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*2012年 [#yd4c0fc1]
2012年春季 第59回応用物理学関係連合講演会(早稲田大学) 2...
-Effect of growth temperature on chemical bonding structu...
--17a-A7-8
---于楽泳,九鬼淳,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜に...
--16p-A7-8
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,金淵俊,竹田圭吾,''石川健治...
-GaN におけるプラズマダメージの水素ラジカル修復(2)
--17p-A7-7
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,''石川健治'',竹田圭吾,近藤博基...
-プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その...
--17p-A7-9
---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-ハイドロフルオロカーボンプラズマにおける絶縁膜の高選択エ...
--17p-A7-10
---古室達也,竹田圭吾,''石川健治'',関根 誠,近藤博基,...
-絶縁膜プラズマエッチングにおけるArFフォトレジストの表面...
--17p-A7-13
---浅野高平,山本洋,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川...
-プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発
--17p-A7-14
---田嶋聡美,''石川健治'',林俊雄,堀勝
-H2/N2プラズマ中のラジカル密度へ前のプロセスが与える影響
--17p-A7-16
---鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',節原裕一,...
-C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチングの機構解明
--17p-A7-17
---宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-SiエッチングにおけるO2、N2添加効果(II)
--17p-A7-19.
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-基本的なエッチングガスの電子物性
--17p-A7-20.
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-ミドリカビ胞子からの電子スピン共鳴信号の同定
--17p-B8-7.
---森山寛子,民谷和浩,橋爪博司,田中宏昌,''石川健治'',...
-カーボンナノウォールの結晶学的構造に対する過酸化水素水処...
--17p-A3-9.
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-超臨界流体を用いたPt-Au合金ナノ微粒子/カーボンナノウォー...
--17p-B2-16.
---堀部剛良,三ツ口真司,加納浩之,近藤博基,''石川健治''...
-有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成
--16a-E3-5.
---鈴木俊哉,Arkadiusz Malinowski,竹田圭吾,近藤博基,''...
-カーボンナノウォールの構造制御合成と高次機能化
--15p-E8-4.
---堀勝,近藤博基,''石川健治'',竹田圭吾,関根誠,平松美...
-Inactivation of spores of P. digitatum and its quantitat...
--16a-B8-1.
---Hiroshi Hashizume,Takayuki Ohta,Masafumi Ito,Sachik...
-Anti-tumor effects of glioma cancer cells by plasma acti...
--16a-B8-5.
---Hiromasa Tanaka,Kae Nakamura,Sachiko Iseki,Hiroko M...
-Real time in situ ESR measurements of Penicillium digita...
--16p-B8-2.
---Kazuhiro Tamiya,''Kenji Ishikawa'',Hiroshi Hashizume...
-Spatio-temporal behaviours of species generated by atmos...
--16p-B8-6.
---Fengdong Jia,Keigo Takeda,''Kenji Ishikawa'',Hiroyu...
-Gas Temperature Behavior of Atmospheric Pressure Plasma ...
--16p-B8-12.
---Jagath Kularatne,Hiroyuki Kano,Fengdong Jia,Masafum...
----
中部ナノテク総合支援: ナノ材料創製加工と先端機器分析 平成...
-フッ素ラジカル密度計測システムの開発
--T05
---東島康裕, 高島成剛, 竹田圭吾, ''石川健治'', 関根 誠, ...
-AC励起大気圧非平衡O2/Arプラズマジェットの酸素原子空間密...
--P05
---竹田圭吾, 加藤正規, ''石川健治'', 関根 誠, 堀 勝
----
-水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解機構の解明
--第9回 Cat-CVD研究会 日本大学津田沼キャンパス, 2012年6月...
---新井 祐, 能登 雄祐, 渡邉 誠, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河...
----
2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会(愛媛大学・松山大...
-Measurement of SiH3 Radicals in SiH4/H2 Plasma for Silic...
--13p-E1-16
---Yusuke Abe,Atsushi Fukushima,Ya Lu,Youn Joon Kim,K...
-Effect of nitrogen doping on photoconductivity of amorph...
--13p-E1-17
---Leyong Yu,Jun Kuki,Hiroki Kondo,''Kenji Ishikawa''...
-Study on reaction mechanism of plasma-enhanced atomic la...
--13p-E1-18
---Yi Lu,Akiko Kobayashi,Youn Joon Kim,''Kenji Ishikaw...
-Relationship between Ion Energy and Highly Selective SiO...
--13p-E1-1
---Yudai Miyawaki,Yusuke Kondo,Keigo Takeda,Hiroki Kon...
-Mechanism of Etching and Generating Active Species in CH...
--13p-E1-2
---Yusuke Kondo,Yudai Miyawaki,Keigo Takeda,Hiroki Kon...
-Impact of Last Reactor Condition to Radical Density in S...
--13p-E1-3
---Toshiya Suzuki,Arkadiusz Malinowski,Keigo Takeda,Hi...
-Properties of GaAs surface by ion irradiation of chlorine
--13p-E1-4
---Jongyun Park,Takuya Takeuchi,Jiadong Cao,''Kenji Is...
-Behaviors of activated species generated by ultrahigh de...
--13p-E1-9
---Keigo Takeda,''Kenji Ishikawa'',Hiromasa Tanaka,Hir...
-Identification of ESR signals arisen from Penicillium di...
--13p-E1-10
---Hiroko Mizuno,Hiroshi Hashizume,Hiromasa Tanaka,''K...
-Vibrational Sum-Frequency-Generation (SFG) Spectroscopic...
--13p-E1-11
---''Kenji Ishikawa'',Hiroko Mizuno,Hiromasa Tanaka,Ke...
-Measuring Metal Elements in Food Products Using Ar Atmos...
--13p-E1-12
---Jagath Kularatne,Hiroyuki Kano,Masafumi Ito,Takayuk...
-窒化ガリウム(GaN)向けサファイア基板の周波数領域型低コ...
--11p-E2-8
---堤隆嘉,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,太田貴之,伊...
-Study on synthesis mechanisms of nano-graphene materials...
--12a-E1-4
---近藤博基,萩野達也,''石川健治'',関根誠,加納浩之,堀勝
-水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜の...
--13a-E2-6
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,金淵俊,竹田圭吾,''石川健治...
-SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法におけるHラジカル・成膜前駆...
--13a-E2-7
---福島敦史,阿部祐介,陸雅,竹田圭吾,近藤博基,''石川健...
-プリンタブルエレクトロニクスに向けた大気圧ミスト化学気相...
--13p-E2-3
---孫昿達,竹田圭吾,近藤博基,田嶋聡美,''石川健治'',関...
-C5HF7ガスプラズマによるArFフォトレジストの表面ラフネス形...
--13p-E2-17
---浅野高平,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-二周波容量結合型プラズマへのDCバイアス重畳によるSiC膜に...
--13p-E2-19
---古室達也,竹田圭吾,''石川健治'',関根誠,大矢欣伸,近...
-GaNにおけるプラズマダメージのラジカル修復(3)
--13p-E2-20
---Zecheng Liu,陳尚,盧翌,米谷亮祐,''石川健治'',加納...
-Ga系化合物半導体のプラズマエッチングに関する研究
--13p-E2-21
---曹佳棟,米谷亮祐,朴鐘胤,盧翌,陳尚,''石川健治'',関...
-プラズマからの紫外線照射によるSiNx:H/Si界面準位生成
--13a-E3-1
---深沢正永,松谷弘康,本多孝好,宮脇雄大,近藤祐介,竹田...
-C5F8および C5HF7の励起解離
--13a-E3-4
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝
-活性酸素種の密度測定によるミドリカビ胞子殺菌の定量的評価...
--13a-E1-35
---橋爪博司,太田貴之,伊藤昌文,賈鳳東,竹田圭吾,''石川...
-プラズマ培養液によるグリオーマ脳腫瘍細胞の選択的殺傷
--13a-E1-37
---田中宏昌,水野正明,''石川健治'',中村香江,梶山広明,...
-超臨界流体を用いたカーボンナノウォール(CNWs)へのPt, Au微...
--11p-C2-38
---堀部剛良,近藤博基,加納浩之,''石川健治'',関根誠,平...
-カーボンナノウォールの結晶構造に対するラジカル酸化効果
--12p-E3-2
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-カーボンナノウォールのテラヘルツ時間領域分光計測による光...
--12a-C2-2
---平岡丈弘,竹田圭吾,太田貴之,海老塚昇,近藤博基,''石...
-窒素/水素混合ガスプラズマを用いたグラフェンエッジ化学修...
--12a-C2-6
---趙亨峻,近藤博基,''石川健治'',関根誠,平松美根男,堀勝
-プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発(II)
--13a-F7-4
---田嶋聡美,林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝
-有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成(II)
--13p-F7-1
---鈴木俊哉,Arkadiusz Malinowski,竹田圭吾,近藤博基,''...
----
-水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解反応
--第61回高分子討論会, 名古屋工業大学, 2012年9月19日~21日...
---新井 祐, 能登 雄佑, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河野 昭彦, '...
-Etched Profile Control in H2/N2 Plasma with Radical Dens...
--Advanced Metallization Conference (ADMETA) 2012, 22nd A...
---Toshiya Suzuki, A. Malinowski, Keigo Takeda, Hiroki Ko...
----
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*2012年 [#yd4c0fc1]
2012年春季 第59回応用物理学関係連合講演会(早稲田大学) 2...
-Effect of growth temperature on chemical bonding structu...
--17a-A7-8
---于楽泳,九鬼淳,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜に...
--16p-A7-8
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,金淵俊,竹田圭吾,''石川健治...
-GaN におけるプラズマダメージの水素ラジカル修復(2)
--17p-A7-7
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,''石川健治'',竹田圭吾,近藤博基...
-プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その...
--17p-A7-9
---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-ハイドロフルオロカーボンプラズマにおける絶縁膜の高選択エ...
--17p-A7-10
---古室達也,竹田圭吾,''石川健治'',関根 誠,近藤博基,...
-絶縁膜プラズマエッチングにおけるArFフォトレジストの表面...
--17p-A7-13
---浅野高平,山本洋,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川...
-プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発
--17p-A7-14
---田嶋聡美,''石川健治'',林俊雄,堀勝
-H2/N2プラズマ中のラジカル密度へ前のプロセスが与える影響
--17p-A7-16
---鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',節原裕一,...
-C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチングの機構解明
--17p-A7-17
---宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-SiエッチングにおけるO2、N2添加効果(II)
--17p-A7-19.
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-基本的なエッチングガスの電子物性
--17p-A7-20.
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-ミドリカビ胞子からの電子スピン共鳴信号の同定
--17p-B8-7.
---森山寛子,民谷和浩,橋爪博司,田中宏昌,''石川健治'',...
-カーボンナノウォールの結晶学的構造に対する過酸化水素水処...
--17p-A3-9.
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-超臨界流体を用いたPt-Au合金ナノ微粒子/カーボンナノウォー...
--17p-B2-16.
---堀部剛良,三ツ口真司,加納浩之,近藤博基,''石川健治''...
-有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成
--16a-E3-5.
---鈴木俊哉,Arkadiusz Malinowski,竹田圭吾,近藤博基,''...
-カーボンナノウォールの構造制御合成と高次機能化
--15p-E8-4.
---堀勝,近藤博基,''石川健治'',竹田圭吾,関根誠,平松美...
-Inactivation of spores of P. digitatum and its quantitat...
--16a-B8-1.
---Hiroshi Hashizume,Takayuki Ohta,Masafumi Ito,Sachik...
-Anti-tumor effects of glioma cancer cells by plasma acti...
--16a-B8-5.
---Hiromasa Tanaka,Kae Nakamura,Sachiko Iseki,Hiroko M...
-Real time in situ ESR measurements of Penicillium digita...
--16p-B8-2.
---Kazuhiro Tamiya,''Kenji Ishikawa'',Hiroshi Hashizume...
-Spatio-temporal behaviours of species generated by atmos...
--16p-B8-6.
---Fengdong Jia,Keigo Takeda,''Kenji Ishikawa'',Hiroyu...
-Gas Temperature Behavior of Atmospheric Pressure Plasma ...
--16p-B8-12.
---Jagath Kularatne,Hiroyuki Kano,Fengdong Jia,Masafum...
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中部ナノテク総合支援: ナノ材料創製加工と先端機器分析 平成...
-フッ素ラジカル密度計測システムの開発
--T05
---東島康裕, 高島成剛, 竹田圭吾, ''石川健治'', 関根 誠, ...
-AC励起大気圧非平衡O2/Arプラズマジェットの酸素原子空間密...
--P05
---竹田圭吾, 加藤正規, ''石川健治'', 関根 誠, 堀 勝
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-水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解機構の解明
--第9回 Cat-CVD研究会 日本大学津田沼キャンパス, 2012年6月...
---新井 祐, 能登 雄祐, 渡邉 誠, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河...
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2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会(愛媛大学・松山大...
-Measurement of SiH3 Radicals in SiH4/H2 Plasma for Silic...
--13p-E1-16
---Yusuke Abe,Atsushi Fukushima,Ya Lu,Youn Joon Kim,K...
-Effect of nitrogen doping on photoconductivity of amorph...
--13p-E1-17
---Leyong Yu,Jun Kuki,Hiroki Kondo,''Kenji Ishikawa''...
-Study on reaction mechanism of plasma-enhanced atomic la...
--13p-E1-18
---Yi Lu,Akiko Kobayashi,Youn Joon Kim,''Kenji Ishikaw...
-Relationship between Ion Energy and Highly Selective SiO...
--13p-E1-1
---Yudai Miyawaki,Yusuke Kondo,Keigo Takeda,Hiroki Kon...
-Mechanism of Etching and Generating Active Species in CH...
--13p-E1-2
---Yusuke Kondo,Yudai Miyawaki,Keigo Takeda,Hiroki Kon...
-Impact of Last Reactor Condition to Radical Density in S...
--13p-E1-3
---Toshiya Suzuki,Arkadiusz Malinowski,Keigo Takeda,Hi...
-Properties of GaAs surface by ion irradiation of chlorine
--13p-E1-4
---Jongyun Park,Takuya Takeuchi,Jiadong Cao,''Kenji Is...
-Behaviors of activated species generated by ultrahigh de...
--13p-E1-9
---Keigo Takeda,''Kenji Ishikawa'',Hiromasa Tanaka,Hir...
-Identification of ESR signals arisen from Penicillium di...
--13p-E1-10
---Hiroko Mizuno,Hiroshi Hashizume,Hiromasa Tanaka,''K...
-Vibrational Sum-Frequency-Generation (SFG) Spectroscopic...
--13p-E1-11
---''Kenji Ishikawa'',Hiroko Mizuno,Hiromasa Tanaka,Ke...
-Measuring Metal Elements in Food Products Using Ar Atmos...
--13p-E1-12
---Jagath Kularatne,Hiroyuki Kano,Masafumi Ito,Takayuk...
-窒化ガリウム(GaN)向けサファイア基板の周波数領域型低コ...
--11p-E2-8
---堤隆嘉,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,太田貴之,伊...
-Study on synthesis mechanisms of nano-graphene materials...
--12a-E1-4
---近藤博基,萩野達也,''石川健治'',関根誠,加納浩之,堀勝
-水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜の...
--13a-E2-6
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,金淵俊,竹田圭吾,''石川健治...
-SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法におけるHラジカル・成膜前駆...
--13a-E2-7
---福島敦史,阿部祐介,陸雅,竹田圭吾,近藤博基,''石川健...
-プリンタブルエレクトロニクスに向けた大気圧ミスト化学気相...
--13p-E2-3
---孫昿達,竹田圭吾,近藤博基,田嶋聡美,''石川健治'',関...
-C5HF7ガスプラズマによるArFフォトレジストの表面ラフネス形...
--13p-E2-17
---浅野高平,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-二周波容量結合型プラズマへのDCバイアス重畳によるSiC膜に...
--13p-E2-19
---古室達也,竹田圭吾,''石川健治'',関根誠,大矢欣伸,近...
-GaNにおけるプラズマダメージのラジカル修復(3)
--13p-E2-20
---Zecheng Liu,陳尚,盧翌,米谷亮祐,''石川健治'',加納...
-Ga系化合物半導体のプラズマエッチングに関する研究
--13p-E2-21
---曹佳棟,米谷亮祐,朴鐘胤,盧翌,陳尚,''石川健治'',関...
-プラズマからの紫外線照射によるSiNx:H/Si界面準位生成
--13a-E3-1
---深沢正永,松谷弘康,本多孝好,宮脇雄大,近藤祐介,竹田...
-C5F8および C5HF7の励起解離
--13a-E3-4
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝
-活性酸素種の密度測定によるミドリカビ胞子殺菌の定量的評価...
--13a-E1-35
---橋爪博司,太田貴之,伊藤昌文,賈鳳東,竹田圭吾,''石川...
-プラズマ培養液によるグリオーマ脳腫瘍細胞の選択的殺傷
--13a-E1-37
---田中宏昌,水野正明,''石川健治'',中村香江,梶山広明,...
-超臨界流体を用いたカーボンナノウォール(CNWs)へのPt, Au微...
--11p-C2-38
---堀部剛良,近藤博基,加納浩之,''石川健治'',関根誠,平...
-カーボンナノウォールの結晶構造に対するラジカル酸化効果
--12p-E3-2
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-カーボンナノウォールのテラヘルツ時間領域分光計測による光...
--12a-C2-2
---平岡丈弘,竹田圭吾,太田貴之,海老塚昇,近藤博基,''石...
-窒素/水素混合ガスプラズマを用いたグラフェンエッジ化学修...
--12a-C2-6
---趙亨峻,近藤博基,''石川健治'',関根誠,平松美根男,堀勝
-プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発(II)
--13a-F7-4
---田嶋聡美,林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝
-有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成(II)
--13p-F7-1
---鈴木俊哉,Arkadiusz Malinowski,竹田圭吾,近藤博基,''...
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-水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解反応
--第61回高分子討論会, 名古屋工業大学, 2012年9月19日~21日...
---新井 祐, 能登 雄佑, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河野 昭彦, '...
-Etched Profile Control in H2/N2 Plasma with Radical Dens...
--Advanced Metallization Conference (ADMETA) 2012, 22nd A...
---Toshiya Suzuki, A. Malinowski, Keigo Takeda, Hiroki Ko...
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