ProceedingDomestic26 のバックアップ(No.1)


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2026

2026年第73回応用物理学会春季学術講演会 2026年3月15

14:00 〜 14:15
[17p-M_103-1]
CF3CH2CF3分子の電子物性と解離
〇林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学)

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[17p-M_103-1~12]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2026年3月17日(火) 14:00 〜 17:15M_103 (本館)
14:15 〜 14:30
[17p-M_103-2]
CF3CHFCHF2分子の電子物性と解離
〇林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学)

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[17p-M_103-1~12]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2026年3月17日(火) 14:00 〜 17:15M_103 (本館)
15:00 〜 15:15奨励賞エントリー
[17p-M_103-5]
水素化アモルファスカーボン膜の真性応力生成メカニズムのデータ駆動型解析
〇安藤 悠介1、Li Hu2、Zhao Jianping2、松隈 正明3、Ventzek Peter2、石川 健治4 (1.名大工、2.Tokyo Electron America Inc.、3.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ(株)、4.名大低温プラズマ)

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[17p-M_103-1~12]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2026年3月17日(火) 14:00 〜 17:15M_103 (本館)
[18a-PB4-11]
塩素ラジカルによる窒化チタン熱サイクル原子層エッチング後の残留塩素への水素ラジカル照射効果のin-situ表面反応解析
〇(M2)平井 俊也1、篠田 和典2、グエン ティ トゥイ ガー1、堤 隆嘉1、井上 健一1、石川 健治1 (1.名大、2.日立ハイテク)

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[18a-PB4-1~12]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2026年3月18日(水) 11:30 〜 13:00PB4 (武道場 (B1F))
15:15 〜 15:30
[15p-M_107-6]
同位体標識を用いた酸素ラジカルとトリプトファン間の反応経路の解析
〇北川 大慈1、江藤 高志1、Cameria Miron2、近藤 隆2、田中 宏昌2、石川 健治2、堀 勝2、伊藤 昌文1 (1.名城大、2.名古屋大)

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[15p-M_107-1~15]8.4 プラズマライフサイエンス
2026年3月15日(日) 14:00 〜 18:00M_107 (本館)
16:15 〜 16:30奨励賞エントリー
[15p-M_107-9]
プラズマ照射により誘起される液相中一酸化窒素ラジカルの逐次生成機構解析
〇山川 太嗣1、井上 健一2、石川 健治2、堀 勝2、田中 宏昌2 (1.名大院工、2.名大)

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[15p-M_107-1~15]8.4 プラズマライフサイエンス
2026年3月15日(日) 14:00 〜 18:00M_107 (本館)
16:30 〜 16:45奨励賞エントリー
[15p-M_107-10]
プラズマ活性乳酸リンゲル液の複数回処理によるMCF-7細胞の抗酸化遺伝子の発現量変化
〇若司 瞭1、田中 文子2、ミロン キャメリア2、中村 香江2,3、石川 健治1,2、堀 勝2、田中 宏昌1,2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター、3.名大院医)

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[15p-M_107-1~15]8.4 プラズマライフサイエンス
2026年3月15日(日) 14:00 〜 18:00M_107 (本館)
16:45 〜 17:00奨励賞エントリー
[15p-M_107-11]
PAL内活性有機物に対する細胞応答
〇青山 哲也1、Miron Camelia2、勝又 優子2、石川 健治2、堀 勝2、田中 宏昌2 (1.名大院工、2.名大)

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[15p-M_107-1~15]8.4 プラズマライフサイエンス
2026年3月15日(日) 14:00 〜 18:00M_107 (本館)
17:15 〜 17:30
[15p-M_107-13]
酸素ラジカル処理Trp溶液による細胞増殖促進効果の細胞種依存性
〇(M1)江藤 高志1、北川 大慈1、野呂 脩皓1、田中 宏昌2、石川 健治2、堀 勝2、伊藤 昌文1 (1.名城大理工、2.名大工)

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[15p-M_107-1~15]8.4 プラズマライフサイエンス
2026年3月15日(日) 14:00 〜 18:00M_107 (本館)
11:45 〜 12:00
[17a-S2_201-10]
CF4/H2プラズマ照射がSiおよびSi0.7Ge0.3の表面反応に及ぼす影響
〇(M1)佐分利 伊吹1、尾崎 孝太朗1、今井 友貴1、堤 隆嘉2、石川 健治2、Yamamoto Yuji3,1、Wen Wei-Chen3、牧原 克典1,3 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ、3.IHP - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)

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[17a-S2_201-1~13]13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2026年3月17日(火) 9:00 〜 12:45S2_201 (南2号館)
12:00 〜 12:15
[17a-S2_201-11]
エピタキシャル成長した Si0.7Ge0.3 薄膜における HBr プラズマによるドライエッチング
〇石井 聡太1、尾崎 孝太郎2、矢野 瑛汰1、佐分利 伊吹2、今井 友貴1、堤 隆嘉3、石川 健治3、Yamamoto Yuji4,2、Wen Wei-Chen4、牧原 克典2,4 (1.名大工、2.名大院工、3.名大低温プラズマ、4.IHP)

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[17a-S2_201-1~13]13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2026年3月17日(火) 9:00 〜 12:45S2_201 (南2号館)
15:15 〜 15:30奨励賞エントリー
[15p-W8E_307-8]
イオンビームを用いたビニルシランによるSiC の低温成膜
〇小野 浩毅1、堤 隆嘉1,2、石川 健治1,2、竹内 和歌奈3、上原 賢一4、安原 重雄4、堀 勝2、田中 宏昌1,2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ、3.愛工大、4.ジャパンアドバンストケミカルズ)

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[15p-W8E_307-1~16]15.6 IV族系化合物(SiC)
2026年3月15日(日) 13:30 〜 17:45W8E_307 (西8号館)
16:50 〜 17:20
[16p-M_374-8]
プラズマ活性水による種子発芽制御と農業利用への可能性
氏家 凜乃1、西村 駿佑1、井上 健一2、石川 健治2、〇中林 一美1 (1.帯畜大、2.名古屋大)

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[16p-M_374-1~10]プラズマが誘起する植物応答
2026年3月16日(月) 13:30 〜 17:55M_374 (本館)

2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会 北海道大学 2026年9月8日~11日

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