ナノプロセス工学特論 をテンプレートにして作成

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[[Seminar]] ナノプロセス 工学特論(2018) -1.　ナノプロセス工学概説 基礎 -2.　拡散・酸化・結晶成長（MOSダイオード） -3.　製膜（化学気相成長（CVD））（MOSメモリ，DRAM） -4.　製膜（物理気相製膜（PVD））・イオン注入（バイポーラ... -5.　リソ，エッチング，洗浄 応用 -6.　製膜プラズマCVD　（CMOS） -7.　プラズマエッチング（気相反応）（3-NAND） -8.　　〃　　　　　　　（表面反応） -9.　先端リソ・ダブルパターニング -10. ウェット・洗浄（電気機械システム(MEMS)，CMOSイメージ... -11. メッキ・化学機械研磨（CMP）（多層配線，配線信頼性） -12. 計測・プロセスコントロール 最先端 -13. 自己組織化（分子マシン） -14. 情報熱力学（シラードエンジン） -15. 脳とコンピュータ　（ニューロモフィックデバイス） ---- ナノプロセス 工学特論(2016) 特別講義 -分子生物学（田中宏昌先生） -誘電体（水野彰先生） -IEDM 2016紹介 何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう ・大気中の微粒子の静電作用を利用して測定するデバイス ・UV-LEDをもちいた小型殺菌システム ・有機電界効果型圧力センサマトリクスの人工皮膚 ・筋肉の支持・強化する人口筋肉スーツ ・生体データ取得ナノチップを使用したウェアラブルデバイス ・人体に貼れるウェラブルデバイスとしての体温センサ ・スーパー電池＋体内発電機能をもつペースメーカー ・居眠り運転警告＆急病時緊急停止用途のセンシングカメラ ・生体内埋込型CNT抵抗変化センサデバイス・心筋センサ ・センシング可能なCNT薄膜トランジスタ ・フレキシブルで埋め込み可能な自己発電型ドーパミン・CNTセ... ・GaNを用いた電力変換器(インバータ) ・トンネル電界効果トランジスタ ・水素終端ダイヤモンド電界効果トランジスタ ・血中がん細胞を迅速に測定する多孔デバイス ・回折格子 ・微小なトンネル構造 ---- ナノプロセス 工学特論(2014) -IEDM 2014紹介 --Intel, IBM finFET 14nm 何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう -農業用ナノチップ－カプセル分散、CNT上プローブ分子 –血管内循環チップ－メガネ・コンタクトレンズ近赤外検出、溶... –体内埋込フィルター－光電効果で電着作用 -高空間分解能X線検出器 -ディジタルイメージング・バイオニックアイ（人工視覚） -DNA合成 ---- ナノプロセス 工学特論(2012) -IEDM 2012紹介 --Intel, IBM 22nm Trigate (finFET) --TSMC Ge finFET --Gate-all-around (GAA)構造 デバイスを創造する -トランジスタスイッチの限界(計算効率，メモリの限界) -二端子素子　メモリスタの作製 -分子コンピューティング -セルラーオートマトン ---- ナノプロセス 工学特論(旧) -1. ナノプロセス工学とは何か？ ナノスケールとは -2. デバイス作製の実例　まずプロセスをみてみよう -　トランジスタと配線　回路技術・ULSI設計技術との結びつき -　マイクロ電子機械システム(MEMS) -　健康診断デバイス -　コラム：生物学 -3. 酸化・拡散プロセス -　コラム：電界効果（MOS）デバイスとナノポアDNAシーケンシ... -4. 製膜　熱化学気相成長、物理スパッタ -　絶縁物、半導体、金属　材料の膜付け -　コラム：太陽電池 -5. 加工　ウェットエッチング、プラズマエッチング -　物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング -　プラズマ物理・シース物理による理解 -　反応工学　平衡支配と速度論支配 -　プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析 -　コラム：ナノ分析 -6. リソグラフィー　高分子光化学、光学 -7. ウェットプロセス　化学機械研磨、メッキ、自己組織化 -　非線形力学、非平衡熱統計力学 -　コラム：DNAオリガミ -8. リスクや社会的影響をどう考えるか？ -9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。 -10. まとめ

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[[Seminar]] ナノプロセス 工学特論(2018) -1.　ナノプロセス工学概説 基礎 -2.　拡散・酸化・結晶成長（MOSダイオード） -3.　製膜（化学気相成長（CVD））（MOSメモリ，DRAM） -4.　製膜（物理気相製膜（PVD））・イオン注入（バイポーラ... -5.　リソ，エッチング，洗浄 応用 -6.　製膜プラズマCVD　（CMOS） -7.　プラズマエッチング（気相反応）（3-NAND） -8.　　〃　　　　　　　（表面反応） -9.　先端リソ・ダブルパターニング -10. ウェット・洗浄（電気機械システム(MEMS)，CMOSイメージ... -11. メッキ・化学機械研磨（CMP）（多層配線，配線信頼性） -12. 計測・プロセスコントロール 最先端 -13. 自己組織化（分子マシン） -14. 情報熱力学（シラードエンジン） -15. 脳とコンピュータ　（ニューロモフィックデバイス） ---- ナノプロセス 工学特論(2016) 特別講義 -分子生物学（田中宏昌先生） -誘電体（水野彰先生） -IEDM 2016紹介 何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう ・大気中の微粒子の静電作用を利用して測定するデバイス ・UV-LEDをもちいた小型殺菌システム ・有機電界効果型圧力センサマトリクスの人工皮膚 ・筋肉の支持・強化する人口筋肉スーツ ・生体データ取得ナノチップを使用したウェアラブルデバイス ・人体に貼れるウェラブルデバイスとしての体温センサ ・スーパー電池＋体内発電機能をもつペースメーカー ・居眠り運転警告＆急病時緊急停止用途のセンシングカメラ ・生体内埋込型CNT抵抗変化センサデバイス・心筋センサ ・センシング可能なCNT薄膜トランジスタ ・フレキシブルで埋め込み可能な自己発電型ドーパミン・CNTセ... ・GaNを用いた電力変換器(インバータ) ・トンネル電界効果トランジスタ ・水素終端ダイヤモンド電界効果トランジスタ ・血中がん細胞を迅速に測定する多孔デバイス ・回折格子 ・微小なトンネル構造 ---- ナノプロセス 工学特論(2014) -IEDM 2014紹介 --Intel, IBM finFET 14nm 何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう -農業用ナノチップ－カプセル分散、CNT上プローブ分子 –血管内循環チップ－メガネ・コンタクトレンズ近赤外検出、溶... –体内埋込フィルター－光電効果で電着作用 -高空間分解能X線検出器 -ディジタルイメージング・バイオニックアイ（人工視覚） -DNA合成 ---- ナノプロセス 工学特論(2012) -IEDM 2012紹介 --Intel, IBM 22nm Trigate (finFET) --TSMC Ge finFET --Gate-all-around (GAA)構造 デバイスを創造する -トランジスタスイッチの限界(計算効率，メモリの限界) -二端子素子　メモリスタの作製 -分子コンピューティング -セルラーオートマトン ---- ナノプロセス 工学特論(旧) -1. ナノプロセス工学とは何か？ ナノスケールとは -2. デバイス作製の実例　まずプロセスをみてみよう -　トランジスタと配線　回路技術・ULSI設計技術との結びつき -　マイクロ電子機械システム(MEMS) -　健康診断デバイス -　コラム：生物学 -3. 酸化・拡散プロセス -　コラム：電界効果（MOS）デバイスとナノポアDNAシーケンシ... -4. 製膜　熱化学気相成長、物理スパッタ -　絶縁物、半導体、金属　材料の膜付け -　コラム：太陽電池 -5. 加工　ウェットエッチング、プラズマエッチング -　物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング -　プラズマ物理・シース物理による理解 -　反応工学　平衡支配と速度論支配 -　プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析 -　コラム：ナノ分析 -6. リソグラフィー　高分子光化学、光学 -7. ウェットプロセス　化学機械研磨、メッキ、自己組織化 -　非線形力学、非平衡熱統計力学 -　コラム：DNAオリガミ -8. リスクや社会的影響をどう考えるか？ -9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。 -10. まとめ

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