“純水希釈HF 処理後のシリコン表面の溶存酸素量依存性”
---1994 年春季第41 回応用物理学会関係連合講演会明治大学19...
-11. ''石川健治'', 小川洋輝, 猪股カルロス, 藤村修三, 森治...
--“赤外反射吸収分光法によるシリコン酸化膜の観察(5)”
---1994 年春季第41 回応用物理学会関係連合講演会明治大学19...
----
-12. 藤村修三, ''石川健治'', 小川洋輝:
--“FT-IR-RAS によるSi 酸化膜の構造解析”
---第22回UCT シンポジウム, 東京1994 年8 月29 日31 日p. 297.
-13. 猪股カルロス, 山崎健, ''石川健治'', 小川洋輝, 藤村修...
--“赤外反射吸収測定法による化学酸化膜構造への洗浄プロセス...
---1994 年秋季第55 回応用物理学会学術講演会名城大学1994 ...
-14. 藤村修三, ''石川健治'', 小川洋輝:
--“FT-IR-RAS を用いたSi/SiO2 界面構造の解析”
---第23 回UCT シンポジウム, 東京1994 年11 月16 日~18 日p...
***1995年 [#ud26b319]
-15. ''石川健治'', 小川洋輝, 押田澄子, 鈴木腕, 藤村修三:
--“赤外反射吸収分光法によるシリコン酸化膜の観察(6)”
---1995 年春季第42 回応用物理学会関係連合講演会東海大学19...
-16. 押田澄子, ''石川健治'', 鈴木腕, 山崎健, 藤村修三, 森...
--“シリコン酸化膜構造の熱処理条件依存性(1)”
---1995 年春季第42 回応用物理学会関係連合講演会東海大学19...
-17. 久保田和宏, 小川洋輝, 小田島貴信, ''石川健治'', 川崎...
--“F/Si 反応のin-situ RAS/XPS 観察”
---1995 年春季第42 回応用物理学会関係連合講演会東海大学19...
----
-18. 押田澄子, ''石川健治'', 鈴木腕, 藤村修三:
--“シリコン酸化膜構造の熱処理条件依存性(2)”
---1995 年秋季第56 回応用物理学会学術講演会金沢工科大学19...
***1996年 [#nf3b1bdf]
-19. ''石川健治'', 小川洋輝, 押田澄子, 鈴木腕, 藤村修三:
--“赤外分光法によるSi-SiO2 界面の評価”
---薄膜表面分科会研究報告, 極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
-20. ''石川健治'', 内山雄司, 押田澄子, 小川洋輝, 藤村修三:
-- “赤外反射吸収分光法によるシリコン酸化膜の観察(7)”
---1996 年春季第43 回応用物理学会関係連合講演会東洋大学19...
-21. 小川洋輝, ''石川健治'', 鈴木美紀, 早見由香, 藤村修三:
--“塩酸溶液処理後の水素終端シリコン表面の状態”
---1996 年春季第43 回応用物理学会関係連合講演会東洋大学 1...
-22. 内山雄司, ''石川健治'', 押田澄子, 藤村修三:
--“シリコン酸化膜中のトラップ生成とアニール温度依存性”
---1996 年春季第43 回応用物理学会関係連合講演会東洋大学 1...
----
-23. 小川洋輝, 早見由香, 鈴木美紀, ''石川健治'', 藤村修三:
--“低溶存酸素純水希釈HF-HCl溶液処理後の水素終端シリコン表...
---1996 年秋季第57 回応用物理学会学術講演会九州産業大学19...
***1997年 [#k24ca2e8]
-24. ''石川健治'', 内山雄司, 小川洋輝, 藤村修三:
--“熱酸化膜構造の赤外分光による評価”
---薄膜表面分科会研究報告, 極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
***1998年 [#xbc499e6]
-25. ''石川健治'', 小川洋輝, 藤村修三:
--“熱酸化膜の遠赤外分析”
---薄膜表面分科会研究報告,極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
-26. ''石川健治'', 小川洋輝, 藤村修三:
--“遠赤外分光によるシリコン熱酸化膜の観察”
---1998年春季第45 回応用物理学会関係連合講演会東京工科大...
----
-27. 棚橋徹, ''石川健治'', 鈴木美紀, 鈴木浩助, 小山堅二:
--“水素/水プラズマダンフロー処理をもちいたコンタクトホー...
---1998 年秋季第59 回応用物理学会関係連合講演会広島大学19...
-28. ''石川健治'', 鈴木美紀, 棚橋徹, 鈴木浩助, 岡村茂:
--“水素ダウンフロー処理によるコンタクトホール洗浄”
---信学技報SDM 98-132, (1998), p. 63.
***1999年 [#b17dc804]
-29. ''石川健治'', 岡村茂:
--“プラズマダウンフロー形成シリコン酸化膜の赤外分光研究”
---薄膜表面分科会研究報告, 極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
-30. ''石川健治'', 岡村茂:
--“プラズマダウンフロー形成シリコン酸化膜の赤外分光研究”
---1999 年春季第46 回応用物理学会関係連合講演会東京理科大...
***2000年 ASET [#e21a85be]
-31. ''石川健治'', 関根誠:
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究”
---第47 回応用物理学関係連合講演会, 青山学院大学2000 年3 ...
-32. 小林正治, ''石川健治'', 沖川満, 関根誠, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の電子スピン共鳴分光(ESR...
---第47 回応用物理学関係連合講演会, 青山学院大学2000 年3 ...
----
-33. ''石川健治'', 小林正治, 沖川満, 関根誠, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第61 回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学2000 年9 ...
-34. ''石川健治'', 関根誠:
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究(...
---第61 回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学2000 年9 ...
-35. 小澤信夫, 辰巳哲也, ''石川健治'', 栗原一彰, 関根誠:
--“高選択比酸化膜エッチングにおける表面反応層の解析”
---第61 回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学2000年9 ...
-36. ''Kenji Ishikawa'', Shoji Kobayashi, Mitsuru Okigawa...
--“In-vacuo ESR observation of Si etching”
---JRCAT Symposium, (Tokyo, November 7, 2000), E20, p. 211.
***2001年 ASET [#g6a6434d]
-37. ''Kenji Ishikawa'', and Makoto Sekine :
--“In-situ Time-resolved Infrared Spectroscopic Study of ...
---プラズマ科学シンポジウム(PSS 2001)/第18 回プラズマプロ...
-38. ''石川健治'', 小林正治, 沖川満, 関根誠, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第48 回応用物理学関係連合講演会, 明治大学2001 年3 月28...
-39. ''石川健治'', 林重徳, 関根誠:
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究(...
---第48 回応用物理学関係連合講演会, 明治大学2001 年3 月28...
-40. 林重徳, ''石川健治'', 関根誠:
--“酸化膜エッチングプラズマにおけるフルオロカーボンラジカ...
---第48 回応用物理学関係連合講演会, 明治大学2001 年3 月28...
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-41. ''石川健治'', 沖川満, 関根誠, 中村守孝, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第62 回応用物理学会学術講演会, 愛知工業大学2001 年9 月...
-42. ''Kenji Ishikawa'', Mitsuru Okigawa, Makoto Sekine, ...
--“Dangling Bond Observation during Plasma Etching Proces...
---JRCAT Symposium, (Tokyo, December 11-12, 2001), F44, p...
***2002年 ASET [#aee90741]
-43. 中村守孝, ''石川健治'', 唐橋一浩, 坪井秀夫, 山岡義和...
--“SiO2 ドライエッチングの表面反応解析”
---シリコン酸化膜の評価・信頼性(第7回), 熱川ハイツ2002...
-44. ''石川健治'', 沖川満, 関根誠, 中村守孝, 山崎聡, 安田...
--“in-vacuo ESRによるフルオロカーボンフィルムの解析”
---学術振興会プラズマ材料科学第153 委員会研究会, 弘済会館...
-45. ''石川健治'', 林重徳, 唐橋一浩, 坪井秀夫, 関根誠, 中...
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究(...
---第49 回応用物理学関係連合講演会, 東海大学2002 年3 月27...
-46. 坪井秀夫, 唐橋一浩, ''石川健治'', 山岡義和, 栗原一彰...
--“CFx(x=1-3)イオンビーム照射によるSiO2 エッチング反応...
---第49 回応用物理学関係連合講演会, 東海大学2002 年3 月27...
----
-47. ''石川健治'', 柳下皓男, 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討”
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-48. ''石川健治'', 唐橋一浩, 梁井健一, 栗原一彰, 中村守孝:
--“質量分離イオンビーム照射実験によるSiO2 エッチング反応...
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-49. 唐橋一浩, 梁井健一, ''石川健治'', 中村守孝:
--“CFx(x=1-3) イオンビーム照射によるSiO2 エッチング反応の...
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-50. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“CF x + (x=1-3) 質量分離イオンビーム照射によるSi3N4 エ...
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-51. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“Cu 膜表面の有機酸処理”
---日本化学会第82 秋季年会, 大阪大学2002 年9 月25 日~28 ...
***2003年 ASET [#x95f9745]
-52. ''石川健治'', 柳下皓男, 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(その2)”
---第50 回応用物理学関係連合講演会, 神奈川大学2003 年3 月...
-53. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(その3)”
---第50 回応用物理学関係連合講演会, 神奈川大学2003 年3 月...
-54. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“斜め入射CFx+ (x=1-3) 質量分離イオンビームによるSiO2 エ...
---第50 回応用物理学関係連合講演会, 神奈川大学2003 年3 月...
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-55. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“斜め照射CF+x (x=1-3) 質量分離イオンビームによるSi3N4/S...
---第64 回応用物理学会学術講演会, 福岡大学2003 年8 月30 ...
-56. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(その4)”
---第64 回応用物理学会学術講演会, 福岡大学2003 年8 月30 ...
-57. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面清浄化検討”
---第65 回半導体・集積回路シンポジウム, 機械振興会館ホー...
***2004年 ASET [#ea0fd406]
-58. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“質量分離イオンビーム照射によるSiO2膜エッチングの入射角...
---第21 回プラズマプロセシング研究会(SPP 21), 北海道大学...
-59. 柳下皓男, 菊地吉男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(5)”
---第51 回応用物理学関係連合講演会, 東京工科大学2004 年3 ...
-60. 林雅一, ''石川健治'', 柳下皓男:
--“有機酸蒸気を用いた金属表面処理の検討”
---第51 回応用物理学関係連合講演会, 東京工科大学2004 年3 ...
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-61. ''石川健治'', 山崎雄一, 山崎聡, 尾崎卓哉, 野田周一, ...
--“真空搬送電子スピン共鳴法によるプラズマプロセス後のLow-...
---第65 回応用物理学会学術講演会, 東北学院大学2004 年9 月...
-62. 林雅一, ''石川健治'', 西川伸之, 中石雅文:
--“酢酸蒸気によるCo/Si 表面処理の検討”
---第65 回応用物理学会学術講演会, 東北学院大学2004 年9 月...
-63. 山崎雄一, ''石川健治'', 水落憲和, 山崎聡:
--“電子スピン共鳴法による水素プラズマ照射におけるダイアモ...
---第65 回応用物理学会学術講演会, 東北学院大学2004 年9 月...
-64. 山崎聡, 山崎雄一, 水落憲和, ''石川健治'', 寒川誠二:
--“ダイアモンド室温水素処理に伴う欠陥生成”
---第18 回ダイアモンドシンポジウム, つくば産総研, 2004 年...
-65. 山崎雄一, 水落憲和, 齋藤丈靖, ''石川健治'', 寒川誠二...
--“電子スピン共鳴法によるICP エッチングにおけるダイアモン...
---第18 回ダイアモンドシンポジウム, つくば産総研, 2004 年...
***2005年 [#d9b48837]
-66. ''石川健治'', 山崎雄一, 山崎聡, 野田周一, 石川寧, 寒...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第52回応用物理学関係連合講演会, 埼玉大学2005 年3 月29 ...
-67. 山崎雄一, ''石川健治'', 水落憲和, 山崎聡:
--“室温水素プラズマ照射によるダングリングボンド損傷の評価”
---第52 回応用物理学関係連合講演会, 埼玉大学2005 年3 月29...
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-68. 須崎明, ''石川健治'', 三好秀典, 立石秀樹, 嶺潤子, 嶋...
--“Cu 表面の自然酸化膜成長と蟻酸ガスによる酸化膜の除去”
---第66 回応用物理学会学術講演会, 徳島大学2005 年9 月7 日...
-69. 西川伸之, 中平順也, ''石川健治'', 林雅一, アクバルア...
--“ギ酸を用いた低温ドライクリーニング技術のCu/Low-k 配線...
---第66 回応用物理学会学術講演会, 徳島大学2005 年9 月7 日...
-70. 山崎雄一, ''石川健治'', 寒川誠二, 水落憲和, 李成奇, ...
--“低エネルギー酸素プラズマ処理によるダイヤモンド損傷の評...
---第66 回応用物理学会学術講演会, 徳島大学2005 年9 月7 日...
***2006年 [#h61e6884]
-71. ''石川健治'', 山崎雄一, 山崎聡, 森本幸裕, 陣内佛霖, ...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第53 回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学2006 年3 ...
-72. ''石川健治'',山崎聡,寒川誠二:
--(招待講演)“表面反応におけるプロセス誘起欠陥の影響”
---フロンティアプロセス2006, つくば産総研,2006年8月25日
-73. ''石川健治'',三好秀典,立石秀樹,林雅一:
--“Cu表面のドライクリーニングの検討 供給蒸気組成と流量制...
---第67 回応用物理学会学術講演会, 立命館大学2006 年8 月29...
-74. 林雅一,''石川健治'',三好秀典,立石秀樹:
--“Cu表面のドライクリーニングの検討”
---第67 回応用物理学会学術講演会, 立命館大学2006 年8 月29...
***2008年 [#b2c11198]
-75. ''石川健治''、工藤寛、中石雅文、筑根敦弘、尾崎史朗,...
--“有機酸ドライクリーニングによるコンタクトビア形成による...
---第72回半導体・集積回路技術シンポジウム,東京農工大学...
***2009年 [#v97ad303]
-76. 木野徳重、竹内和歌奈、''石川健治''、近藤博基、加納裕...
--“a:C-Hを用いたカーボン系太陽電池作製に関する研究”
---第3回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール...
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2009年以前の国内 会議の講演リスト
***1992年 [#e786d49a]
-1. 藤村修三, ''石川健治'', 小川力:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(1)”
---1992 年春季第39 回応用物理学会関係連合講演会日本大学19...
-2. ''石川健治'', 藤村修三, 森治久:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(2)”
---1992 年秋季第53 回応用物理学会関係連合講演会関西大学19...
***1993年 [#g2b9a778]
-3. 小川洋輝, ''石川健治'', 藤村修三, 森治久, 鈴木雅史:
--“水素終端シリコン表面の自然酸化過程”
---1993 年春季第40 回応用物理学会関係連合講演会青山学院大...
-4. ''石川健治'', 猪股カルロス, 小川洋輝, 藤村修三, 森治久:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(4)”
---1993 年春季第40 回応用物理学会関係連合講演会青山学院大...
-5. ''石川健治'', 猪股カルロス, 小川洋輝, 藤村修三, 森治久:
--“高感度赤外分光法によるシリコン酸化膜の観察(3)”
---1993 年春季第40 回応用物理学会関係連合講演会青山学院大...
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-6. 藤村修三, 小川洋輝, ''石川健治'', 猪股カルロス, 森治久:
--“FT-IR-ATR, FT-IR-RASを用いたSi 自然酸化膜成長過程の観察”
---信学技報SDM 93-7, (1993), p. 43.
-7. ''石川健治'', 小川洋輝, 猪股カルロス, 藤村修三:
--“赤外反射吸収(FT-IR-RAS) 法によるシリコン酸化膜の観察”
---第44 回半導体・集積回路技術シンポジウム東京1993年6 月1...
-8. 小川洋輝, ''石川健治'', 猪股カルロス, 藤村修三, 森治...
--“赤外反射吸収測定法によるシリコン自然酸化膜の構造解析”
---1993 年秋季第54 回応用物理学会学術講演会北海道大学1993...
-9. 藤村修三, 小川洋輝, 猪股カルロス, 山崎健, 鈴木美紀, ...
--“表面洗浄と酸化膜構造”
---セミコンSEMI テクノロジーシンポジウム93, 幕張1993 年12...
***1994年 [#b405094d]
-10. 小川洋輝, ''石川健治'', 鈴木美紀, 早見由香, 藤村修三...
--“純水希釈HF 処理後のシリコン表面の溶存酸素量依存性”
---1994 年春季第41 回応用物理学会関係連合講演会明治大学19...
-11. ''石川健治'', 小川洋輝, 猪股カルロス, 藤村修三, 森治...
--“赤外反射吸収分光法によるシリコン酸化膜の観察(5)”
---1994 年春季第41 回応用物理学会関係連合講演会明治大学19...
----
-12. 藤村修三, ''石川健治'', 小川洋輝:
--“FT-IR-RAS によるSi 酸化膜の構造解析”
---第22回UCT シンポジウム, 東京1994 年8 月29 日31 日p. 297.
-13. 猪股カルロス, 山崎健, ''石川健治'', 小川洋輝, 藤村修...
--“赤外反射吸収測定法による化学酸化膜構造への洗浄プロセス...
---1994 年秋季第55 回応用物理学会学術講演会名城大学1994 ...
-14. 藤村修三, ''石川健治'', 小川洋輝:
--“FT-IR-RAS を用いたSi/SiO2 界面構造の解析”
---第23 回UCT シンポジウム, 東京1994 年11 月16 日~18 日p...
***1995年 [#ud26b319]
-15. ''石川健治'', 小川洋輝, 押田澄子, 鈴木腕, 藤村修三:
--“赤外反射吸収分光法によるシリコン酸化膜の観察(6)”
---1995 年春季第42 回応用物理学会関係連合講演会東海大学19...
-16. 押田澄子, ''石川健治'', 鈴木腕, 山崎健, 藤村修三, 森...
--“シリコン酸化膜構造の熱処理条件依存性(1)”
---1995 年春季第42 回応用物理学会関係連合講演会東海大学19...
-17. 久保田和宏, 小川洋輝, 小田島貴信, ''石川健治'', 川崎...
--“F/Si 反応のin-situ RAS/XPS 観察”
---1995 年春季第42 回応用物理学会関係連合講演会東海大学19...
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-18. 押田澄子, ''石川健治'', 鈴木腕, 藤村修三:
--“シリコン酸化膜構造の熱処理条件依存性(2)”
---1995 年秋季第56 回応用物理学会学術講演会金沢工科大学19...
***1996年 [#nf3b1bdf]
-19. ''石川健治'', 小川洋輝, 押田澄子, 鈴木腕, 藤村修三:
--“赤外分光法によるSi-SiO2 界面の評価”
---薄膜表面分科会研究報告, 極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
-20. ''石川健治'', 内山雄司, 押田澄子, 小川洋輝, 藤村修三:
-- “赤外反射吸収分光法によるシリコン酸化膜の観察(7)”
---1996 年春季第43 回応用物理学会関係連合講演会東洋大学19...
-21. 小川洋輝, ''石川健治'', 鈴木美紀, 早見由香, 藤村修三:
--“塩酸溶液処理後の水素終端シリコン表面の状態”
---1996 年春季第43 回応用物理学会関係連合講演会東洋大学 1...
-22. 内山雄司, ''石川健治'', 押田澄子, 藤村修三:
--“シリコン酸化膜中のトラップ生成とアニール温度依存性”
---1996 年春季第43 回応用物理学会関係連合講演会東洋大学 1...
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-23. 小川洋輝, 早見由香, 鈴木美紀, ''石川健治'', 藤村修三:
--“低溶存酸素純水希釈HF-HCl溶液処理後の水素終端シリコン表...
---1996 年秋季第57 回応用物理学会学術講演会九州産業大学19...
***1997年 [#k24ca2e8]
-24. ''石川健治'', 内山雄司, 小川洋輝, 藤村修三:
--“熱酸化膜構造の赤外分光による評価”
---薄膜表面分科会研究報告, 極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
***1998年 [#xbc499e6]
-25. ''石川健治'', 小川洋輝, 藤村修三:
--“熱酸化膜の遠赤外分析”
---薄膜表面分科会研究報告,極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
-26. ''石川健治'', 小川洋輝, 藤村修三:
--“遠赤外分光によるシリコン熱酸化膜の観察”
---1998年春季第45 回応用物理学会関係連合講演会東京工科大...
----
-27. 棚橋徹, ''石川健治'', 鈴木美紀, 鈴木浩助, 小山堅二:
--“水素/水プラズマダンフロー処理をもちいたコンタクトホー...
---1998 年秋季第59 回応用物理学会関係連合講演会広島大学19...
-28. ''石川健治'', 鈴木美紀, 棚橋徹, 鈴木浩助, 岡村茂:
--“水素ダウンフロー処理によるコンタクトホール洗浄”
---信学技報SDM 98-132, (1998), p. 63.
***1999年 [#b17dc804]
-29. ''石川健治'', 岡村茂:
--“プラズマダウンフロー形成シリコン酸化膜の赤外分光研究”
---薄膜表面分科会研究報告, 極薄シリコン酸化膜の形成・評価...
-30. ''石川健治'', 岡村茂:
--“プラズマダウンフロー形成シリコン酸化膜の赤外分光研究”
---1999 年春季第46 回応用物理学会関係連合講演会東京理科大...
***2000年 ASET [#e21a85be]
-31. ''石川健治'', 関根誠:
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究”
---第47 回応用物理学関係連合講演会, 青山学院大学2000 年3 ...
-32. 小林正治, ''石川健治'', 沖川満, 関根誠, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の電子スピン共鳴分光(ESR...
---第47 回応用物理学関係連合講演会, 青山学院大学2000 年3 ...
----
-33. ''石川健治'', 小林正治, 沖川満, 関根誠, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第61 回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学2000 年9 ...
-34. ''石川健治'', 関根誠:
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究(...
---第61 回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学2000 年9 ...
-35. 小澤信夫, 辰巳哲也, ''石川健治'', 栗原一彰, 関根誠:
--“高選択比酸化膜エッチングにおける表面反応層の解析”
---第61 回応用物理学会学術講演会, 北海道工業大学2000年9 ...
-36. ''Kenji Ishikawa'', Shoji Kobayashi, Mitsuru Okigawa...
--“In-vacuo ESR observation of Si etching”
---JRCAT Symposium, (Tokyo, November 7, 2000), E20, p. 211.
***2001年 ASET [#g6a6434d]
-37. ''Kenji Ishikawa'', and Makoto Sekine :
--“In-situ Time-resolved Infrared Spectroscopic Study of ...
---プラズマ科学シンポジウム(PSS 2001)/第18 回プラズマプロ...
-38. ''石川健治'', 小林正治, 沖川満, 関根誠, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第48 回応用物理学関係連合講演会, 明治大学2001 年3 月28...
-39. ''石川健治'', 林重徳, 関根誠:
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究(...
---第48 回応用物理学関係連合講演会, 明治大学2001 年3 月28...
-40. 林重徳, ''石川健治'', 関根誠:
--“酸化膜エッチングプラズマにおけるフルオロカーボンラジカ...
---第48 回応用物理学関係連合講演会, 明治大学2001 年3 月28...
----
-41. ''石川健治'', 沖川満, 関根誠, 中村守孝, 山崎聡, 安田...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第62 回応用物理学会学術講演会, 愛知工業大学2001 年9 月...
-42. ''Kenji Ishikawa'', Mitsuru Okigawa, Makoto Sekine, ...
--“Dangling Bond Observation during Plasma Etching Proces...
---JRCAT Symposium, (Tokyo, December 11-12, 2001), F44, p...
***2002年 ASET [#aee90741]
-43. 中村守孝, ''石川健治'', 唐橋一浩, 坪井秀夫, 山岡義和...
--“SiO2 ドライエッチングの表面反応解析”
---シリコン酸化膜の評価・信頼性(第7回), 熱川ハイツ2002...
-44. ''石川健治'', 沖川満, 関根誠, 中村守孝, 山崎聡, 安田...
--“in-vacuo ESRによるフルオロカーボンフィルムの解析”
---学術振興会プラズマ材料科学第153 委員会研究会, 弘済会館...
-45. ''石川健治'', 林重徳, 唐橋一浩, 坪井秀夫, 関根誠, 中...
--“シリコン酸化膜エッチングのその場時間分解赤外分光研究(...
---第49 回応用物理学関係連合講演会, 東海大学2002 年3 月27...
-46. 坪井秀夫, 唐橋一浩, ''石川健治'', 山岡義和, 栗原一彰...
--“CFx(x=1-3)イオンビーム照射によるSiO2 エッチング反応...
---第49 回応用物理学関係連合講演会, 東海大学2002 年3 月27...
----
-47. ''石川健治'', 柳下皓男, 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討”
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-48. ''石川健治'', 唐橋一浩, 梁井健一, 栗原一彰, 中村守孝:
--“質量分離イオンビーム照射実験によるSiO2 エッチング反応...
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-49. 唐橋一浩, 梁井健一, ''石川健治'', 中村守孝:
--“CFx(x=1-3) イオンビーム照射によるSiO2 エッチング反応の...
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-50. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“CF x + (x=1-3) 質量分離イオンビーム照射によるSi3N4 エ...
---第63 回応用物理学会学術講演会, 新潟大学2002 年9 月24 ...
-51. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“Cu 膜表面の有機酸処理”
---日本化学会第82 秋季年会, 大阪大学2002 年9 月25 日~28 ...
***2003年 ASET [#x95f9745]
-52. ''石川健治'', 柳下皓男, 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(その2)”
---第50 回応用物理学関係連合講演会, 神奈川大学2003 年3 月...
-53. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(その3)”
---第50 回応用物理学関係連合講演会, 神奈川大学2003 年3 月...
-54. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“斜め入射CFx+ (x=1-3) 質量分離イオンビームによるSiO2 エ...
---第50 回応用物理学関係連合講演会, 神奈川大学2003 年3 月...
----
-55. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“斜め照射CF+x (x=1-3) 質量分離イオンビームによるSi3N4/S...
---第64 回応用物理学会学術講演会, 福岡大学2003 年8 月30 ...
-56. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(その4)”
---第64 回応用物理学会学術講演会, 福岡大学2003 年8 月30 ...
-57. 柳下皓男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面清浄化検討”
---第65 回半導体・集積回路シンポジウム, 機械振興会館ホー...
***2004年 ASET [#ea0fd406]
-58. 梁井健一, 唐橋一浩, ''石川健治'', 中村守孝:
--“質量分離イオンビーム照射によるSiO2膜エッチングの入射角...
---第21 回プラズマプロセシング研究会(SPP 21), 北海道大学...
-59. 柳下皓男, 菊地吉男, ''石川健治'', 中村守孝:
--“有機酸蒸気による銅表面処理の検討(5)”
---第51 回応用物理学関係連合講演会, 東京工科大学2004 年3 ...
-60. 林雅一, ''石川健治'', 柳下皓男:
--“有機酸蒸気を用いた金属表面処理の検討”
---第51 回応用物理学関係連合講演会, 東京工科大学2004 年3 ...
----
-61. ''石川健治'', 山崎雄一, 山崎聡, 尾崎卓哉, 野田周一, ...
--“真空搬送電子スピン共鳴法によるプラズマプロセス後のLow-...
---第65 回応用物理学会学術講演会, 東北学院大学2004 年9 月...
-62. 林雅一, ''石川健治'', 西川伸之, 中石雅文:
--“酢酸蒸気によるCo/Si 表面処理の検討”
---第65 回応用物理学会学術講演会, 東北学院大学2004 年9 月...
-63. 山崎雄一, ''石川健治'', 水落憲和, 山崎聡:
--“電子スピン共鳴法による水素プラズマ照射におけるダイアモ...
---第65 回応用物理学会学術講演会, 東北学院大学2004 年9 月...
-64. 山崎聡, 山崎雄一, 水落憲和, ''石川健治'', 寒川誠二:
--“ダイアモンド室温水素処理に伴う欠陥生成”
---第18 回ダイアモンドシンポジウム, つくば産総研, 2004 年...
-65. 山崎雄一, 水落憲和, 齋藤丈靖, ''石川健治'', 寒川誠二...
--“電子スピン共鳴法によるICP エッチングにおけるダイアモン...
---第18 回ダイアモンドシンポジウム, つくば産総研, 2004 年...
***2005年 [#d9b48837]
-66. ''石川健治'', 山崎雄一, 山崎聡, 野田周一, 石川寧, 寒...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第52回応用物理学関係連合講演会, 埼玉大学2005 年3 月29 ...
-67. 山崎雄一, ''石川健治'', 水落憲和, 山崎聡:
--“室温水素プラズマ照射によるダングリングボンド損傷の評価”
---第52 回応用物理学関係連合講演会, 埼玉大学2005 年3 月29...
----
-68. 須崎明, ''石川健治'', 三好秀典, 立石秀樹, 嶺潤子, 嶋...
--“Cu 表面の自然酸化膜成長と蟻酸ガスによる酸化膜の除去”
---第66 回応用物理学会学術講演会, 徳島大学2005 年9 月7 日...
-69. 西川伸之, 中平順也, ''石川健治'', 林雅一, アクバルア...
--“ギ酸を用いた低温ドライクリーニング技術のCu/Low-k 配線...
---第66 回応用物理学会学術講演会, 徳島大学2005 年9 月7 日...
-70. 山崎雄一, ''石川健治'', 寒川誠二, 水落憲和, 李成奇, ...
--“低エネルギー酸素プラズマ処理によるダイヤモンド損傷の評...
---第66 回応用物理学会学術講演会, 徳島大学2005 年9 月7 日...
***2006年 [#h61e6884]
-71. ''石川健治'', 山崎雄一, 山崎聡, 森本幸裕, 陣内佛霖, ...
--“エッチング・プラズマ曝露試料の真空搬送電子スピン共鳴分...
---第53 回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学2006 年3 ...
-72. ''石川健治'',山崎聡,寒川誠二:
--(招待講演)“表面反応におけるプロセス誘起欠陥の影響”
---フロンティアプロセス2006, つくば産総研,2006年8月25日
-73. ''石川健治'',三好秀典,立石秀樹,林雅一:
--“Cu表面のドライクリーニングの検討 供給蒸気組成と流量制...
---第67 回応用物理学会学術講演会, 立命館大学2006 年8 月29...
-74. 林雅一,''石川健治'',三好秀典,立石秀樹:
--“Cu表面のドライクリーニングの検討”
---第67 回応用物理学会学術講演会, 立命館大学2006 年8 月29...
***2008年 [#b2c11198]
-75. ''石川健治''、工藤寛、中石雅文、筑根敦弘、尾崎史朗,...
--“有機酸ドライクリーニングによるコンタクトビア形成による...
---第72回半導体・集積回路技術シンポジウム,東京農工大学...
***2009年 [#v97ad303]
-76. 木野徳重、竹内和歌奈、''石川健治''、近藤博基、加納裕...
--“a:C-Hを用いたカーボン系太陽電池作製に関する研究”
---第3回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール...
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