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9:20-9:30
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開会挨拶
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堀 勝
（名古屋大学）
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9:30-11:00
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プロセスプラズマの基礎とプラズマ生成法
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菅井秀郎
（中部大学） |
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プラズマによる材料プロセスには，低圧力から大気圧まで様々な反応性ガスによる多彩な放電形式と放電周波数のプラズマが用いられており，その密度・温度・熱的非平衡性等の物性パラメーターは何桁にもわたって広がっている。この講義では，プラズマの発生・消滅，エネルギー授受の物理過程を基礎的にわかりやすく説明し，代表的な各種プラズマの生成法を系統的に分類し整理しながら解説する。
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11:00-12:00
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バイオ・医療応用におけるプラズマプロセス
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畠山力三
（東北大学） |
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最初に、コロナ・グロー・アーク等放電の低気圧、大気圧及び溶液中プラズマプロセスを用いたバイオコーティング、失活・滅菌・殺菌、凝固・治療・手術の現状を説明する。次に、次世代バイオ・医療応用について、ナノカーボンの細胞内までの輸送・ドラッグデリバリーシステムに関する現状と最先端課題について説明する。更にこれをベースに、先進的気体、液体及び気液界面プラズマ応用のナノカーボン基盤ナノバイオエレクトロニクスデバイスシステム構築へのアプローチを説明する。
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12:00-13:00
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昼 食 休 憩
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13:00-14:00
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大気圧プラズマの生成と物理
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河野明廣
（名古屋大学） |
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大気圧（高気圧）におけるプラズマ生成やプラズマの特性は低圧プラズマの場合とどのように異なるか，これを支配する基本的な物理的背景について概説する。また，筆者らの調べているマイクロ波励起大気圧マイクロプラズマについて，その特徴や基本的なプラズマパラメータの測計測結果をのべ，特に非平衡大気圧プラズマの生成を理解する一助とする。
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14:00-15:00
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薄膜シリコン太陽電池製造に関わるプラズマプロセス
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豊田浩孝
（名古屋大学） |
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薄膜シリコン太陽電池は、材料供給が安定であり、かつ無害なSiを用いていることか ら、長期的には大規模太陽光発電システムの中核を担う太陽電池になると考えられ る。本太陽電池の製造にあたってはSiH4ガスを用いたプラズマ気相成長法が用いられ るが、高品質な薄膜シリコン形成のためには気相及び表面反応過程の理解が重要であ る。本講義ではSiH4プラズマの気相表面反応過程を概説するとともに、新しいプラズ マCVD装置の開発状況等も述べる。
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15:00-15:15
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休 憩
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15:15-16:15
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最先端プラズマ計測技術
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佐々木浩一
（名古屋大学） |
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プラズマ計測技術はプラズマナノプロセスの研究開発において中核的実験技術となるものであり，プラズマ計測技術の善し悪しは研究の品質に強く影響する。本講演では，本スクールの実演講習で取り上げられる基盤的計測技術に関して簡単に説明した後，最先端のプラズマ計測技術の原理および適用例に関して解説する。2次元レーザー誘起蛍光法，レーザー吸収分光法(キャビティリングダウン吸収分光法を含む)，先端的プローブ計測法，負イオン計測法，電界計測法などについて紹介する予定である。
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(講義後、実験室に移動)
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計測技術実演講習 (16:30-17:45)
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グループ
(担当者名) |
Aグループ
(石島達夫) |
Bグループ
(荒巻光利) |
Cグループ
(林 俊雄) |
Dグループ
(竹田圭吾) |
| テーマ名 |
プローブ計測 |
発光分光計測 |
QMS計測 |
UV吸収分光計測（ラジカル計測） |
＊ A,B,C,Dと４つのグループに分かれて計測技術実演講習を行います。
＊申込時に、A〜Dのテーマより１つをお選び頂きます。
＊各グループ先着20名様に限定させて頂きます。
＊第３希望まで選択して頂き、希望者多数のテーマについては調整いたします。
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18:00-19:30
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交流会 （名古屋大学 レストラン花の木）
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会場への交通
スクールの様子（準備中）