ナノプロセス工学特論

Seminar

ナノプロセス 工学特論(2018)

  • 1. ナノプロセス工学概説
    基礎
  • 2. 拡散・酸化・結晶成長(MOSダイオード)
  • 3. 製膜(化学気相成長(CVD))(MOSメモリ,DRAM)
  • 4. 製膜(物理気相製膜(PVD))・イオン注入(バイポーラトランジスタ)
  • 5. リソ,エッチング,洗浄
    応用
  • 6. 製膜プラズマCVD (CMOS)
  • 7. プラズマエッチング(気相反応)(3-NAND)
  • 8.  〃       (表面反応)
  • 9. 先端リソ・ダブルパターニング
  • 10. ウェット・洗浄(電気機械システム(MEMS),CMOSイメージセンサ)
  • 11. メッキ・化学機械研磨(CMP)(多層配線,配線信頼性)
  • 12. 計測・プロセスコントロール
    最先端
  • 13. 自己組織化(分子マシン)
  • 14. 情報熱力学(シラードエンジン)
  • 15. 脳とコンピュータ (ニューロモフィックデバイス)

ナノプロセス 工学特論(2016)

特別講義

  • 分子生物学(田中宏昌先生)
  • 誘電体(水野彰先生)
  • IEDM 2016紹介

何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう
・大気中の微粒子の静電作用を利用して測定するデバイス
・UV-LEDをもちいた小型殺菌システム
・有機電界効果型圧力センサマトリクスの人工皮膚
・筋肉の支持・強化する人口筋肉スーツ
・生体データ取得ナノチップを使用したウェアラブルデバイス
・人体に貼れるウェラブルデバイスとしての体温センサ
・スーパー電池+体内発電機能をもつペースメーカー
・居眠り運転警告&急病時緊急停止用途のセンシングカメラ
・生体内埋込型CNT抵抗変化センサデバイス・心筋センサ
・センシング可能なCNT薄膜トランジスタ
・フレキシブルで埋め込み可能な自己発電型ドーパミン・CNTセンサ
・GaNを用いた電力変換器(インバータ)
・トンネル電界効果トランジスタ
・水素終端ダイヤモンド電界効果トランジスタ
・血中がん細胞を迅速に測定する多孔デバイス
・回折格子
・微小なトンネル構造


ナノプロセス 工学特論(2014)

  • IEDM 2014紹介
    • Intel, IBM finFET 14nm

何かデバイスを想定して具体的な作製方法を考えてみよう

  • 農業用ナノチップ-カプセル分散、CNT上プローブ分子
    –血管内循環チップ-メガネ・コンタクトレンズ近赤外検出、溶解・排泄される材料
    –体内埋込フィルター-光電効果で電着作用
  • 高空間分解能X線検出器
  • ディジタルイメージング・バイオニックアイ(人工視覚)
  • DNA合成

ナノプロセス 工学特論(2012)

  • IEDM 2012紹介
    • Intel, IBM 22nm Trigate (finFET)
    • TSMC Ge finFET
    • Gate-all-around (GAA)構造

デバイスを創造する

  • トランジスタスイッチの限界(計算効率,メモリの限界)
  • 二端子素子 メモリスタの作製
  • 分子コンピューティング
  • セルラーオートマトン

ナノプロセス 工学特論(旧)

  • 1. ナノプロセス工学とは何か? ナノスケールとは
  • 2. デバイス作製の実例 まずプロセスをみてみよう
  •  トランジスタと配線 回路技術・ULSI設計技術との結びつき
  •  マイクロ電子機械システム(MEMS)
  •  健康診断デバイス
  •  コラム:生物学
  • 3. 酸化・拡散プロセス
  •  コラム:電界効果(MOS)デバイスとナノポアDNAシーケンシング
  • 4. 製膜 熱化学気相成長、物理スパッタ
  •  絶縁物、半導体、金属 材料の膜付け
  •  コラム:太陽電池
  • 5. 加工 ウェットエッチング、プラズマエッチング
  •  物理スパッタ、側壁保護、反応性イオンエッチング
  •  プラズマ物理・シース物理による理解
  •  反応工学 平衡支配と速度論支配
  •  プラズマ化学シミュレーションと分子動力学表面反応解析
  •  コラム:ナノ分析
  • 6. リソグラフィー 高分子光化学、光学
  • 7. ウェットプロセス 化学機械研磨、メッキ、自己組織化
  •  非線形力学、非平衡熱統計力学
  •  コラム:DNAオリガミ
  • 8. リスクや社会的影響をどう考えるか?
  • 9. 新たなデバイスやプロセッシングを創造する。
  • 10. まとめ

Last-modified: 2020-11-30 (月) 16:04:38