プラズマエレクトロニクス講習会
をテンプレートにして作成
開始行:
[[Seminar]]
**第32回 2021年11月12日(金) 9:00〜18:50
--1. 『非平衡プラズマの生成と温度・エネルギー制御の基礎...
---非平衡プラズマを利用した微細加工技術や薄膜形成技術は,...
--2. 『プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向』 赤塚...
---プロセスプラズマの計測方法と,実践的データ解釈法を講述...
--3. 『ドライエッチング技術の進展と今後の展望』 野尻 ...
---半導体デバイスの微細化・高集積化の進展はとどまるところ...
--4. 『スパッタリング成膜技術の基礎と最新動向』 板垣 ...
---プラズマを用いたスパッタリング成膜技術は,半導体デバイ...
講師の研究成果も含めた最新の研究動向を紹介する。
--5. 『大気圧プラズマの基礎・応用技術の最新動向』 白井...
---近年,大気圧下で生成されるプラズマが,医療,農業,水処...
--6. 『プラズマ誘起ダメージ機構の基礎とその評価手法』 ...
---超微細半導体デバイスをはじめ,さまざまなデバイス製造に...
**第31回 2020年10月20日(火) 9:00〜17:50
--1. 『プラズマ生成・制御技術の基礎と応用』 八木澤 卓 (...
---プラズマプロセスは、最先端LSI 製造から医療・農業分野ま...
--2. 『プラズマ診断技術の基礎と最新動向』 小川 大輔、...
---本講義は、プラズマ制御という観点から、プラズマ診断技術...
--3. 『プラズマCVD 技術の基礎と最新動向』 布村 正太 (...
---プラズマ成膜技術(CVD やALD)は、半導体や太陽電池の作...
--4. 『プラズマプロセスにより作製するMEMS デバイスの最...
---MEMS は半導体微細加工技術を基本として作製され、プラズ...
--5. 『プラズマプロセスと情報工学の融合』 酒井 道 (滋...
---プラズマプロセスにおいては、他の工業用プロセスと比較し...
**第30回 2019年11月12日(火) 9:15〜18:45
--1. 『反応性スパッタリングの基礎と応用展開 』 重里 有三 ...
---近年、成膜コストを低減させるため、可能な限り速い成膜速...
--2. 『プラズマの基礎と計測技術』 稲田 優貴 (埼玉大学)
---導入部分では、スパッタやエッチングなどに使用される半導...
--3. 『非平衡プラズマ生成制御とプロセス』 節原 裕一 (大...
---プラズマプロセスは、最先端のデバイス製造を支える基幹技...
--4. 『産業応用に向けたプラズマ装置開発の現状』 登尾 一...
---プラズマ処理は、幅広く産業面で応用されており、その対象...
--5. 『プラズマエッチングにおけるプラズマダメージ制御の...
---最先端の半導体デバイスでは、nm あるいはÅレベルの、まさ...
**第29回 2018年11月20日(火) 9:30〜19:00 [#l5785857]
-[第1部:プラズマ技術の基礎]
--1.『プラズマ生成制御(基礎から最新まで)』金子 俊郎(東...
---非平衡プラズマを利用した微細加工技術や薄膜形成技術は、...
--2.『発光によるプラズマ診断』佐々木 浩一(北海道大学)
---プラズマから放射される可視・紫外波長域の発光を分析する...
-[第2部:プラズマ技術の最前線]
--3.『最先端プラズマプロセスのシミュレーション』浜口 智志...
---プラズマプロセスを理解し、効率よく活用するために、プラ...
--4.『プラズマプロセス装置開発最前線』康 松潤(東京エレク...
---半導体デバイスの高集積化,微細化に伴い、半導体製造工程...
--5.『原子層エッチングプロセス』篠田 和典(日立製作所)
---IoTの普及により半導体集積回路の三次元化/微細化が益々...
**第28回 2017年11月15日(水) 9:30〜19:00 [#g6e35b9c]
-[第1部:プラズマ技術の最前線]
--1.『プロセスプラズマの計測・診断技術』中村 圭二(中部大...
---プラズマを使いこなすには、プロセスを左右する電子密度等...
--2.『プラズマによるデバイスへのダメージ』江利口 浩二(京...
---最先端の集積回路では、最小寸法が10nmレベルのトランジス...
-3.『最先端エッチング技術-ALEおよびHARC加工技術-』本田 ...
---半導体デバイスの高集積化、微細化に伴い、半導体製造工程...
超高選択比、ダメージ低減などを実現するために開発されてい...
-[第2部:プラズマプロセスの基礎]
--4.『ドライエッチングの基礎』野尻 一男(ラムリサーチ)
---デバイスの高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せ...
--5.『各種ビームを用いた表面反応解析』唐橋 一浩(大阪大学...
---先端デバイスに求められている新構造や新材料に対する微細...
**第27回 2016年11月18日(金) 9:30〜19:00 [#gbe77c15]
-[第1部:プラズマ技術の最前線]
--1. 『先端半導体におけるプラズマエッチング』 根岸 伸幸(...
--- 昨今、微細化の進展により、スケーリング則だけでは半導...
--2. 『熱プラズマによる有害物質分解』 渡辺 隆行(九州大学...
---プラズマは環境保全に関する先端基盤技術であり、従来の方...
--3. 『プラズマシミュレーション』 小田 昭紀(千葉工業大学)
---プラズマシミュレーションは、プラズマ診断と同様に、プラ...
-[第2部:プラズマプロセスの基礎]
--4. 『プラズマ計測・診断-反応性プラズマ中微粒子を心とし...
---薄膜作製プロセスなどで用いられる反応性プラズマは、しば...
--5. 『プラズマの生成と基礎』堀 勝(名古屋大学)
---低温プラズマは、ナノ加工から材料薄膜の形成や表面処理に...
**第26回 2015年11月20日(金) 9:30〜17:20 [#z66dde6b]
-[第1部:プラズマプロセスの基礎]
--①「プラズマプロセスの基礎と計測」菅井秀郎(中部大学)
---プラズマを使いこなすには、その基本的な振舞いを深く理解...
-[第2部:プラズマ技術の最前線]
--②「半導体エッチング技術」辰巳哲也(ソニー)
---ドライエッチング技術は反応性ガスから解離生成された活性...
--③「プラズマCVD技術とALD応用」霜垣幸浩(東京大学)
---(Atomic Layer Deposition(ALD、原子層堆積法)による薄...
--④「医療・バイオ応用プラズマ技術」石川健治(名古屋大学)
---非平衡プラズマ技術が、昨今 医療・バイオ応用分野におい...
**第25回 2014年11月26日(水) 9:30〜18:00 [#zc2071b4]
-[第1部:プラズマプロセスの基礎]
--①「プラズマプロセスの基礎と素過程」浜口智志(阪大)
---周知のようにプラズマプロセスは、半導体超微細加工をはじ...
--②「プラズマ計測と診断」佐々木浩一(北大)
---市販のプラズマ計測装置がほとんど存在しないという実情か...
-[第2部:プラズマ技術の最前線]
--③「大気圧プラズマ技術と成膜応用」垣内弘章(阪大)
---大気圧プラズマは、減圧プラズマに代わる新たなプラズマ源...
--④「プラズマを用いた環境クリーン化技術」水野彰(豊橋科技...
---近年、大気圧非平衡プラズマによる化学反応の利用が着目さ...
--⑤「半導体ドライエッチング技術」関根誠(名大)
---ドライエッチング技術は半導体デバイスの著しい発展を支え...
--⑥「プラズマエッチングプロセスの開発における数値解析の実...
---半導体分野の成熟と伴にプロセスコストの低減が重視される...
**第24回 2013年11月8日(金) 9:30~18:00 [#rdcace4a]
-第1部 プラズマプロセスの基礎(9:30~12:10)
--1. 『プラズマの基礎とCVD技術』 大阪市立大学 白藤...
---プラズマプロセスは、各種診断法によってその内部パラメー...
--2. 『装置、計測とドライエッチング技術』 東京エレクトロ...
---ドライエッチングのプロセス開発においては、プラズマ源と...
- 第2部 プラズマ技術の最前線 (13:30~18:00)
--3. 『先端プロセスとプラズマダメージ』 京都大学 江利口...
---現在,最先端の集積回路では,最小寸法が20nmレベルのトラ...
--4. 『設備管理(EES/FDC等)技術』 パナソニック(株) ...
---半導体業界では、デバイスの微細化に伴い、製造装置の変動...
--5. 『マルチスケールシミュレーションによる半導体装置・...
---半導体装置の反応やプロセスの加工形状をシミュレーション...
--6. 『プラズマを応用したナノバイオ技術』 東京大学 ...
---現在、プラズマ技術を如何にバイオ分野へと展開していくか...
**23回 2012年11月14日(水) 9:30~18:00 [#s73411fe]
- 第1部 プラズマプロセスの基礎 (9:30~12:30)
--1. 『プラズマの生成と制御・装置』 名古屋大学 堀 勝 ...
---プラズマの生成については、これまでプラズマ物理に基づい...
--2. 『表面反応の制御とドライエッチング技術』 ラムリサー...
---デバイスの微細化が進むにつれ、ドライエッチングに課せら...
--3.『プラズマ計測/モニタリング技術』 名古屋大学 豊田 浩...
---プラズマを診る技術は、プラズマ内部の物理化学現象の理解...
-第2部 プラズマ技術の最前線 (13:30~18:00)
--4. 『シミュレーション技術』 慶應義塾大学 八木澤 卓 先...
---プラズマプロセスは空間的・時間的に幅広く分布したマルチ...
--5. 『大気圧プラズマとその応用』 東京工業大学 野崎 ...
---大気圧プラズマの特徴は,大気圧気体,超臨界流体,液体,...
--6. 『設備管理(EES/FDC等)技術』 ルネサスエレクトロニ...
---先端の量産工場では、プロセスレシピの開発だけでは高精度...
--7. 『DPS2011に見るプラズマ技術の新展開』 東北大学 木...
---ドライプロセスシンポジウムでは歴史的に、薄膜デバイスの...
**22回 2011年10月27日(木)、28日(金) [#u67e915a]
-10月27日(木) 10:00~18:30
--1. プラズマ計測:電気的計測 中村 圭二(中部大学) (10:...
--2. プラズマシミュレーション 山田 英明(産業技術総合研...
--3. プラズマ計測:電気的計測+実演 佐々木 浩一(北海道...
--4. プラズマの生成・制御 八木澤 卓(慶応大学) (16:00 -...
--ポスターセッション・懇親会(生協) (17:10 - 18:30)
-10月28日(金) 10:00~16:40
--特別テーマ1:大気圧プラズマ+実演 北野 勝久(大阪大学...
--特別テーマ2:MEMS 安部 隆(新潟大学) (13:00 - 14:00)
--5. プラズマによるグリーンイノベーション 布村 正太(産...
--6. プラズマによるライフイノベーション 一木 隆範(東京...
**21回 2010年10月28日(木)-29日(金) [#u6a8f2b2]
-10月28日(木) 10:00~18:00
--1. プラズマの生成・制御 菅井 秀郎 (中部大学)
--2. プラズマシミュレーション 田中 正明 (ペガサスソフト...
--3. プラズマ計測:光学的計測 佐々木 浩一 (北海道大学)
--4. プラズマ計測:電気的計測 豊田 浩孝 (名古屋大学)
--ポスターセッション・懇談会 (特別共通展示「プラズマ技術...
-10月29日(金) 10:00~16:40
--5. プラズマプロセス表面過程とデバイスダメージ 江利口 浩...
--6. 大気圧プラズマCVDによる高速成膜 垣内 弘章 (大...
--7. 気体・液体プラズマによるクリーン化技術 栃久保 文嘉 ...
--8. WOWを用いた三次元積層技術 大場 隆之 (東京大学)
**20回 2009年10月29日(木)‐30日(金) [#j12acb39]
-10月29日(木)10:00~17:30
--①プラズマの生成・制御 節原裕一 (大阪大学) (10:10-11:40)
--②プラズマ計測 -電気的手法を中心として- 中村圭二 (中部...
--③プラズマによる薄膜形成技術 宮崎誠一 (広島大学) (14:1...
-10月30日(金)10:00~17:30
--④プラズマによるエッチング技術 江利口浩二 (京都大学) (...
--⑤プラズマ計測:光学的計測 白谷正治 (九州大学) (13:00-...
--⑥大気圧プラズマの生成と応用 奥村智洋 (パナソニック) (...
--⑦プラズマの医療・バイオ応用 永津雅章 (静岡大学) (16:0...
**19回 2008年10月30日(木)‐31日(金) [#uf03e57c]
-10月30日(木)10:00~17:00
--①プラズマの生成・制御 菅井 秀郎(中部大学) (10:10-11:40)
--②プラズマ計測 赤塚 洋(東京工業大学) (13:00-14:30)
--③プラズマシミュレーション 田中 正明(ペガサスソフトウェ...
-10月31日(金)10:00~17:00
--④プラズマによる薄膜形成技術 佐々木 敏明(カネカ) (10:1...
--⑤プラズマによるエッチング技術 林 俊雄(名古屋大学) (13...
--⑥大気圧プラズマの応用 湯浅 基和(積水化学工業) (14:45-...
--⑦液相プラズマの応用 秋山 秀典(熊本大学) (16:00-17:00)
**18回 2007年11月1日(木)‐2日(金) [#i280d289]
場所:東京工業大学(大岡山キャンパス)百年記念館 3F フェ...
-11月1日(木)10:00~18:00
--①量産応用のためのプラズマ生成とモニタリング技術(10:10...
--1.量産応用最先端プラズマ解析技術(10:10-11:10) 美...
--2. プラズマ生成と電子状態のIn-situ計測(11:10-12:10...
--3. 光学手法を用いたプラズマ計測(13:30-14:30) 中野...
--4. In-situ パーティクル計測(14:30-15:30) 島田 学(...
--②プラズマエレクトロニクス分科会特別講演(15:45-16:45)
--「2035年のプラズマ技術」 関根 誠(名古屋大学)
--③ショートプレゼンテーション(17:00-18:00)
-11月2日(金)10:00~16:45
--④プラズマプロセスモデリングと将来技術の最前線(10:10-...
--1. シリコン加工モデリング(10:10-11:10) 江利口浩二...
--2. 絶縁膜加工モデリング(11:10-12:10) 八木澤 卓(...
--3. 実用シミュレーション技術(13:30-14:30) 田中正明...
--⑤プラズマ技術の最新の応用(14:45-16:45)
--1. MEMS応用プラズマ技術(14:45-15:45) 森川泰宏(ULV...
--2. バイオチップ開発のためのプラズマアクティベーション(...
**17回 2006年10月5日-6日 [#d8114d7b]
場所: 東京工業大学大岡山キャンパス百年記念館
-10 月5 日(木)10:00~18:00
--(1)プラズマの計測・実践的発光分光 佐々木 浩一 先生(名...
--(2)プラズマの生成と制御 永津 雅章 先生(静岡大学)
--(3)大気圧プラズマ技術:マイクロからメートルまで 寺嶋 和...
--ポスター・ショートプレゼンテーション「プラズマプロセス...
-10 月6 日(金)10:00~16:30
--(4)プラズマCVD の気相・表面反応 白藤 立 先生(京都大学)
--(5)真空生成・計測・制御技術 高橋 直樹 先生(アルバック)
--(6)プラズマ加工技術とモニタリング 伊澤 勝 先生(日立製...
--(7)プラズマデバイスの基礎とμTAS,バイオ応用 一木 隆範 ...
**16回 2005年10月27日-28日 [#m613afe5]
場所: 慶応義塾大学日吉キャンパス来往舎
-10 月27 日(木)10:00〜18:00
--(1)「プラズマの計測・実践的発光分光」 白谷正治 先生 (...
--(2)「プラズマの生成と制御方法」 板橋直志 先生 (日立製...
--(3)「カーボン配線技術」 粟野祐二 先生 (富士通)
--− ポスターセッション −「プラズマプロセシング最前線」
-10 月28 日(金)10:00〜17:00
--(4)「反応性プラズマ中の気相・表面反応」 斧 高一 先生 (...
--(5)「プラズマ加工技術」 藤原伸夫 先生 (ルネサステクノ...
--(6)「プラズマ技術と光集積MEMS」 佐々木 実 先生 (東北大)
--(7)「大気圧プラズマ技術とその応用」 水野 彰 先生 (豊橋...
**15回 2004年10月14日(木)-15日(金) [#j93398a3]
場所: 慶應義塾大学 日吉キャンパス(神奈川県横浜市)
-10/14
--(1)プラズマの生成と制御法: 進藤春雄(東海大)
--(2)反応性プラズマ中の気相・表面反応:堀勝(名大)
--(3)プラズマの計測・モニタリング手法: 豊田浩孝(名大)
--(4)Sub-100 nmデバイスの製造最前線-プラズマ装置技術,エ...
-10/15
--(5)フォトニック結晶とプラズマプロセス: 高橋千春(NTT-A...
--(6)MEMSとプラズマプロセス: 小野崇人(東北大)
--(7)プラズマCVDによる配向カーボンナノチューブ成長:林康...
--(8)プラズマイオン注入体積プロセスとその応用: 行村建(...
--(9)大気圧プラズマと環境ビジネス: 葛本昌樹(三菱電機)
**14回 2003年9月11日-12日 [#b0c00f1c]
場所: 東洋大学 白山キャンパススカイホール
--プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大...
-9月11日(木)
--1. 大気圧プラズマプロセスの可能性 岡崎 幸子(上智大学)
--2. 大気圧プラズマ生成と応用技術 小駒 益弘 (上智大学)
--3. ウェハーエッチングプラズマシステムの設計とプロセス構...
--ショートプレゼンテーション・ポスター展示
-9月12日(金)
--5. 高気圧プラズマ装置とプロセス構築 寺嶋 和夫 (東京大学)
--6. シミュレーションによるプロセス・システム構築 浜口 智...
--7. バイオMEMS,μTAS 応用プラズマの装置とプロセス設計 一...
**13回 2002 年11月11日(月)-12日(火) [#vd99629a]
場所: 東京大学農学部 弥生講堂・一条ホール
-11月11日(月)
-第一部 : プラズマシステム計測
--1. プローブ計測法の実際と解析手法 (10:30-11:50) 中村 ...
2. 発光分光計測技術の実際と解析手法 (13:00-14:20) 佐々木...
3. 吸収分光計測技術の実際と解析手法 (14:30-15:50) 堀 勝 ...
4. インピーダンス計測とプラズマ特性解析への応用 (16:00-17...
-11月12日(火)
--第二部 : 表面計測とプロセス構築、機器展示・デモ
--5. 実践的エリプソメトリー計測・解析技術 (9:30-10:50) 藤...
--6. 実践的XPS計測と解析技術 (11:00-12:20) 村岡 浩一 ...
--7. 計測機器展示・デモ、パネル説明 (12:30-14:30)
--8. エッチングプロセス構築手法 (14:40-16:00) 辰巳哲也(...
--9. CVD プロセス構築手法 (16:10-17:30) 霜垣 幸浩 (東京...
**12回 2001年12 月17 日(月)-18 日(火) [#gc5bb1db]
-関東地区:12月17 日(月)
--1.シリコンプラズマCVD における現状と今後の課題 白井 ...
--2.次世代極薄ゲート絶縁膜の材料と形成方法 辰巳 徹 (日...
--3.Low-k 膜のCVD 白藤 立 (京都大学国際融合創造センタ...
-関西地区:12 月18日(火)
--4.プロセスシミュレーション 浜口 智志 (京都大学エネル...
--5.プロセスプラズマの状態を知る(プラズマ診断) 三重野...
--6.半導体表面・界面反応の赤外分光高感度モニタリング 庭...
**11回 2000年11月6日(月)-7日(火) [#u77ec3ec]
場所: 東京工業大学(大岡山キャンパス)百年記念館
-11月6日(月)
--反応性プラズマの基礎 豊田浩孝(名古屋大学大学院工学研究...
--エッチングプラズマの気相反応過程 中村圭二(中部大学工学...
--プラズマエッチングにおける表面反応 中村守孝(富士通(株...
-11月7日(火)
--無機系材料の反応性プラズマエッチング 寒川誠二(東北大学...
--NLDプラズマによるLow-k エッチング 林俊雄(日本真空(株)...
--無機系材料のスパッタエッチング 大森達夫(三菱電機(株)...
**10回 1999年11月19日-19日 [#m98f2153]
場所: 慶應義塾大学日吉キャンパス藤山記念館
--プラズマプロセシング : ASETを見学しながら [[(国会図書館...
-11月18日(木)
--1. RFによる高密度プラズマ生成 篠原俊二郎(九州大学総理工)
--2. プラズマ診断法 -気相における荷電粒子、中性活性粒子...
--3. プロセスプラズマとガス流れの粒子モデリング 南部健一(...
-11月19日(金)
--4. ドライエッチングにおける表面反応 斧 高一(京都大学工...
--5. プラズマプロセス装置の実際 (ポスター)
--6. 成膜プロセスにおける表面反応 白藤 立(京都工芸繊維大学)
**9回 1999年1月21日(木)-22日(金) [#c7a32841]
場所: KKR鎌倉わかみや
-1/21
--1. 「次世代デバイスのプラズマプロセスにおける課題」
--(1)次世代デバイス用プラズマCVDプロセスの現状と課題 ...
--(2)次世代デバイス用エッチングプロセスの課題 宮武 浩(...
--2. 「モデリング/シミュレーション」 真壁利明(慶應大) ...
--3. 「プラズマ装置におけるダスト発生とピュリフィケーショ...
--4. プラズマプロセシングQ&A 16:00 - 17:00
-1/22
--5. 「アモルファスシリコン、微結晶シリコンの最近の話題」...
--6. 「新しいプラズマプロセスとその応用」 藤山 寛(長崎大...
--7. プラズマプロセシングQ&A 12:00- 13:00
--見学:ASET(技術研究組合超先端電子技術開発機構)横...
**8回 [#nca7a71b]
**7回 1996年11月14日(木)-15日(金) 10:00~17:00 [#k42b9564]
場所: 慶応義塾大学・藤山記念会館
--(1)RFプラズマの放電基礎過程-平行平板からICPまで- 真壁...
--(2)プラズマ生成制御における磁場のメリットとデメリット ...
--(3)高密度プラズマにおけるラジカルの診断と制御-気相から...
--(4)プラズマプロセスにおけるガス流れの構造と制御 南部健...
--(5)プラズマプロセスにおけるイオンとラジカルのエネルギー...
--(6)パルス放電によるプラズマ状態の制御と高精度プラズマプ...
**6回 1995年
**5回 1994年
**4回 1993年
**3回 1992年11月12日・13日
場所:東京工業大学百年記念館
--新しいプラズマの発生とプロセスへの応用 : これからのプラ...
**2回 1991年11月20日~21日
場所:慶応義塾大学藤山記念会館
--プラズマプロセシングにおける計測法 [[(国会図書館):https...
**1回 1990年10月5日~6日
場所:慶応義塾大学藤山記念会館
--反応性プラズマと材料プロセスの基礎 [[(国会図書館):https...
終了行:
[[Seminar]]
**第32回 2021年11月12日(金) 9:00〜18:50
--1. 『非平衡プラズマの生成と温度・エネルギー制御の基礎...
---非平衡プラズマを利用した微細加工技術や薄膜形成技術は,...
--2. 『プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向』 赤塚...
---プロセスプラズマの計測方法と,実践的データ解釈法を講述...
--3. 『ドライエッチング技術の進展と今後の展望』 野尻 ...
---半導体デバイスの微細化・高集積化の進展はとどまるところ...
--4. 『スパッタリング成膜技術の基礎と最新動向』 板垣 ...
---プラズマを用いたスパッタリング成膜技術は,半導体デバイ...
講師の研究成果も含めた最新の研究動向を紹介する。
--5. 『大気圧プラズマの基礎・応用技術の最新動向』 白井...
---近年,大気圧下で生成されるプラズマが,医療,農業,水処...
--6. 『プラズマ誘起ダメージ機構の基礎とその評価手法』 ...
---超微細半導体デバイスをはじめ,さまざまなデバイス製造に...
**第31回 2020年10月20日(火) 9:00〜17:50
--1. 『プラズマ生成・制御技術の基礎と応用』 八木澤 卓 (...
---プラズマプロセスは、最先端LSI 製造から医療・農業分野ま...
--2. 『プラズマ診断技術の基礎と最新動向』 小川 大輔、...
---本講義は、プラズマ制御という観点から、プラズマ診断技術...
--3. 『プラズマCVD 技術の基礎と最新動向』 布村 正太 (...
---プラズマ成膜技術(CVD やALD)は、半導体や太陽電池の作...
--4. 『プラズマプロセスにより作製するMEMS デバイスの最...
---MEMS は半導体微細加工技術を基本として作製され、プラズ...
--5. 『プラズマプロセスと情報工学の融合』 酒井 道 (滋...
---プラズマプロセスにおいては、他の工業用プロセスと比較し...
**第30回 2019年11月12日(火) 9:15〜18:45
--1. 『反応性スパッタリングの基礎と応用展開 』 重里 有三 ...
---近年、成膜コストを低減させるため、可能な限り速い成膜速...
--2. 『プラズマの基礎と計測技術』 稲田 優貴 (埼玉大学)
---導入部分では、スパッタやエッチングなどに使用される半導...
--3. 『非平衡プラズマ生成制御とプロセス』 節原 裕一 (大...
---プラズマプロセスは、最先端のデバイス製造を支える基幹技...
--4. 『産業応用に向けたプラズマ装置開発の現状』 登尾 一...
---プラズマ処理は、幅広く産業面で応用されており、その対象...
--5. 『プラズマエッチングにおけるプラズマダメージ制御の...
---最先端の半導体デバイスでは、nm あるいはÅレベルの、まさ...
**第29回 2018年11月20日(火) 9:30〜19:00 [#l5785857]
-[第1部:プラズマ技術の基礎]
--1.『プラズマ生成制御(基礎から最新まで)』金子 俊郎(東...
---非平衡プラズマを利用した微細加工技術や薄膜形成技術は、...
--2.『発光によるプラズマ診断』佐々木 浩一(北海道大学)
---プラズマから放射される可視・紫外波長域の発光を分析する...
-[第2部:プラズマ技術の最前線]
--3.『最先端プラズマプロセスのシミュレーション』浜口 智志...
---プラズマプロセスを理解し、効率よく活用するために、プラ...
--4.『プラズマプロセス装置開発最前線』康 松潤(東京エレク...
---半導体デバイスの高集積化,微細化に伴い、半導体製造工程...
--5.『原子層エッチングプロセス』篠田 和典(日立製作所)
---IoTの普及により半導体集積回路の三次元化/微細化が益々...
**第28回 2017年11月15日(水) 9:30〜19:00 [#g6e35b9c]
-[第1部:プラズマ技術の最前線]
--1.『プロセスプラズマの計測・診断技術』中村 圭二(中部大...
---プラズマを使いこなすには、プロセスを左右する電子密度等...
--2.『プラズマによるデバイスへのダメージ』江利口 浩二(京...
---最先端の集積回路では、最小寸法が10nmレベルのトランジス...
-3.『最先端エッチング技術-ALEおよびHARC加工技術-』本田 ...
---半導体デバイスの高集積化、微細化に伴い、半導体製造工程...
超高選択比、ダメージ低減などを実現するために開発されてい...
-[第2部:プラズマプロセスの基礎]
--4.『ドライエッチングの基礎』野尻 一男(ラムリサーチ)
---デバイスの高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せ...
--5.『各種ビームを用いた表面反応解析』唐橋 一浩(大阪大学...
---先端デバイスに求められている新構造や新材料に対する微細...
**第27回 2016年11月18日(金) 9:30〜19:00 [#gbe77c15]
-[第1部:プラズマ技術の最前線]
--1. 『先端半導体におけるプラズマエッチング』 根岸 伸幸(...
--- 昨今、微細化の進展により、スケーリング則だけでは半導...
--2. 『熱プラズマによる有害物質分解』 渡辺 隆行(九州大学...
---プラズマは環境保全に関する先端基盤技術であり、従来の方...
--3. 『プラズマシミュレーション』 小田 昭紀(千葉工業大学)
---プラズマシミュレーションは、プラズマ診断と同様に、プラ...
-[第2部:プラズマプロセスの基礎]
--4. 『プラズマ計測・診断-反応性プラズマ中微粒子を心とし...
---薄膜作製プロセスなどで用いられる反応性プラズマは、しば...
--5. 『プラズマの生成と基礎』堀 勝(名古屋大学)
---低温プラズマは、ナノ加工から材料薄膜の形成や表面処理に...
**第26回 2015年11月20日(金) 9:30〜17:20 [#z66dde6b]
-[第1部:プラズマプロセスの基礎]
--①「プラズマプロセスの基礎と計測」菅井秀郎(中部大学)
---プラズマを使いこなすには、その基本的な振舞いを深く理解...
-[第2部:プラズマ技術の最前線]
--②「半導体エッチング技術」辰巳哲也(ソニー)
---ドライエッチング技術は反応性ガスから解離生成された活性...
--③「プラズマCVD技術とALD応用」霜垣幸浩(東京大学)
---(Atomic Layer Deposition(ALD、原子層堆積法)による薄...
--④「医療・バイオ応用プラズマ技術」石川健治(名古屋大学)
---非平衡プラズマ技術が、昨今 医療・バイオ応用分野におい...
**第25回 2014年11月26日(水) 9:30〜18:00 [#zc2071b4]
-[第1部:プラズマプロセスの基礎]
--①「プラズマプロセスの基礎と素過程」浜口智志(阪大)
---周知のようにプラズマプロセスは、半導体超微細加工をはじ...
--②「プラズマ計測と診断」佐々木浩一(北大)
---市販のプラズマ計測装置がほとんど存在しないという実情か...
-[第2部:プラズマ技術の最前線]
--③「大気圧プラズマ技術と成膜応用」垣内弘章(阪大)
---大気圧プラズマは、減圧プラズマに代わる新たなプラズマ源...
--④「プラズマを用いた環境クリーン化技術」水野彰(豊橋科技...
---近年、大気圧非平衡プラズマによる化学反応の利用が着目さ...
--⑤「半導体ドライエッチング技術」関根誠(名大)
---ドライエッチング技術は半導体デバイスの著しい発展を支え...
--⑥「プラズマエッチングプロセスの開発における数値解析の実...
---半導体分野の成熟と伴にプロセスコストの低減が重視される...
**第24回 2013年11月8日(金) 9:30~18:00 [#rdcace4a]
-第1部 プラズマプロセスの基礎(9:30~12:10)
--1. 『プラズマの基礎とCVD技術』 大阪市立大学 白藤...
---プラズマプロセスは、各種診断法によってその内部パラメー...
--2. 『装置、計測とドライエッチング技術』 東京エレクトロ...
---ドライエッチングのプロセス開発においては、プラズマ源と...
- 第2部 プラズマ技術の最前線 (13:30~18:00)
--3. 『先端プロセスとプラズマダメージ』 京都大学 江利口...
---現在,最先端の集積回路では,最小寸法が20nmレベルのトラ...
--4. 『設備管理(EES/FDC等)技術』 パナソニック(株) ...
---半導体業界では、デバイスの微細化に伴い、製造装置の変動...
--5. 『マルチスケールシミュレーションによる半導体装置・...
---半導体装置の反応やプロセスの加工形状をシミュレーション...
--6. 『プラズマを応用したナノバイオ技術』 東京大学 ...
---現在、プラズマ技術を如何にバイオ分野へと展開していくか...
**23回 2012年11月14日(水) 9:30~18:00 [#s73411fe]
- 第1部 プラズマプロセスの基礎 (9:30~12:30)
--1. 『プラズマの生成と制御・装置』 名古屋大学 堀 勝 ...
---プラズマの生成については、これまでプラズマ物理に基づい...
--2. 『表面反応の制御とドライエッチング技術』 ラムリサー...
---デバイスの微細化が進むにつれ、ドライエッチングに課せら...
--3.『プラズマ計測/モニタリング技術』 名古屋大学 豊田 浩...
---プラズマを診る技術は、プラズマ内部の物理化学現象の理解...
-第2部 プラズマ技術の最前線 (13:30~18:00)
--4. 『シミュレーション技術』 慶應義塾大学 八木澤 卓 先...
---プラズマプロセスは空間的・時間的に幅広く分布したマルチ...
--5. 『大気圧プラズマとその応用』 東京工業大学 野崎 ...
---大気圧プラズマの特徴は,大気圧気体,超臨界流体,液体,...
--6. 『設備管理(EES/FDC等)技術』 ルネサスエレクトロニ...
---先端の量産工場では、プロセスレシピの開発だけでは高精度...
--7. 『DPS2011に見るプラズマ技術の新展開』 東北大学 木...
---ドライプロセスシンポジウムでは歴史的に、薄膜デバイスの...
**22回 2011年10月27日(木)、28日(金) [#u67e915a]
-10月27日(木) 10:00~18:30
--1. プラズマ計測:電気的計測 中村 圭二(中部大学) (10:...
--2. プラズマシミュレーション 山田 英明(産業技術総合研...
--3. プラズマ計測:電気的計測+実演 佐々木 浩一(北海道...
--4. プラズマの生成・制御 八木澤 卓(慶応大学) (16:00 -...
--ポスターセッション・懇親会(生協) (17:10 - 18:30)
-10月28日(金) 10:00~16:40
--特別テーマ1:大気圧プラズマ+実演 北野 勝久(大阪大学...
--特別テーマ2:MEMS 安部 隆(新潟大学) (13:00 - 14:00)
--5. プラズマによるグリーンイノベーション 布村 正太(産...
--6. プラズマによるライフイノベーション 一木 隆範(東京...
**21回 2010年10月28日(木)-29日(金) [#u6a8f2b2]
-10月28日(木) 10:00~18:00
--1. プラズマの生成・制御 菅井 秀郎 (中部大学)
--2. プラズマシミュレーション 田中 正明 (ペガサスソフト...
--3. プラズマ計測:光学的計測 佐々木 浩一 (北海道大学)
--4. プラズマ計測:電気的計測 豊田 浩孝 (名古屋大学)
--ポスターセッション・懇談会 (特別共通展示「プラズマ技術...
-10月29日(金) 10:00~16:40
--5. プラズマプロセス表面過程とデバイスダメージ 江利口 浩...
--6. 大気圧プラズマCVDによる高速成膜 垣内 弘章 (大...
--7. 気体・液体プラズマによるクリーン化技術 栃久保 文嘉 ...
--8. WOWを用いた三次元積層技術 大場 隆之 (東京大学)
**20回 2009年10月29日(木)‐30日(金) [#j12acb39]
-10月29日(木)10:00~17:30
--①プラズマの生成・制御 節原裕一 (大阪大学) (10:10-11:40)
--②プラズマ計測 -電気的手法を中心として- 中村圭二 (中部...
--③プラズマによる薄膜形成技術 宮崎誠一 (広島大学) (14:1...
-10月30日(金)10:00~17:30
--④プラズマによるエッチング技術 江利口浩二 (京都大学) (...
--⑤プラズマ計測:光学的計測 白谷正治 (九州大学) (13:00-...
--⑥大気圧プラズマの生成と応用 奥村智洋 (パナソニック) (...
--⑦プラズマの医療・バイオ応用 永津雅章 (静岡大学) (16:0...
**19回 2008年10月30日(木)‐31日(金) [#uf03e57c]
-10月30日(木)10:00~17:00
--①プラズマの生成・制御 菅井 秀郎(中部大学) (10:10-11:40)
--②プラズマ計測 赤塚 洋(東京工業大学) (13:00-14:30)
--③プラズマシミュレーション 田中 正明(ペガサスソフトウェ...
-10月31日(金)10:00~17:00
--④プラズマによる薄膜形成技術 佐々木 敏明(カネカ) (10:1...
--⑤プラズマによるエッチング技術 林 俊雄(名古屋大学) (13...
--⑥大気圧プラズマの応用 湯浅 基和(積水化学工業) (14:45-...
--⑦液相プラズマの応用 秋山 秀典(熊本大学) (16:00-17:00)
**18回 2007年11月1日(木)‐2日(金) [#i280d289]
場所:東京工業大学(大岡山キャンパス)百年記念館 3F フェ...
-11月1日(木)10:00~18:00
--①量産応用のためのプラズマ生成とモニタリング技術(10:10...
--1.量産応用最先端プラズマ解析技術(10:10-11:10) 美...
--2. プラズマ生成と電子状態のIn-situ計測(11:10-12:10...
--3. 光学手法を用いたプラズマ計測(13:30-14:30) 中野...
--4. In-situ パーティクル計測(14:30-15:30) 島田 学(...
--②プラズマエレクトロニクス分科会特別講演(15:45-16:45)
--「2035年のプラズマ技術」 関根 誠(名古屋大学)
--③ショートプレゼンテーション(17:00-18:00)
-11月2日(金)10:00~16:45
--④プラズマプロセスモデリングと将来技術の最前線(10:10-...
--1. シリコン加工モデリング(10:10-11:10) 江利口浩二...
--2. 絶縁膜加工モデリング(11:10-12:10) 八木澤 卓(...
--3. 実用シミュレーション技術(13:30-14:30) 田中正明...
--⑤プラズマ技術の最新の応用(14:45-16:45)
--1. MEMS応用プラズマ技術(14:45-15:45) 森川泰宏(ULV...
--2. バイオチップ開発のためのプラズマアクティベーション(...
**17回 2006年10月5日-6日 [#d8114d7b]
場所: 東京工業大学大岡山キャンパス百年記念館
-10 月5 日(木)10:00~18:00
--(1)プラズマの計測・実践的発光分光 佐々木 浩一 先生(名...
--(2)プラズマの生成と制御 永津 雅章 先生(静岡大学)
--(3)大気圧プラズマ技術:マイクロからメートルまで 寺嶋 和...
--ポスター・ショートプレゼンテーション「プラズマプロセス...
-10 月6 日(金)10:00~16:30
--(4)プラズマCVD の気相・表面反応 白藤 立 先生(京都大学)
--(5)真空生成・計測・制御技術 高橋 直樹 先生(アルバック)
--(6)プラズマ加工技術とモニタリング 伊澤 勝 先生(日立製...
--(7)プラズマデバイスの基礎とμTAS,バイオ応用 一木 隆範 ...
**16回 2005年10月27日-28日 [#m613afe5]
場所: 慶応義塾大学日吉キャンパス来往舎
-10 月27 日(木)10:00〜18:00
--(1)「プラズマの計測・実践的発光分光」 白谷正治 先生 (...
--(2)「プラズマの生成と制御方法」 板橋直志 先生 (日立製...
--(3)「カーボン配線技術」 粟野祐二 先生 (富士通)
--− ポスターセッション −「プラズマプロセシング最前線」
-10 月28 日(金)10:00〜17:00
--(4)「反応性プラズマ中の気相・表面反応」 斧 高一 先生 (...
--(5)「プラズマ加工技術」 藤原伸夫 先生 (ルネサステクノ...
--(6)「プラズマ技術と光集積MEMS」 佐々木 実 先生 (東北大)
--(7)「大気圧プラズマ技術とその応用」 水野 彰 先生 (豊橋...
**15回 2004年10月14日(木)-15日(金) [#j93398a3]
場所: 慶應義塾大学 日吉キャンパス(神奈川県横浜市)
-10/14
--(1)プラズマの生成と制御法: 進藤春雄(東海大)
--(2)反応性プラズマ中の気相・表面反応:堀勝(名大)
--(3)プラズマの計測・モニタリング手法: 豊田浩孝(名大)
--(4)Sub-100 nmデバイスの製造最前線-プラズマ装置技術,エ...
-10/15
--(5)フォトニック結晶とプラズマプロセス: 高橋千春(NTT-A...
--(6)MEMSとプラズマプロセス: 小野崇人(東北大)
--(7)プラズマCVDによる配向カーボンナノチューブ成長:林康...
--(8)プラズマイオン注入体積プロセスとその応用: 行村建(...
--(9)大気圧プラズマと環境ビジネス: 葛本昌樹(三菱電機)
**14回 2003年9月11日-12日 [#b0c00f1c]
場所: 東洋大学 白山キャンパススカイホール
--プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大...
-9月11日(木)
--1. 大気圧プラズマプロセスの可能性 岡崎 幸子(上智大学)
--2. 大気圧プラズマ生成と応用技術 小駒 益弘 (上智大学)
--3. ウェハーエッチングプラズマシステムの設計とプロセス構...
--ショートプレゼンテーション・ポスター展示
-9月12日(金)
--5. 高気圧プラズマ装置とプロセス構築 寺嶋 和夫 (東京大学)
--6. シミュレーションによるプロセス・システム構築 浜口 智...
--7. バイオMEMS,μTAS 応用プラズマの装置とプロセス設計 一...
**13回 2002 年11月11日(月)-12日(火) [#vd99629a]
場所: 東京大学農学部 弥生講堂・一条ホール
-11月11日(月)
-第一部 : プラズマシステム計測
--1. プローブ計測法の実際と解析手法 (10:30-11:50) 中村 ...
2. 発光分光計測技術の実際と解析手法 (13:00-14:20) 佐々木...
3. 吸収分光計測技術の実際と解析手法 (14:30-15:50) 堀 勝 ...
4. インピーダンス計測とプラズマ特性解析への応用 (16:00-17...
-11月12日(火)
--第二部 : 表面計測とプロセス構築、機器展示・デモ
--5. 実践的エリプソメトリー計測・解析技術 (9:30-10:50) 藤...
--6. 実践的XPS計測と解析技術 (11:00-12:20) 村岡 浩一 ...
--7. 計測機器展示・デモ、パネル説明 (12:30-14:30)
--8. エッチングプロセス構築手法 (14:40-16:00) 辰巳哲也(...
--9. CVD プロセス構築手法 (16:10-17:30) 霜垣 幸浩 (東京...
**12回 2001年12 月17 日(月)-18 日(火) [#gc5bb1db]
-関東地区:12月17 日(月)
--1.シリコンプラズマCVD における現状と今後の課題 白井 ...
--2.次世代極薄ゲート絶縁膜の材料と形成方法 辰巳 徹 (日...
--3.Low-k 膜のCVD 白藤 立 (京都大学国際融合創造センタ...
-関西地区:12 月18日(火)
--4.プロセスシミュレーション 浜口 智志 (京都大学エネル...
--5.プロセスプラズマの状態を知る(プラズマ診断) 三重野...
--6.半導体表面・界面反応の赤外分光高感度モニタリング 庭...
**11回 2000年11月6日(月)-7日(火) [#u77ec3ec]
場所: 東京工業大学(大岡山キャンパス)百年記念館
-11月6日(月)
--反応性プラズマの基礎 豊田浩孝(名古屋大学大学院工学研究...
--エッチングプラズマの気相反応過程 中村圭二(中部大学工学...
--プラズマエッチングにおける表面反応 中村守孝(富士通(株...
-11月7日(火)
--無機系材料の反応性プラズマエッチング 寒川誠二(東北大学...
--NLDプラズマによるLow-k エッチング 林俊雄(日本真空(株)...
--無機系材料のスパッタエッチング 大森達夫(三菱電機(株)...
**10回 1999年11月19日-19日 [#m98f2153]
場所: 慶應義塾大学日吉キャンパス藤山記念館
--プラズマプロセシング : ASETを見学しながら [[(国会図書館...
-11月18日(木)
--1. RFによる高密度プラズマ生成 篠原俊二郎(九州大学総理工)
--2. プラズマ診断法 -気相における荷電粒子、中性活性粒子...
--3. プロセスプラズマとガス流れの粒子モデリング 南部健一(...
-11月19日(金)
--4. ドライエッチングにおける表面反応 斧 高一(京都大学工...
--5. プラズマプロセス装置の実際 (ポスター)
--6. 成膜プロセスにおける表面反応 白藤 立(京都工芸繊維大学)
**9回 1999年1月21日(木)-22日(金) [#c7a32841]
場所: KKR鎌倉わかみや
-1/21
--1. 「次世代デバイスのプラズマプロセスにおける課題」
--(1)次世代デバイス用プラズマCVDプロセスの現状と課題 ...
--(2)次世代デバイス用エッチングプロセスの課題 宮武 浩(...
--2. 「モデリング/シミュレーション」 真壁利明(慶應大) ...
--3. 「プラズマ装置におけるダスト発生とピュリフィケーショ...
--4. プラズマプロセシングQ&A 16:00 - 17:00
-1/22
--5. 「アモルファスシリコン、微結晶シリコンの最近の話題」...
--6. 「新しいプラズマプロセスとその応用」 藤山 寛(長崎大...
--7. プラズマプロセシングQ&A 12:00- 13:00
--見学:ASET(技術研究組合超先端電子技術開発機構)横...
**8回 [#nca7a71b]
**7回 1996年11月14日(木)-15日(金) 10:00~17:00 [#k42b9564]
場所: 慶応義塾大学・藤山記念会館
--(1)RFプラズマの放電基礎過程-平行平板からICPまで- 真壁...
--(2)プラズマ生成制御における磁場のメリットとデメリット ...
--(3)高密度プラズマにおけるラジカルの診断と制御-気相から...
--(4)プラズマプロセスにおけるガス流れの構造と制御 南部健...
--(5)プラズマプロセスにおけるイオンとラジカルのエネルギー...
--(6)パルス放電によるプラズマ状態の制御と高精度プラズマプ...
**6回 1995年
**5回 1994年
**4回 1993年
**3回 1992年11月12日・13日
場所:東京工業大学百年記念館
--新しいプラズマの発生とプロセスへの応用 : これからのプラ...
**2回 1991年11月20日~21日
場所:慶応義塾大学藤山記念会館
--プラズマプロセシングにおける計測法 [[(国会図書館):https...
**1回 1990年10月5日~6日
場所:慶応義塾大学藤山記念会館
--反応性プラズマと材料プロセスの基礎 [[(国会図書館):https...
ページ名: