ナノプロセス工学特論 の変更点


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[[Seminar]]

ナノプロセス 工学特論(2018)

-1. ナノプロセス工学概説
基礎
-2. 拡散・酸化・結晶成長(MOSダイオード)
-3. 製膜(化学気相成長(CVD))(MOSメモリ,DRAM)
-4. 製膜(物理気相製膜(PVD))・イオン注入(バイポーラトランジスタ)
-5. リソ,エッチング,洗浄
応用
-6. 製膜プラズマCVD (CMOS)
-7. プラズマエッチング(気相反応)(3-NAND)
-8.  〃       (表面反応)
-9. 先端リソ・ダブルパターニング
-10. ウェット・洗浄(電気機械システム(MEMS),CMOSイメージセンサ)
-11. メッキ・化学機械研磨(CMP)(多層配線,配線信頼性)
-12. 計測・プロセスコントロール
最先端
-13. 自己組織化(分子マシン)
-14. 情報熱力学(シラードエンジン)
-15. 脳とコンピュータ (ニューロモフィックデバイス)

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ナノプロセス 工学特論(2016)

特別講義
-分子生物学(田中宏昌先生)
-IEDM 2016紹介
-誘電体(水野彰先生)

-IEDM 2016紹介

何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう
・大気中の微粒子の静電作用を利用して測定するデバイス
・UV-LEDをもちいた小型殺菌システム
・有機電界効果型圧力センサマトリクスの人工皮膚
・筋肉の支持・強化する人口筋肉スーツ
・生体データ取得ナノチップを使用したウェアラブルデバイス
・人体に貼れるウェラブルデバイスとしての体温センサ
・スーパー電池+体内発電機能をもつペースメーカー
・居眠り運転警告&急病時緊急停止用途のセンシングカメラ
・生体内埋込型CNT抵抗変化センサデバイス・心筋センサ
・センシング可能なCNT薄膜トランジスタ
・フレキシブルで埋め込み可能な自己発電型ドーパミン・CNTセンサ
・GaNを用いた電力変換器(インバータ)
・トンネル電界効果トランジスタ
・水素終端ダイヤモンド電界効果トランジスタ
・血中がん細胞を迅速に測定する多孔デバイス
・回折格子
・微小なトンネル構造

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ナノプロセス 工学特論(2014)

-IEDM 2014紹介
--Intel, IBM finFET 14nm

何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう
-農業用ナノチップ-カプセル分散、CNT上プローブ分子
–血管内循環チップ-メガネ・コンタクトレンズ近赤外検出、溶解・排泄される材料
–体内埋込フィルター-光電効果で電着作用
-高空間分解能X線検出器
-ディジタルイメージング・バイオニックアイ(人工視覚)
-DNA合成

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ナノプロセス 工学特論(2012)

-IEDM 2012紹介
--Intel, IBM 22nm Trigate (finFET)
--TSMC Ge finFET
--Gate-all-around (GAA)構造

デバイスを創造する
-トランジスタスイッチの限界(計算効率,メモリの限界)
-二端子素子 メモリスタの作製
-分子コンピューティング
-セルラーオートマトン

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ナノプロセス 工学特論(旧)

-1. ナノプロセス工学とは何か? ナノスケールとは
-2. デバイス作製の実例 まずプロセスをみてみよう
- トランジスタと配線 回路技術・ULSI設計技術との結びつき
- マイクロ電子機械システム(MEMS)
- 健康診断デバイス 
- コラム:生物学
-3. 酸化・拡散プロセス
- コラム:電界効果(MOS)デバイスとナノポアDNAシーケンシング
-4. 製膜 熱化学気相成長、物理スパッタ
- 絶縁物、半導体、金属 材料の膜付け
- コラム:太陽電池
-5. 加工 ウェットエッチング、プラズマエッチング
- 物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング
- プラズマ物理・シース物理による理解
- 反応工学 平衡支配と速度論支配
- プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析
- コラム:ナノ分析
-6. リソグラフィー 高分子光化学、光学
-7. ウェットプロセス 化学機械研磨、メッキ、自己組織化
- 非線形力学、非平衡熱統計力学
- コラム:DNAオリガミ
-8. リスクや社会的影響をどう考えるか?
-9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。
-10. まとめ