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#include(MenuTab3,notitle) *2010年 [#i80d5993] -“Study for Damage in Porous SiOCH Film with Air Exposure... --第27回プラズマプロセシング研究会，横浜市開港記念会館，2... ---鈴木俊哉，山本洋，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関... -“大望遠鏡による高分散分光観測の展望” --"可視、近赤外、中間赤外の高分散素子の展望"研究集会、国... ---海老塚昇, ''石川健治'', 近藤博基, 堀勝, 平原靖大, 佐藤... ---- 2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会（東海大） 2010... -“イオン照射誘起深い準位欠陥の水素ラジカルによる不活性化” --17p-D-7 ---陳尚，永江陽一，''石川健治''，中井雅文，加納浩之，竹田... -“ポーラスSiOCH low-k膜へのH2/N2プラズマアッシングダメー... --18a-ZD-8 ---山本洋，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝... -“反応性プラズマ中におけるc-C4F8の解離過程” --18a-ZD-10 ---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱 -“反応性プラズマ中におけるC2F4の解離過程” --18a-ZD-11 ---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱 -“O2プラズマおよびCO2プラズマによるレジストアッシング機構” --18p-ZD-2 ---阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基， 関根誠，... -“SF6/O2プラズマによるフォトレジスト表面改質層の解析” --18p-ZD-3 ---竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（I... --18p-ZD-9 ---宮脇雄大，竹田圭吾，伊東安曇，中村昌洋，''石川健治''，... -“ポーラスSiOCH膜プラズマ処理後の大気曝露の影響(II)” --18p-ZD-10 ---鈴木俊哉，山本洋，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関... -“誘導結合型H2/N2プラズマによる有機low-k薄膜のための小型... --18p-ZD-18 ---堀勝，チャンソン ムン，竹田圭吾，関根誠，節原裕一，白... -“プラズマCVD法における微結晶シリコン薄膜形成のメカニズム... --19a-ZB-8 ---川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“和周波振動分光によるプラズマ処理表面の解析” --19a-R-14 ---''石川健治''，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝: ---- 2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会（長崎大） 2010年9... -“Spatial distribution measurement of the electron temper... --15p-D-4 ---賈鳳東，鷲見直也，''石川健治''，加納浩之，乾裕俊，竹田... -“太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子... --15p-D-11 ---阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀... -“非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関す... --15p-D-16 ---加藤正規，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀... -“非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌速度の酸素ラ ジ... --15p-D-17 ---井関紗千子，太田貴之，伊藤昌文，加納浩之，東島康裕，竹... -“水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜... --16a-ZF-8 ---川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“Ｎ原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御” --16p-ZF-2 ---九鬼淳，木野徳重，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果” --16p-ZF-3 ---木野徳重，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝： -“H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討” --16p-ZF-10 ---乾裕俊，吉田直史，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関... -“SF6/O2プ ラズマを用いたSiエッチング機構” --16a-ZA-3 ---尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“Radical Transport Simulation under Roof on Substrate in... --16a-ZA-7 ---アルカディウス マリノフスキ，堀勝，関根誠，''石川健治'... -“C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解... --16p-ZA-1 ---近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“ラジカルが発生し易いエッチングガスと分子構造” --16p-ZA-2 ---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱： -“フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面... --16p-ZA-4 ---竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（I... --16p-ZA-5 ---宮脇雄大，近藤祐介，竹田圭吾，伊東安曇，松本裕一，近藤... -“C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネ ス発生抑... --16p-ZA-6 ---山本洋，宮脇雄大，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“サブナノメーター形状揺らぎ制御有機膜エッチングのための... --16p-ZA-8 ---鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀... -“二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのD... --16p-ZA-9 ---山口剛，竹田圭吾，輿水地塩，近藤博基，''石川健治''，関... -“O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メ... --16p-ZA-12 ---浅野高平，山本洋，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の... --16p-ZA-13 ---鷲見直也，''石川健冶''，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，... -“プラズマエッチング高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエ... --17a-ZA-2 ---米谷亮祐，陳尚，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根... -“プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析” --17a-ZA-3 ---陳尚，米谷亮祐，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，加納... -“エタノールを用いた気液プラズマによるカーボンナノ材料の... --14a-ZK-6 ---萩野達也，乾裕俊，加納浩之，''石川健治''，竹田圭吾，近... -“和周波振動分光(SFG)によるポリフッ化ビニリデンの分極配向... --14a-K-2 ---''石川健治''，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，... -“カーボンナノウォールの成長に対する基板形状の効果” --16p-ZM-3 ---渡邊均，近藤博基，''石川健治''，竹田圭吾，関根誠，堀勝... -“単一カーボンナノウォールの電気特性” --16a-ZQ-6 ---神田貴幸，山川晃司，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -(シンポジウム招待講演)“ESR インライン計測による材料エッ... --17a-ZC-6 ---''石川健治''，山崎聡，関根誠，堀勝： ---- -(招待 講演)“半導体プラズマプロセス中の表面反応機構の解析... --第10回インテリジェントナノプロセス　2010年１2月22日，東... ---''石川健治''，関根誠，堀勝： ---- #include(MenuTab4,notitle) #include(Footer,notitle)

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#include(MenuTab3,notitle) *2010年 [#i80d5993] -“Study for Damage in Porous SiOCH Film with Air Exposure... --第27回プラズマプロセシング研究会，横浜市開港記念会館，2... ---鈴木俊哉，山本洋，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関... -“大望遠鏡による高分散分光観測の展望” --"可視、近赤外、中間赤外の高分散素子の展望"研究集会、国... ---海老塚昇, ''石川健治'', 近藤博基, 堀勝, 平原靖大, 佐藤... ---- 2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会（東海大） 2010... -“イオン照射誘起深い準位欠陥の水素ラジカルによる不活性化” --17p-D-7 ---陳尚，永江陽一，''石川健治''，中井雅文，加納浩之，竹田... -“ポーラスSiOCH low-k膜へのH2/N2プラズマアッシングダメー... --18a-ZD-8 ---山本洋，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝... -“反応性プラズマ中におけるc-C4F8の解離過程” --18a-ZD-10 ---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱 -“反応性プラズマ中におけるC2F4の解離過程” --18a-ZD-11 ---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱 -“O2プラズマおよびCO2プラズマによるレジストアッシング機構” --18p-ZD-2 ---阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基， 関根誠，... -“SF6/O2プラズマによるフォトレジスト表面改質層の解析” --18p-ZD-3 ---竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（I... --18p-ZD-9 ---宮脇雄大，竹田圭吾，伊東安曇，中村昌洋，''石川健治''，... -“ポーラスSiOCH膜プラズマ処理後の大気曝露の影響(II)” --18p-ZD-10 ---鈴木俊哉，山本洋，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関... -“誘導結合型H2/N2プラズマによる有機low-k薄膜のための小型... --18p-ZD-18 ---堀勝，チャンソン ムン，竹田圭吾，関根誠，節原裕一，白... -“プラズマCVD法における微結晶シリコン薄膜形成のメカニズム... --19a-ZB-8 ---川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“和周波振動分光によるプラズマ処理表面の解析” --19a-R-14 ---''石川健治''，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝: ---- 2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会（長崎大） 2010年9... -“Spatial distribution measurement of the electron temper... --15p-D-4 ---賈鳳東，鷲見直也，''石川健治''，加納浩之，乾裕俊，竹田... -“太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子... --15p-D-11 ---阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀... -“非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関す... --15p-D-16 ---加藤正規，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀... -“非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌速度の酸素ラ ジ... --15p-D-17 ---井関紗千子，太田貴之，伊藤昌文，加納浩之，東島康裕，竹... -“水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜... --16a-ZF-8 ---川嶋翔，阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“Ｎ原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御” --16p-ZF-2 ---九鬼淳，木野徳重，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果” --16p-ZF-3 ---木野徳重，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝： -“H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討” --16p-ZF-10 ---乾裕俊，吉田直史，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関... -“SF6/O2プ ラズマを用いたSiエッチング機構” --16a-ZA-3 ---尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“Radical Transport Simulation under Roof on Substrate in... --16a-ZA-7 ---アルカディウス マリノフスキ，堀勝，関根誠，''石川健治'... -“C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解... --16p-ZA-1 ---近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“ラジカルが発生し易いエッチングガスと分子構造” --16p-ZA-2 ---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱： -“フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面... --16p-ZA-4 ---竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -“ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（I... --16p-ZA-5 ---宮脇雄大，近藤祐介，竹田圭吾，伊東安曇，松本裕一，近藤... -“C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネ ス発生抑... --16p-ZA-6 ---山本洋，宮脇雄大，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“サブナノメーター形状揺らぎ制御有機膜エッチングのための... --16p-ZA-8 ---鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀... -“二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのD... --16p-ZA-9 ---山口剛，竹田圭吾，輿水地塩，近藤博基，''石川健治''，関... -“O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メ... --16p-ZA-12 ---浅野高平，山本洋，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関... -“リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の... --16p-ZA-13 ---鷲見直也，''石川健冶''，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，... -“プラズマエッチング高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエ... --17a-ZA-2 ---米谷亮祐，陳尚，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根... -“プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析” --17a-ZA-3 ---陳尚，米谷亮祐，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，加納... -“エタノールを用いた気液プラズマによるカーボンナノ材料の... --14a-ZK-6 ---萩野達也，乾裕俊，加納浩之，''石川健治''，竹田圭吾，近... -“和周波振動分光(SFG)によるポリフッ化ビニリデンの分極配向... --14a-K-2 ---''石川健治''，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，... -“カーボンナノウォールの成長に対する基板形状の効果” --16p-ZM-3 ---渡邊均，近藤博基，''石川健治''，竹田圭吾，関根誠，堀勝... -“単一カーボンナノウォールの電気特性” --16a-ZQ-6 ---神田貴幸，山川晃司，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，... -(シンポジウム招待講演)“ESR インライン計測による材料エッ... --17a-ZC-6 ---''石川健治''，山崎聡，関根誠，堀勝： ---- -(招待 講演)“半導体プラズマプロセス中の表面反応機構の解析... --第10回インテリジェントナノプロセス　2010年１2月22日，東... ---''石川健治''，関根誠，堀勝： ---- #include(MenuTab4,notitle) #include(Footer,notitle)

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