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*2011年 [#p310a9b6]

-Novel Gratings for Subaru Telescope, TMT and E-ELT
--すばる望遠鏡将来装置計画ワークショップ 2011年1月18日, 国立天文台	
---Noboru Ebizuka, ''Kenji Ishikawa'', Hiroki Kondo, and Masaru Hori

-(招待講演)“半導体プラズマプロセス中の表面反応機構の解析”，
--第133回シリコンテクノロジー研究集会　2011年2月18日，東京大学
---''石川健治''，竹内拓也，尼崎新平，浅野高平，山本洋，鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝：

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2011年春季 第58回応用物理学関係連合講演会（神奈川工科大） 2011年3月24日- 27日(東日本大震災により投稿のみ)

-“アルコール気液プラズマ生成するナノカーボンの電子スピン共鳴法によるその場観察” 
--24a-EB-1
---''石川健治''，萩野達也，鷲見直也，加納浩之，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-“エッチング代替ガスの解離過程”, 
--26a-EB-8
---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱
-“プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造に対するRF バイアス印加の効果” 
--27a-BG-5
---近藤博基，木野徳重，''石川健治''，関根誠，堀勝
-“バイオ応用に向けた60Hz 大気圧プラズマ源の生成酸素原子の空間分布”
--24p-EB-8
---賈鳳東，竹田圭吾，''石川健治''，乾裕俊，井関紗千子，加納浩之，近藤博基，関根誠，堀勝
-“アルコール気液プラズマを用いたナノグラフェンの合成”
--27a-CF-7
---萩野達也，乾裕俊，加納浩之，''石川健治''，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-“プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析”
--26p-EB-6
---鷲見直也，''石川健治''，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-“C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解明(Ⅱ)”
--26a-EB-9
---近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，林俊雄，関根誠，岡本秀一，堀勝
-“非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析”
--24p-KJ-11
---加藤正規，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-“SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構Ⅱ”
--26a-EB-4
---尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝，櫻井典子，林久貴，酒井伊都子，大岩徳久
-“低損傷GaN エッチングのための塩素プラズマビーム表面相互作用と角度分解ＸＰＳによるその場解析”
--26p-EB-10
---盧翌，陳尚，米谷亮祐，''石川健治''，近藤博基，竹田圭吾，関根誠，江川孝志，天野浩，節原裕一，堀勝
-“真空一貫プロセスによるGaNプラズマビームエッチング及び水素ラジカルダメージ層除去とその表界面反応機構の解明”
--26p-EB-11
---陳尚，盧翌，米谷亮祐，江川孝志，''石川健治''，近藤博基，加納浩之，徳田豊，関根誠，節原裕一，竹田圭吾，天野浩，堀勝
-“フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表面改質の解明”
--26p-EB-5
---竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-“薄膜太陽電池製造装置開発に向けたSiH4/H2プラズマにおける水素ラジカル表面損失確率計測”
--26p-BG-6
---阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-“In-situ FTIRを用いたプラズマ曝露および大気曝露によるポーラスSiOCH low-k膜の化学組成変化解析”
--26a-EB-10
---山本洋，浅野高平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-“カーボンナノウォールの超親水化と機能性バイオテンプレートへの応用”
--24a-EB-5
---井関紗千子，堀勝，渡辺　均，太田貴之，近藤博基，''石川健治''，竹田圭吾，関根誠，伊藤昌文
-“Radical Flux Analysis in ArF Photoresist Plasma Etching using Parallel Plate Structure”
--24a-EB-10
---Arkadiusz Malinowski，Masaru Hori，Makoto Sekine，''Kenji Ishikawa''，Hiroki Kondo，Hiroshi Yamamoto，Takuya Takeuchi，Toshiya Suzuki，Lidia Lukasiak，Andrzej Jakubowski，Dan Tomaszewski

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-超高密度60Hz大気圧非平衡プラズマを用いた表面処理技術の開発
--中部地区ナノテク総合支援：ナノ材料創成加工と先端機器分析 平成22年度成果報告会、名古屋工業大学、2011年3月30日 P08.
---竹田圭吾, 近藤博基, ''石川健治'', 関根誠, 堀勝
-(invited)“リアルタイム計測によるラジカルと固体表面相互反応プロセスの体系化”
--第八回Cat-CVD研究会, 金沢工業大学, 石川県, 2011年6月17日-18日
---堀 勝, 関根 誠, ''石川 健治'', 近藤 博基, 竹田 圭吾, 河野 昭彦, 堀邊 英夫
-“水素ラジカル照射による有機薄膜表面処理の実時間・その場電子スピン共鳴（ESR)解析”
--第八回Cat-CVD研究会, 金沢工業大学, 石川県, 2011年6月17日-18日
---鷲見 直也, ''石川 健治'', 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
-すばる望遠鏡および次世代巨大望遠鏡用の新しい回折格子
--2011年度光学シンポジウム、東京大学、2011年7月7日
---海老塚昇, ''石川健治'', 近藤博基, 堀勝, A. Bianco, F. MariaZerbi

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The 24th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-24), 大阪大学, 大阪府, 2011年7月19日 - 20日, 

-(Keynote)"Electron-Spin Resonance (ESR) Analysis of Plasma-Surface Interaction"
--A1-1-KN
---''Kenji Ishikawa'', Naoya Sumi, Akihiko Kono, Hideo Horibe, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
-"Fabrication of High-Crystallinity and Low-Defect-Density Microcrystalline Silicon Thin Film Employing Radical-Injection Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition"
--B2-2
---Yusuke Abe, Sho Kawashima, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, ''Kenji Ishikawa'', Makoto Sekine, Masaru Hori

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2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会（山形大学） 2011年8月29日-9月2日

-水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における欠陥密度の抑制効果
--29a-ZN-5
---陸雅，福島敦史，阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-10 GHzマイクロ波スロット励起大気圧プラズマにおけるプラズマ生成と活性種の挙動に関する研究
--29a-ZN-6
---加藤正規，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝，三好秀典，久保田雄介，伊藤仁
-薄膜シリコン太陽電池プラズマプロセスにおけ水素ラジカル表面反応
--31a-ZJ-10
---阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリコン薄膜結晶性の関係性
--31a-ZJ-12
---福島敦史，阿部祐介，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の欠陥密度に対するRFバイアス印加の効果
--1a-ZC-28
---九鬼淳，于楽泳，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-(若手奨励賞) GaNにおけるプラズマダメージの水素ラジカル修復
--30a-M-7
---陳尚，盧翌，米谷亮祐，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，加納浩之，徳田豊，関根誠，江川孝志，天野浩，堀勝
-SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構III
--30a-M-8
---尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝，櫻井典子，林久貴，酒井伊都子，大岩徳久
-高温エッチングにおける窒化ガリウム（GaN）の表面変性：角度分解X線光電子解析
--30a-M-10
---盧翌，陳尚，米谷亮祐，''石川健治''，近藤博基，竹田圭吾，関根誠，江川孝志，天野浩，堀勝
-高温における窒化ガリウム（GaN）のエッチング機構
--30a-M-11
---米谷亮祐，陳尚，蘆翌，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，江川孝志，天野浩，堀勝
-Time-dependent Radical Flux Analysis in ArF Photoresist Plasma Etching using Parallel Plate Structure
--30a-M-14
---Arkadiusz Malinowski，堀勝，関根誠，''石川健治''，近藤博基，山本洋，竹内拓也，鈴木俊哉，Lidia Lukasiak，Andrzej Jakubowski
-SiNx:H膜エッチングに及ぼす紫外線の影響
--30a-M-15
---深沢正永，宮脇雄大，近藤祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，南正樹，上澤史且，堀勝，辰巳哲也
-エッチング代替ガスの解離過程(II)
--31a-M-1
---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱
-SiエッチングにおけるO2、N2添加効果
--31a-M-2
---林俊雄，''石川健治''，関根誠，堀勝，河野明廣，鄒弘綱
-DCバイアス重畳二周波容量結合型プラズマの電子密度空間分布計測
--31a-M-3
---古室達也，竹田圭吾，''石川健治''，関根誠，大矢欣伸，近藤博基，堀勝
-C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチング実現の機構解明
--31a-M-4
---宮脇雄大，近藤祐介，竹田圭吾，''石川健治''，山崎敦代，伊東安曇，松本裕一，関根誠，堀勝
-モデリングによるC3F6O プラズマ絶縁膜エッチング機構の解明
--31a-M-5
---近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，''石川健治''，林俊雄，関根誠，堀勝
-C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネス発生抑制機構 (II)
--31a-M-6
---浅野高平，山本洋，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝，山崎敦代，伊藤安曇，松本裕一
-有機材料の超微細エッチングにおける白金微粒子の側壁保護作用に関する研究
--31a-M-7
---鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，節原裕一，白谷正治，関根誠，堀勝
-プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析（2）
--31a-M-9
---鷲見直也，''石川健治''，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表面改質の解明 (2)
--31p-M-6
---竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの合成メカニズム
--29a-ZM-13
---萩野達也，加納浩之，''石川健治''，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-プラズマ励起気相堆積法で合成したアモルファスカーボン結晶構造解析
--30a-ZD-12
---于楽泳，九鬼淳，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-Ar Flow Rate Dependence of Emission Intensity of Metal Atoms in Atmospheric Pressure Atomization Plasma
--31a-ZD-4
---Jagath Kularatne，太田貴之，伊藤昌文，加納浩之，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，堀勝
-高密度60Hz大気圧プラズマ生成酸素原子絶対密度の空間分布
--31a-ZD-5
---Fendong Jia，竹田圭吾，''石川健治''，加納浩之，近藤博基，関根誠，堀勝
-カビ胞子とプラズマの相互作用の電子スピン共鳴法による観察
--31a-ZD-10
---''石川健治''，井関紗千子，太田貴之，伊藤昌文，加納浩之，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォールの結晶構造に対する酸素ガス添加効果
--31p-ZF-13
---下枝弘尚，近藤博基，''石川健治''，平松美根男，関根誠，堀勝
-プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォールの微細構造解析
--1a-E-15
---近藤博基，下枝弘尚，''石川健治''，関根誠，堀勝，平松美根男
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおける電気的特性
--1p-E-2
---趙亨峻，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝

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-In-situ Analysis of Modification on Porous SiOCH During and After O2 Plasmas
--21st Asian Session Advanced Metallization Conference 2011 (ADMETA Plus), Shibaura Institute of Technology (Toyosu Campus), Tokyo, September 12-15, 2011, 3-4.
---Kohei Asano, Hiroshi Yamamoto, ''Kenji Ishikawa'', Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori

-"H2/Ar混合ガスを用いた高密度非平衡大気圧プラズマによる酸化銅還元ドライプロセス"
--表面技術協会第124回講演大会, 名古屋大学, 2011年9月20日 - 21日, 22C-28 
---加藤正規，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根 誠，堀 勝，豊田浩孝，三好秀典，久保田雄介，伊藤 仁

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応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム，名古屋大学，2011年10月22日

-非平衡大気圧H2/Arプラズマによる酸化銅還元メカニズム
--P-4, p. 45.
---竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-SiH4/H2プラズマにおける水素ラジカル表面損失確率
--P-9, p. 50.
---阿部祐介，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-O atom Behavior of Ultrahigh Density 60 Hz Atmospheric Pressure Plasma under Ar Ambient Conditions
--P-11, p. 52.
---フェントン・ジャー，竹田圭吾，''石川健治''，加納浩之，近藤博基，関根誠，堀勝
-実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）を用いた水素原子照射による有機薄膜表面処理メカニズム
--P-19, p. 63.
---鷲見直也，''石川健治''，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-Crystallographic Analysis of Amorphous Carbon Films Synthesized by Radical-injection Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
--P-20, p. 64.
---于楽永，九鬼淳，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-微結晶シリコン製膜における水素ラジカル注入型プラズマ源の特性
--P-23, p. 67.
---陸雅，福島敦史，阿部祐介，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-白金微粒子の側壁保護作用を用いた有機材料の超微細エッチング
--P-24, p. 68.
---鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，節原裕一，白谷正治，関根誠，堀勝
-C3F6Oプラズマ中のイオン・ラジカルの生成機構
--P-26, p. 70.
---近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，林俊雄，関根誠，堀勝
-SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構
--P-27, p. 71.
---尼崎新平，竹内拓也，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表面改質過程の解明
--P-29, p. 73.
---竹内拓也，尼崎新平，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-酸素プラズマによるポーラスSiOCH膜の構造変化機構
--P-30 p. 74.
---浅野高平，山本洋，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-アモルファスカーボン膜の結晶構造及び欠陥密度に対するRFバイアス印加効果
--P-33 p. 77.
---九鬼淳，于楽永，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-超臨界流体を用いたカーボンナノウォール（CNWs）へのTiO2微粒子担持
--P-34 p. 78.
---堀部剛良，三ツ口真司，加納浩之，近藤博基，''石川健治''，平松美根男，関根誠，堀勝
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおける電気伝導度の温度依存性
--P-37 p. 81.
---趙亨峻，竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根誠，堀勝
-配列カーボンナノウォールの作製
--P-39 p. 83.
---神田貴幸，近藤博基，山川晃司，竹田圭吾，''石川健治''，平松美根男，関根誠，堀勝
-カーボンナノウォールの結晶構造に対する酸素ラジカル照射効果
--P-40 p. 84.
---下枝弘尚，近藤博基，''石川健治''，平松美根男，関根誠，堀勝
-水素ラジカルによるGaN中プラズマ誘導欠陥の不活性化
--P-42 p. 86.
---陳尚，盧翌，米谷亮祐，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，堀勝
-High Temperature N2 Plasma Induced Stoichiometric Modification in Etched GaN Surface using Angle-resolved XPS Depth Profiling Analysis
--P-43 p. 87.
---盧翌，陳尚，米谷亮祐，''石川健治''，近藤博基，竹田圭吾，関根誠，江川孝志，天野浩，堀勝
-In-situ X線光電子分光法によるＧａＮとプラズマビームの相互作用解明
--P-46 p. 90.
---米谷亮祐，陳尚，竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根誠，節原裕一，江川孝志，天野浩，堀勝
-アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの制御合成
--P-54 p. 100.
---萩野達也，加納浩之，''石川健治''，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-テラヘルツ時間領域分光法を用いた非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌の評価
--P-63 p. 111.
---平岡丈弘，海老塚昇，竹田圭吾，太田貴之，近藤博基，''石川健治''，川瀬晃道，伊藤昌文，関根誠，堀勝

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-SiH4/H2プ ラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリコン薄膜の膜質との関係性
--第3回太陽電池セミナー，ラフレさいたま, 2011月10月24-25日, PP-31.
---福島敦史、阿部佑介、竹田圭吾、近藤博基、''石川健治''、関根誠、堀勝

-加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたPMMA 系ポリマーの除去
--平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会、金沢歌劇座、石川県、2011年11月18日-19日, 18p-C-08.
---渡邉誠, 新井祐, 河野昭彦, 鷲見直也, ''石川健治'', 堀勝, 堀邊英夫

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プラズマカンファレンス2011, プラズマ・核融合学会第28回年会/応用物理学会第29回プラズマプロセシング研究会/日本物理学会(領域2)2011年秋季大会 (石川県立音楽堂, 金沢) 2011年11月22日 - 25日, 

-(招待講演) 電子スピン共鳴測定によるプラズマ表面相互作用のその場観察
--24B1
---''石川健治''，鷲見直也，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
-CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールの結晶構造および電気的特性
--22B07
---趙亨峻, 竹田圭吾，近藤博基，''石川健治''，関根 誠，堀 勝
-O2/Ar非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析
--23G09
---加藤正規, 竹田圭吾，''石川健治''，近藤博基，関根 誠，堀 勝
-低温大気圧プラズマとミドリカビ胞子の相互作用
--22G11.
---橋爪博司、太田貴之、森拓海、伊藤昌文、竹田圭吾、''石川健治''、堀勝

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-カーボンナノウォールの低温二段階成長
--MRS-J 2011, F-18-M
---神田 貴幸, 近藤 博基, 竹田 圭吾, ''石川健治'', 関根 誠, 堀 勝, 山川 晃治, 平松 美根男

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