• 追加された行はこの色です。
• 削除された行はこの色です。
• Blog20220619 へ行く。
• Blog20220619 の差分を削除

---

#author("2022-06-16T13:24:29+09:00","default:ishikawa","ishikawa")
[[Blogs]]

**20世紀におけるプラズマ物理の歴史と将来展望（板谷良平）　応用物理69, 971 (2000)

古い記事を読見直したメモ

表　プラズマ年表

図　プラズマがかかわる技術の年表，

真空管内の電離，粒子集団の現象（電子機器，照明，エネルギー源，半導体加工）

・真空管・放電管（電子機器）　：　
・・レーダーアンテナ用途（TR管，イグナトロン，サイラトロン，マグネトロン）
・・照明用途（ネオン管，ニクシー管，蛍光灯），水銀アーク灯
・・ディスプレイ（プラズマパネル），
・・レーザー（エキシマ）
・エネルギー源：　核融合，プラズマトーチ（溶接），プラズマ推進（イオンスラスタ）
・半導体加工：　プラズマCVD（ダイヤモンド，カーボンナノチューブ），プラズマエッチング
・・アークプラズマ，放電加工，スパッタ，イオンプレーティング

図　プラズマ物理にかかわる事項の発表の年表

極限高温プラズマ＝核融合プラズマ

弱電離プラズマ

反応性プラズマ

「プラズマは関与する物質の原子又は分子を活性化し輸送する役割を果たしている」
「電子を含む粒子間の非弾性衝突」
「非弾性衝突を起こすのが電子」
「表面に与える効果を直接制御できるのがイオンのエネルギー」

活性化の源である電子の密度とエネルギー分布の制御
ハロゲンを含む分子は，正イオンにも負イオンにもなり得る
電源のパルス化，正イオンと負イオンの交互発生
高機能性の付与＝省資源

非平衡プラズマ　と言うワードが出てくる．
太古の物質創生の状況を再現＝プラズマバイオ化学的反応
環境（宇宙プラズマ）

「No way to survive without plasma technology」