Book06
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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎と応用
第3章 ドライプロセスによる薄膜形成と表面処理
*3.4 ドライエッチング [#z742cb8d]
ドライエッチングは,超大規模半導体集積回路(ULSIs : Ult...
**3.4.1 イオンエッチング [#h434a78a]
後述する反応性イオンエッチング法によって,例えばハロゲ...
1)プラズマ中の材料表面に入射するイオン
イオンエッチングにおいて,プラズマ中に材料を置くことで...
(式)
ここで,ε0は真空の誘電率,V0はシースバイアス電圧,dがシー...
2)イオンエッチングの反応過程
次に,イオンエッチングでのターゲットは,スパッタリング...
スパッタリング収率S(E)は,2-3)で説明されたように,1...
さらに入射角依存性について,垂直入射から大きな角度をも...
**3.4.2 イオンビームエッチング [#ae5b0c8c]
イオンビームエッチングは,プラズマ室を別に設け,プラズ...
イオンビームの装置は,模式的に示すと図2-4-2-1の...
**3.4.3 反応性イオンエッチング [#lb415ab6]
(略)[4-9]
*参考文献 [#nc7038b0]
-1) 菅井秀郎,“プラズマエレクトロニクス”,オーム社(2000).
-2) P. Sigmund, “Theory of Sputtering. I. Sputtering Yie...
-3) J. Bohdansky, et al.: J. Nucl. Mater. 111&112, p. 717...
-4) H. Abe, Y. Sonobe, and T. Enomoto, “Etching Character...
-5) Y. Horiike and M. Shibagaki, “A New Chemical Dry Etch...
-6) N. Hosokawa, R. Matsuzaki and T. Asamaki, “RF Sputter...
-7) J. W. Coburn and H. F. Winters, “Ion- and electron-as...
-8) 関根 誠,“プラズマエッチング装置技術開発の経緯、課題...
-9) 堀 勝, “スマートプラズマプロセス”, 応用物理, 74, 1...
(c) Kenji Ishikawa
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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎と応用
第3章 ドライプロセスによる薄膜形成と表面処理
*3.4 ドライエッチング [#z742cb8d]
ドライエッチングは,超大規模半導体集積回路(ULSIs : Ult...
**3.4.1 イオンエッチング [#h434a78a]
後述する反応性イオンエッチング法によって,例えばハロゲ...
1)プラズマ中の材料表面に入射するイオン
イオンエッチングにおいて,プラズマ中に材料を置くことで...
(式)
ここで,ε0は真空の誘電率,V0はシースバイアス電圧,dがシー...
2)イオンエッチングの反応過程
次に,イオンエッチングでのターゲットは,スパッタリング...
スパッタリング収率S(E)は,2-3)で説明されたように,1...
さらに入射角依存性について,垂直入射から大きな角度をも...
**3.4.2 イオンビームエッチング [#ae5b0c8c]
イオンビームエッチングは,プラズマ室を別に設け,プラズ...
イオンビームの装置は,模式的に示すと図2-4-2-1の...
**3.4.3 反応性イオンエッチング [#lb415ab6]
(略)[4-9]
*参考文献 [#nc7038b0]
-1) 菅井秀郎,“プラズマエレクトロニクス”,オーム社(2000).
-2) P. Sigmund, “Theory of Sputtering. I. Sputtering Yie...
-3) J. Bohdansky, et al.: J. Nucl. Mater. 111&112, p. 717...
-4) H. Abe, Y. Sonobe, and T. Enomoto, “Etching Character...
-5) Y. Horiike and M. Shibagaki, “A New Chemical Dry Etch...
-6) N. Hosokawa, R. Matsuzaki and T. Asamaki, “RF Sputter...
-7) J. W. Coburn and H. F. Winters, “Ion- and electron-as...
-8) 関根 誠,“プラズマエッチング装置技術開発の経緯、課題...
-9) 堀 勝, “スマートプラズマプロセス”, 応用物理, 74, 1...
(c) Kenji Ishikawa
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