第４回プラズマナノ科学技術に関する学術講習会および講演会
プラズマプロセスの基礎〜最新応用
- 講義と実践的なプラズマ計測実習 -
プログラム
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9:20-9:30
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開会挨拶
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堀 勝
（名古屋大学）
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9:30-10:50
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プラズマの基礎とプロセスプラズマ生成法
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豊田 浩孝
（名古屋大学） |
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(低温プラズマプロセスの基礎と各種プラズマ生成法について）
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10:50-12:10
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大気圧プラズマの生成と物理
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河野 明廣
（名古屋大学） |
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（大気圧プラズマの生成法とそのプラズマ物理について）
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12:10-13:00
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昼 食 休 憩
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13:00-14:00
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プラズマエッチングの基本とプロセス技術
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関根 誠
（名古屋大学） |
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（プラズマエッチング技術について）
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14:00-15:00
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プラズマＣＶＤプロセス
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白藤 立
（名古屋大学） |
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（プラズマＣＶＤ技術について）
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15:00-15:15
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休 憩
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15:15-16:15
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基盤的プラズマ計測技術および能動分光によるプラズマ計測技術
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佐々木浩一
（北海道大学） |
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（一般的なプラズマ計測法および最先端のプラズマ計測法について）
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(講義後、実験室に移動)
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計測技術実演講習 (16:20-17:20)
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グループ
(担当者名) |
Aグループ
(石島達夫) |
Bグループ
(林 俊雄) |
Cグループ
(竹田圭吾) |
Dグループ
(石川健治) |
| テーマ名 |
プローブ計測 |
質量分析器計測 |
大気圧プラズマ |
発光分光計測 |
＊ A,B,C,Dと４つのグループに分かれて計測技術実演講習を行います。
＊申込時に、A〜Dのテーマより１つをお選び頂きます。
＊各グループ先着20名様に限定させて頂きます。
＊第３希望まで選択して頂き、希望者多数のテーマについては調整いたします。
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17:30-19:30
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交流会 （名古屋大学 七味亭）
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スクール参加費：
一般30,000円、学生3,000円
（但し、計測実習に関しては一般の受講希望者を優先しますので学生の方は受講できない場合があります）
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会場への交通
スクールの様子（準備中）