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*2011年 [#p310a9b6]
-Novel Gratings for Subaru Telescope, TMT and E-ELT
--すばる望遠鏡将来装置計画ワークショップ 2011年1月18日, ...
---Noboru Ebizuka, ''Kenji Ishikawa'', Hiroki Kondo, and ...
-(招待講演)“半導体プラズマプロセス中の表面反応機構の解析”,
--第133回シリコンテクノロジー研究集会 2011年2月18日,東...
---''石川健治'',竹内拓也,尼崎新平,浅野高平,山本洋,鈴...
----
2011年春季 第58回応用物理学関係連合講演会(神奈川工科大)...
-“アルコール気液プラズマ生成するナノカーボンの電子スピン...
--24a-EB-1
---''石川健治'',萩野達也,鷲見直也,加納浩之,竹田圭吾,...
-“エッチング代替ガスの解離過程”,
--26a-EB-8
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-“プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボ...
--27a-BG-5
---近藤博基,木野徳重,''石川健治'',関根誠,堀勝
-“バイオ応用に向けた60Hz 大気圧プラズマ源の生成酸素原子の...
--24p-EB-8
---賈鳳東,竹田圭吾,''石川健治'',乾裕俊,井関紗千子,加...
-“アルコール気液プラズマを用いたナノグラフェンの合成”
--27a-CF-7
---萩野達也,乾裕俊,加納浩之,''石川健治'',竹田圭吾,近...
-“プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・そ...
--26p-EB-6
---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-“C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解...
--26a-EB-9
---近藤祐介,宮脇雄大,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-“非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析”
--24p-KJ-11
---加藤正規,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根誠,堀勝
-“SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構Ⅱ”
--26a-EB-4
---尼崎新平,竹内拓也,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-“低損傷GaN エッチングのための塩素プラズマビーム表面相互...
--26p-EB-10
---盧翌,陳尚,米谷亮祐,''石川健治'',近藤博基,竹田圭吾...
-“真空一貫プロセスによるGaNプラズマビームエッチング及び水...
--26p-EB-11
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,江川孝志,''石川健治'',近藤博基...
-“フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表...
--26p-EB-5
---竹内拓也,尼崎新平,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-“薄膜太陽電池製造装置開発に向けたSiH4/H2プラズマにおける...
--26p-BG-6
---阿部祐介,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根誠,堀勝
-“In-situ FTIRを用いたプラズマ曝露および大気曝露によるポ...
--26a-EB-10
---山本洋,浅野高平,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関...
-“カーボンナノウォールの超親水化と機能性バイオテンプレー...
--24a-EB-5
---井関紗千子,堀勝,渡辺 均,太田貴之,近藤博基,''石川...
-“Radical Flux Analysis in ArF Photoresist Plasma Etching...
--24a-EB-10
---Arkadiusz Malinowski,Masaru Hori,Makoto Sekine,''Ke...
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-超高密度60Hz大気圧非平衡プラズマを用いた表面処理技術の開発
--中部地区ナノテク総合支援:ナノ材料創成加工と先端機器分...
---竹田圭吾, 近藤博基, ''石川健治'', 関根誠, 堀勝
-(invited)“リアルタイム計測によるラジカルと固体表面相互反...
--第八回Cat-CVD研究会, 金沢工業大学, 石川県, 2011年6月17...
---堀 勝, 関根 誠, ''石川 健治'', 近藤 博基, 竹田 圭吾, ...
-“水素ラジカル照射による有機薄膜表面処理の実時間・その場...
--第八回Cat-CVD研究会, 金沢工業大学, 石川県, 2011年6月17...
---鷲見 直也, ''石川 健治'', 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 ...
-すばる望遠鏡および次世代巨大望遠鏡用の新しい回折格子
--2011年度光学シンポジウム、東京大学、2011年7月7日
---海老塚昇, ''石川健治'', 近藤博基, 堀勝, A. Bianco, F. ...
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The 24th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-...
-(Keynote)"Electron-Spin Resonance (ESR) Analysis of Plas...
--A1-1-KN
---''Kenji Ishikawa'', Naoya Sumi, Akihiko Kono, Hideo Ho...
-"Fabrication of High-Crystallinity and Low-Defect-Densit...
--B2-2
---Yusuke Abe, Sho Kawashima, Keigo Takeda, Hiroki Kondo,...
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2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会(山形大学) 2011...
-水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜に...
--29a-ZN-5
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,竹田圭吾,''石川健治'',近藤...
-10 GHzマイクロ波スロット励起大気圧プラズマにおけるプラズ...
--29a-ZN-6
---加藤正規,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根誠,堀...
-薄膜シリコン太陽電池プラズマプロセスにおけ水素ラジカル表...
--31a-ZJ-10
---阿部祐介,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根誠,堀勝
-SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリ...
--31a-ZJ-12
---福島敦史,阿部祐介,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン...
--1a-ZC-28
---九鬼淳,于楽泳,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-(若手奨励賞) GaNにおけるプラズマダメージの水素ラジカル修復
--30a-M-7
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基...
-SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構III
--30a-M-8
---尼崎新平,竹内拓也,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-高温エッチングにおける窒化ガリウム(GaN)の表面変性:角...
--30a-M-10
---盧翌,陳尚,米谷亮祐,''石川健治'',近藤博基,竹田圭吾...
-高温における窒化ガリウム(GaN)のエッチング機構
--30a-M-11
---米谷亮祐,陳尚,蘆翌,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基...
-Time-dependent Radical Flux Analysis in ArF Photoresist ...
--30a-M-14
---Arkadiusz Malinowski,堀勝,関根誠,''石川健治'',近藤...
-SiNx:H膜エッチングに及ぼす紫外線の影響
--30a-M-15
---深沢正永,宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,''石川健治'',...
-エッチング代替ガスの解離過程(II)
--31a-M-1
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-SiエッチングにおけるO2、N2添加効果
--31a-M-2
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-DCバイアス重畳二周波容量結合型プラズマの電子密度空間分布...
--31a-M-3
---古室達也,竹田圭吾,''石川健治'',関根誠,大矢欣伸,近...
-C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチング実現の機構解明
--31a-M-4
---宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,''石川健治'',山崎敦代,...
-モデリングによるC3F6O プラズマ絶縁膜エッチング機構の解明
--31a-M-5
---近藤祐介,宮脇雄大,竹田圭吾,''石川健治'',林俊雄,関...
-C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネス発生抑制...
--31a-M-6
---浅野高平,山本洋,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川...
-有機材料の超微細エッチングにおける白金微粒子の側壁保護作...
--31a-M-7
---鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',節原裕一,...
-プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その...
--31a-M-9
---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表...
--31p-M-6
---竹内拓也,尼崎新平,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの合成メカニ...
--29a-ZM-13
---萩野達也,加納浩之,''石川健治'',竹田圭吾,近藤博基,...
-プラズマ励起気相堆積法で合成したアモルファスカーボン結晶...
--30a-ZD-12
---于楽泳,九鬼淳,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根...
-Ar Flow Rate Dependence of Emission Intensity of Metal A...
--31a-ZD-4
---Jagath Kularatne,太田貴之,伊藤昌文,加納浩之,竹田圭...
-高密度60Hz大気圧プラズマ生成酸素原子絶対密度の空間分布
--31a-ZD-5
---Fendong Jia,竹田圭吾,''石川健治'',加納浩之,近藤博...
-カビ胞子とプラズマの相互作用の電子スピン共鳴法による観察
--31a-ZD-10
---''石川健治'',井関紗千子,太田貴之,伊藤昌文,加納浩之...
-プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォー...
--31p-ZF-13
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォー...
--1a-E-15
---近藤博基,下枝弘尚,''石川健治'',関根誠,堀勝,平松美...
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおけ...
--1p-E-2
---趙亨峻,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
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-In-situ Analysis of Modification on Porous SiOCH During ...
--21st Asian Session Advanced Metallization Conference 20...
---Kohei Asano, Hiroshi Yamamoto, ''Kenji Ishikawa'', Kei...
-"H2/Ar混合ガスを用いた高密度非平衡大気圧プラズマによる酸...
--表面技術協会第124回講演大会, 名古屋大学, 2011年9月20日 ...
---加藤正規,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根 誠,...
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応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別...
-非平衡大気圧H2/Arプラズマによる酸化銅還元メカニズム
--P-4, p. 45.
---竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-SiH4/H2プラズマにおける水素ラジカル表面損失確率
--P-9, p. 50.
---阿部祐介,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-O atom Behavior of Ultrahigh Density 60 Hz Atmospheric P...
--P-11, p. 52.
---フェントン・ジャー,竹田圭吾,''石川健治'',加納浩之,...
-実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)を用いた水素原子...
--P-19, p. 63.
---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-Crystallographic Analysis of Amorphous Carbon Films Synt...
--P-20, p. 64.
---于楽永,九鬼淳,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根...
-微結晶シリコン製膜における水素ラジカル注入型プラズマ源の...
--P-23, p. 67.
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,竹田圭吾,''石川健治'',近藤...
-白金微粒子の側壁保護作用を用いた有機材料の超微細エッチング
--P-24, p. 68.
---鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',節原裕一,...
-C3F6Oプラズマ中のイオン・ラジカルの生成機構
--P-26, p. 70.
---近藤祐介,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構
--P-27, p. 71.
---尼崎新平,竹内拓也,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表...
--P-29, p. 73.
---竹内拓也,尼崎新平,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-酸素プラズマによるポーラスSiOCH膜の構造変化機構
--P-30 p. 74.
---浅野高平,山本洋,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関...
-アモルファスカーボン膜の結晶構造及び欠陥密度に対するRFバ...
--P-33 p. 77.
---九鬼淳,于楽永,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根...
-超臨界流体を用いたカーボンナノウォール(CNWs)へのTiO2微...
--P-34 p. 78.
---堀部剛良,三ツ口真司,加納浩之,近藤博基,''石川健治''...
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおけ...
--P-37 p. 81.
---趙亨峻,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-配列カーボンナノウォールの作製
--P-39 p. 83.
---神田貴幸,近藤博基,山川晃司,竹田圭吾,''石川健治'',...
-カーボンナノウォールの結晶構造に対する酸素ラジカル照射効果
--P-40 p. 84.
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-水素ラジカルによるGaN中プラズマ誘導欠陥の不活性化
--P-42 p. 86.
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基...
-High Temperature N2 Plasma Induced Stoichiometric Modifi...
--P-43 p. 87.
---盧翌,陳尚,米谷亮祐,''石川健治'',近藤博基,竹田圭吾...
-In-situ X線光電子分光法によるGaNとプラズマビームの相...
--P-46 p. 90.
---米谷亮祐,陳尚,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根...
-アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの制御合成
--P-54 p. 100.
---萩野達也,加納浩之,''石川健治'',竹田圭吾,近藤博基,...
-テラヘルツ時間領域分光法を用いた非平衡大気圧プラズマによ...
--P-63 p. 111.
---平岡丈弘,海老塚昇,竹田圭吾,太田貴之,近藤博基,''石...
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-SiH4/H2プ ラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリ...
--第3回太陽電池セミナー,ラフレさいたま, 2011月10月24-25...
---福島敦史、阿部佑介、竹田圭吾、近藤博基、''石川健治''、...
-加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたPMMA 系ポリマ...
--平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会、金沢歌...
---渡邉誠, 新井祐, 河野昭彦, 鷲見直也, ''石川健治'', 堀勝...
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プラズマカンファレンス2011, プラズマ・核融合学会第28回年...
-(招待講演) 電子スピン共鳴測定によるプラズマ表面相互作用...
--24B1
---''石川健治'',鷲見直也,河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールの結晶...
--22B07
---趙亨峻, 竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根 誠,堀 勝
-O2/Ar非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析
--23G09
---加藤正規, 竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根 誠,...
-低温大気圧プラズマとミドリカビ胞子の相互作用
--22G11.
---橋爪博司、太田貴之、森拓海、伊藤昌文、竹田圭吾、''石川...
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-カーボンナノウォールの低温二段階成長
--MRS-J 2011, F-18-M
---神田 貴幸, 近藤 博基, 竹田 圭吾, ''石川健治'', 関根 誠...
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*2011年 [#p310a9b6]
-Novel Gratings for Subaru Telescope, TMT and E-ELT
--すばる望遠鏡将来装置計画ワークショップ 2011年1月18日, ...
---Noboru Ebizuka, ''Kenji Ishikawa'', Hiroki Kondo, and ...
-(招待講演)“半導体プラズマプロセス中の表面反応機構の解析”,
--第133回シリコンテクノロジー研究集会 2011年2月18日,東...
---''石川健治'',竹内拓也,尼崎新平,浅野高平,山本洋,鈴...
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2011年春季 第58回応用物理学関係連合講演会(神奈川工科大)...
-“アルコール気液プラズマ生成するナノカーボンの電子スピン...
--24a-EB-1
---''石川健治'',萩野達也,鷲見直也,加納浩之,竹田圭吾,...
-“エッチング代替ガスの解離過程”,
--26a-EB-8
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-“プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボ...
--27a-BG-5
---近藤博基,木野徳重,''石川健治'',関根誠,堀勝
-“バイオ応用に向けた60Hz 大気圧プラズマ源の生成酸素原子の...
--24p-EB-8
---賈鳳東,竹田圭吾,''石川健治'',乾裕俊,井関紗千子,加...
-“アルコール気液プラズマを用いたナノグラフェンの合成”
--27a-CF-7
---萩野達也,乾裕俊,加納浩之,''石川健治'',竹田圭吾,近...
-“プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・そ...
--26p-EB-6
---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-“C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解...
--26a-EB-9
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--24p-KJ-11
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-“SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構Ⅱ”
--26a-EB-4
---尼崎新平,竹内拓也,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-“低損傷GaN エッチングのための塩素プラズマビーム表面相互...
--26p-EB-10
---盧翌,陳尚,米谷亮祐,''石川健治'',近藤博基,竹田圭吾...
-“真空一貫プロセスによるGaNプラズマビームエッチング及び水...
--26p-EB-11
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,江川孝志,''石川健治'',近藤博基...
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--26p-EB-5
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-“薄膜太陽電池製造装置開発に向けたSiH4/H2プラズマにおける...
--26p-BG-6
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-“In-situ FTIRを用いたプラズマ曝露および大気曝露によるポ...
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---山本洋,浅野高平,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関...
-“カーボンナノウォールの超親水化と機能性バイオテンプレー...
--24a-EB-5
---井関紗千子,堀勝,渡辺 均,太田貴之,近藤博基,''石川...
-“Radical Flux Analysis in ArF Photoresist Plasma Etching...
--24a-EB-10
---Arkadiusz Malinowski,Masaru Hori,Makoto Sekine,''Ke...
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-超高密度60Hz大気圧非平衡プラズマを用いた表面処理技術の開発
--中部地区ナノテク総合支援:ナノ材料創成加工と先端機器分...
---竹田圭吾, 近藤博基, ''石川健治'', 関根誠, 堀勝
-(invited)“リアルタイム計測によるラジカルと固体表面相互反...
--第八回Cat-CVD研究会, 金沢工業大学, 石川県, 2011年6月17...
---堀 勝, 関根 誠, ''石川 健治'', 近藤 博基, 竹田 圭吾, ...
-“水素ラジカル照射による有機薄膜表面処理の実時間・その場...
--第八回Cat-CVD研究会, 金沢工業大学, 石川県, 2011年6月17...
---鷲見 直也, ''石川 健治'', 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 ...
-すばる望遠鏡および次世代巨大望遠鏡用の新しい回折格子
--2011年度光学シンポジウム、東京大学、2011年7月7日
---海老塚昇, ''石川健治'', 近藤博基, 堀勝, A. Bianco, F. ...
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The 24th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-...
-(Keynote)"Electron-Spin Resonance (ESR) Analysis of Plas...
--A1-1-KN
---''Kenji Ishikawa'', Naoya Sumi, Akihiko Kono, Hideo Ho...
-"Fabrication of High-Crystallinity and Low-Defect-Densit...
--B2-2
---Yusuke Abe, Sho Kawashima, Keigo Takeda, Hiroki Kondo,...
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2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会(山形大学) 2011...
-水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜に...
--29a-ZN-5
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,竹田圭吾,''石川健治'',近藤...
-10 GHzマイクロ波スロット励起大気圧プラズマにおけるプラズ...
--29a-ZN-6
---加藤正規,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根誠,堀...
-薄膜シリコン太陽電池プラズマプロセスにおけ水素ラジカル表...
--31a-ZJ-10
---阿部祐介,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根誠,堀勝
-SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリ...
--31a-ZJ-12
---福島敦史,阿部祐介,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン...
--1a-ZC-28
---九鬼淳,于楽泳,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-(若手奨励賞) GaNにおけるプラズマダメージの水素ラジカル修復
--30a-M-7
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基...
-SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構III
--30a-M-8
---尼崎新平,竹内拓也,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-高温エッチングにおける窒化ガリウム(GaN)の表面変性:角...
--30a-M-10
---盧翌,陳尚,米谷亮祐,''石川健治'',近藤博基,竹田圭吾...
-高温における窒化ガリウム(GaN)のエッチング機構
--30a-M-11
---米谷亮祐,陳尚,蘆翌,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基...
-Time-dependent Radical Flux Analysis in ArF Photoresist ...
--30a-M-14
---Arkadiusz Malinowski,堀勝,関根誠,''石川健治'',近藤...
-SiNx:H膜エッチングに及ぼす紫外線の影響
--30a-M-15
---深沢正永,宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,''石川健治'',...
-エッチング代替ガスの解離過程(II)
--31a-M-1
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-SiエッチングにおけるO2、N2添加効果
--31a-M-2
---林俊雄,''石川健治'',関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
-DCバイアス重畳二周波容量結合型プラズマの電子密度空間分布...
--31a-M-3
---古室達也,竹田圭吾,''石川健治'',関根誠,大矢欣伸,近...
-C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチング実現の機構解明
--31a-M-4
---宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,''石川健治'',山崎敦代,...
-モデリングによるC3F6O プラズマ絶縁膜エッチング機構の解明
--31a-M-5
---近藤祐介,宮脇雄大,竹田圭吾,''石川健治'',林俊雄,関...
-C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネス発生抑制...
--31a-M-6
---浅野高平,山本洋,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川...
-有機材料の超微細エッチングにおける白金微粒子の側壁保護作...
--31a-M-7
---鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',節原裕一,...
-プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その...
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---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表...
--31p-M-6
---竹内拓也,尼崎新平,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの合成メカニ...
--29a-ZM-13
---萩野達也,加納浩之,''石川健治'',竹田圭吾,近藤博基,...
-プラズマ励起気相堆積法で合成したアモルファスカーボン結晶...
--30a-ZD-12
---于楽泳,九鬼淳,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根...
-Ar Flow Rate Dependence of Emission Intensity of Metal A...
--31a-ZD-4
---Jagath Kularatne,太田貴之,伊藤昌文,加納浩之,竹田圭...
-高密度60Hz大気圧プラズマ生成酸素原子絶対密度の空間分布
--31a-ZD-5
---Fendong Jia,竹田圭吾,''石川健治'',加納浩之,近藤博...
-カビ胞子とプラズマの相互作用の電子スピン共鳴法による観察
--31a-ZD-10
---''石川健治'',井関紗千子,太田貴之,伊藤昌文,加納浩之...
-プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォー...
--31p-ZF-13
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォー...
--1a-E-15
---近藤博基,下枝弘尚,''石川健治'',関根誠,堀勝,平松美...
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおけ...
--1p-E-2
---趙亨峻,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
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-In-situ Analysis of Modification on Porous SiOCH During ...
--21st Asian Session Advanced Metallization Conference 20...
---Kohei Asano, Hiroshi Yamamoto, ''Kenji Ishikawa'', Kei...
-"H2/Ar混合ガスを用いた高密度非平衡大気圧プラズマによる酸...
--表面技術協会第124回講演大会, 名古屋大学, 2011年9月20日 ...
---加藤正規,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根 誠,...
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応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別...
-非平衡大気圧H2/Arプラズマによる酸化銅還元メカニズム
--P-4, p. 45.
---竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-SiH4/H2プラズマにおける水素ラジカル表面損失確率
--P-9, p. 50.
---阿部祐介,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-O atom Behavior of Ultrahigh Density 60 Hz Atmospheric P...
--P-11, p. 52.
---フェントン・ジャー,竹田圭吾,''石川健治'',加納浩之,...
-実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)を用いた水素原子...
--P-19, p. 63.
---鷲見直也,''石川健治'',河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-Crystallographic Analysis of Amorphous Carbon Films Synt...
--P-20, p. 64.
---于楽永,九鬼淳,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根...
-微結晶シリコン製膜における水素ラジカル注入型プラズマ源の...
--P-23, p. 67.
---陸雅,福島敦史,阿部祐介,竹田圭吾,''石川健治'',近藤...
-白金微粒子の側壁保護作用を用いた有機材料の超微細エッチング
--P-24, p. 68.
---鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',節原裕一,...
-C3F6Oプラズマ中のイオン・ラジカルの生成機構
--P-26, p. 70.
---近藤祐介,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',...
-SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構
--P-27, p. 71.
---尼崎新平,竹内拓也,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表...
--P-29, p. 73.
---竹内拓也,尼崎新平,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,...
-酸素プラズマによるポーラスSiOCH膜の構造変化機構
--P-30 p. 74.
---浅野高平,山本洋,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関...
-アモルファスカーボン膜の結晶構造及び欠陥密度に対するRFバ...
--P-33 p. 77.
---九鬼淳,于楽永,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根...
-超臨界流体を用いたカーボンナノウォール(CNWs)へのTiO2微...
--P-34 p. 78.
---堀部剛良,三ツ口真司,加納浩之,近藤博基,''石川健治''...
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおけ...
--P-37 p. 81.
---趙亨峻,竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根誠,堀勝
-配列カーボンナノウォールの作製
--P-39 p. 83.
---神田貴幸,近藤博基,山川晃司,竹田圭吾,''石川健治'',...
-カーボンナノウォールの結晶構造に対する酸素ラジカル照射効果
--P-40 p. 84.
---下枝弘尚,近藤博基,''石川健治'',平松美根男,関根誠,...
-水素ラジカルによるGaN中プラズマ誘導欠陥の不活性化
--P-42 p. 86.
---陳尚,盧翌,米谷亮祐,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基...
-High Temperature N2 Plasma Induced Stoichiometric Modifi...
--P-43 p. 87.
---盧翌,陳尚,米谷亮祐,''石川健治'',近藤博基,竹田圭吾...
-In-situ X線光電子分光法によるGaNとプラズマビームの相...
--P-46 p. 90.
---米谷亮祐,陳尚,竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根...
-アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの制御合成
--P-54 p. 100.
---萩野達也,加納浩之,''石川健治'',竹田圭吾,近藤博基,...
-テラヘルツ時間領域分光法を用いた非平衡大気圧プラズマによ...
--P-63 p. 111.
---平岡丈弘,海老塚昇,竹田圭吾,太田貴之,近藤博基,''石...
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-SiH4/H2プ ラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリ...
--第3回太陽電池セミナー,ラフレさいたま, 2011月10月24-25...
---福島敦史、阿部佑介、竹田圭吾、近藤博基、''石川健治''、...
-加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたPMMA 系ポリマ...
--平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会、金沢歌...
---渡邉誠, 新井祐, 河野昭彦, 鷲見直也, ''石川健治'', 堀勝...
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プラズマカンファレンス2011, プラズマ・核融合学会第28回年...
-(招待講演) 電子スピン共鳴測定によるプラズマ表面相互作用...
--24B1
---''石川健治'',鷲見直也,河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,...
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールの結晶...
--22B07
---趙亨峻, 竹田圭吾,近藤博基,''石川健治'',関根 誠,堀 勝
-O2/Ar非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析
--23G09
---加藤正規, 竹田圭吾,''石川健治'',近藤博基,関根 誠,...
-低温大気圧プラズマとミドリカビ胞子の相互作用
--22G11.
---橋爪博司、太田貴之、森拓海、伊藤昌文、竹田圭吾、''石川...
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-カーボンナノウォールの低温二段階成長
--MRS-J 2011, F-18-M
---神田 貴幸, 近藤 博基, 竹田 圭吾, ''石川健治'', 関根 誠...
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