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第68回春季応用物理学会　オンライン　2021年3月16日～19日

• 塩素吸着を用いた窒化ガリウムの原子層エッチングプロセス特性のArイオンエネルギー依存性
  • [16p-Z12-14] 2021年3月16日（火）18:45
    • 堤 隆嘉、長谷川 将希、中村 昭平、谷出 敦、近藤 博基、関根 誠、石川 健治、堀 勝
• 酸素ラジカル処理肥料溶液を用いた殺菌でのピロール化合物の重要性
  • [16p-Z12-16] 2021年3月16日（火）19:15
    • 岩田 直幸、石川 健治、橋爪 博司、田中 宏昌、伊藤 昌文、堀 勝
• Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動
  • [17a-Z03-5] 2021年3月17日（水） 10:00
    • 吉江 泰斗、三好 康史、堤 隆嘉、釘宮 克尚、石川 健治、堀 勝
• リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析
  • [19a-Z17-6] 2021年3月19日（金）11:15
    • 胡 留剛、堤 隆嘉、蕭 世男、近藤 博基、石川 健治、関根 誠、堀 勝
• 気相反応制御によるプラズマ活性溶液の反応と抗腫瘍効果の究明
  • [19p-Z17-10] 2021年3月19日（金）16:15
    • 伊藤 大貴、石川 健治、橋爪 博司、田中 宏昌、堀 勝
• かいわれ大根種子の発芽と発芽の成長に対する大気圧プラズマ照射の影響－種子の色と貯蔵の効果
  • [19p-Z17-16] 2021年3月19日（金）18:45
    • 奥村 賢直、アトリ パンカジ、石川 健治、古閑 一憲、白谷 正治、ヴィダ ミルダズィネ
• 液中プラズマを用いたナノグラフェン合成における活性種の効果[II]
  • [19p-Z02-10] 2021年3月19日（金）16:00
    • 近藤 博基、濱地 遼、堤 隆嘉、石川 健治、関根 誠、堀 勝

その他

• （招待）　低温プラズマバイオサイエンスの未来
  • [17p-Z03-5]
    • 堀 勝
• マイクロ放電ホローカソードプラズマを用いた真空紫外吸収分光用自己吸収光源の分光診断
  • [18p-Z17-6]
    • 竹田 圭吾、堤 隆嘉、平松 美根男、堀 勝
• プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～少数キャリアライフタイムによる定量評価～
  • [17a-Z03-3]
    • 布村 正太、坂田 功、堤 隆嘉、堀 勝

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