#author("2020-11-30T15:51:23+09:00","default:ishikawa","ishikawa") #author("2020-11-30T16:04:38+09:00","default:ishikawa","ishikawa") [[Seminar]] ナノプロセス 工学特論(2018) -1. ナノプロセス工学概説 基礎 -2. 拡散・酸化・結晶成長(MOSダイオード) -3. 製膜(化学気相成長(CVD))(MOSメモリ,DRAM) -4. 製膜(物理気相製膜(PVD))・イオン注入(バイポーラトランジスタ) -5. リソ,エッチング,洗浄 応用 -6. 製膜プラズマCVD (CMOS) -7. プラズマエッチング(気相反応)(3-NAND) -8. 〃 (表面反応) -9. 先端リソ・ダブルパターニング -10. ウェット・洗浄(電気機械システム(MEMS),CMOSイメージセンサ) -11. メッキ・化学機械研磨(CMP)(多層配線,配線信頼性) -12. 計測・プロセスコントロール 最先端 -13. 自己組織化(分子マシン) -14. 情報熱力学(シラードエンジン) -15. 脳とコンピュータ (ニューロモフィックデバイス) ---- ナノプロセス 工学特論(2016) 特別講義 -分子生物学(田中宏昌先生) -IEDM 2016紹介 -誘電体(水野彰先生) -IEDM 2016紹介 何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう ・大気中の微粒子の静電作用を利用して測定するデバイス ・UV-LEDをもちいた小型殺菌システム ・有機電界効果型圧力センサマトリクスの人工皮膚 ・筋肉の支持・強化する人口筋肉スーツ ・生体データ取得ナノチップを使用したウェアラブルデバイス ・人体に貼れるウェラブルデバイスとしての体温センサ ・スーパー電池+体内発電機能をもつペースメーカー ・居眠り運転警告&急病時緊急停止用途のセンシングカメラ ・生体内埋込型CNT抵抗変化センサデバイス・心筋センサ ・センシング可能なCNT薄膜トランジスタ ・フレキシブルで埋め込み可能な自己発電型ドーパミン・CNTセンサ ・GaNを用いた電力変換器(インバータ) ・トンネル電界効果トランジスタ ・水素終端ダイヤモンド電界効果トランジスタ ・血中がん細胞を迅速に測定する多孔デバイス ・回折格子 ・微小なトンネル構造 ---- ナノプロセス 工学特論(2014) -IEDM 2014紹介 --Intel, IBM finFET 14nm 何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう -農業用ナノチップ-カプセル分散、CNT上プローブ分子 –血管内循環チップ-メガネ・コンタクトレンズ近赤外検出、溶解・排泄される材料 –体内埋込フィルター-光電効果で電着作用 -高空間分解能X線検出器 -ディジタルイメージング・バイオニックアイ(人工視覚) -DNA合成 ---- ナノプロセス 工学特論(2012) -IEDM 2012紹介 --Intel, IBM 22nm Trigate (finFET) --TSMC Ge finFET --Gate-all-around (GAA)構造 デバイスを創造する -トランジスタスイッチの限界(計算効率,メモリの限界) -二端子素子 メモリスタの作製 -分子コンピューティング -セルラーオートマトン ---- ナノプロセス 工学特論(旧) -1. ナノプロセス工学とは何か? ナノスケールとは -2. デバイス作製の実例 まずプロセスをみてみよう - トランジスタと配線 回路技術・ULSI設計技術との結びつき - マイクロ電子機械システム(MEMS) - 健康診断デバイス - コラム:生物学 -3. 酸化・拡散プロセス - コラム:電界効果(MOS)デバイスとナノポアDNAシーケンシング -4. 製膜 熱化学気相成長、物理スパッタ - 絶縁物、半導体、金属 材料の膜付け - コラム:太陽電池 -5. 加工 ウェットエッチング、プラズマエッチング - 物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング - プラズマ物理・シース物理による理解 - 反応工学 平衡支配と速度論支配 - プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析 - コラム:ナノ分析 -6. リソグラフィー 高分子光化学、光学 -7. ウェットプロセス 化学機械研磨、メッキ、自己組織化 - 非線形力学、非平衡熱統計力学 - コラム:DNAオリガミ -8. リスクや社会的影響をどう考えるか? -9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。 -10. まとめ