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#author("2020-11-29T14:33:11+09:00","default:ishikawa","ishikawa")
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[[FrontPage]]

*English Books [#qf9558c7]
//&ref(book_plasmamed.jpg);


-2. [["Plasma Medical Science">https://www.elsevier.com/books/plasma-medical-science/toyokuni/978-0-12-815004-7]] (Academic Press, July 10, 2018) [[web:https://www.elsevier.com/books/plasma-medical-science/toyokuni/978-0-12-815004-7]], [[Amazonで購入:https://www.amazon.co.jp/gp/product/0128150041/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=0128150041&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]
--Chapter 2 Physical and Chemical Basis of Nonthermal Plasma [[DOI:https://doi.org/10.1016/B978-0-12-815004-7.00002-0]]
--Chapter 2.1 Introduction 
//---&ref(PlasmaMedicalScience2-1.pdf);
--Chapter 2.4 Optical diagnostics of atmospheric pressure plasma
--Chapter 2.5 Electrical diagnostics
--Chapter 2.6 Plasma chemistry of reactive species in gaseous phase
//---&ref(PlasmaMedicalScience2-6.pdf);
--Chapter 2.8 Reaction of reactive species in cell culture medium
//---&ref(PlasmaMedicalScience2-8.pdf);

//&ref(book_misra.jpg);

-1. [["Cold Plasma in Food and Agriculture, Fundamentals and Applications">http://store.elsevier.com/Cold-Plasma-in-Food-and-Agriculture/isbn-9780128013656/]] (Academic Press, Aug. 2016) ed. by  N. N. Misra, Oliver Schlüter, P. J. Cullen [[web>http://store.elsevier.com/Cold-Plasma-in-Food-and-Agriculture/isbn-9780128013656/]], [[DOI:http://dx.doi.org/10.1016/B978-0-12-801365-6.00005-6]], [[Amazonで購入:https://www.amazon.co.jp/gp/product/0128013656/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=0128013656&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]

--Chapter 5. "Plasma Diagnostics", 


*書籍執筆 [#qaaadae3]
*和書 [#qaaadae3]

-9. 「プラズマプロセス技術」プラズマ・核融合学会編 林康明編集委員 (森北出版, Jan 27, 2017) [[web:https://www.morikita.co.jp/books/book/2887]], [[Amazonで購入:https://www.amazon.co.jp/gp/product/462777561X/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=462777561X&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]

--第7章 計測技術とプロセス解析 7.2節 表面計測 分担執筆 [[原稿>Book05]]

-8. 『化学便覧 応用化学編 第7版』(丸善, Jan, 2014) [[web:http://pub.maruzen.co.jp/book_magazine/7kagakubinran/index.html]]
--7.5.2 「ドライエッチング」 分担執筆

-7. 『精密加工と微細構造の形成技術 -材料・プロセスの最適化、トラブル対策-』 [[web:http://www.gijutu.co.jp/doc/docbookfp/b_1720.htm]] (技術情報協会, July 31, 2013) 
--第2章第2節[2] ArFフォトレジストのプラズマエッチング技術 分担執筆 [[原稿>Book07]]

-6. 「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成(表面技術協会編)」 [[web:http://www.coronasha.co.jp/np/isbn/9784339046311/]] (コロナ社, May 20, 2013) [[Amazonで購入:http://www.amazon.co.jp/gp/product/4339046310/ref=as_li_tf_tl?ie=UTF8&camp=247&creative=1211&creativeASIN=4339046310&linkCode=as2&tag=kenjiishikawa-22]]

--第3章 ドライプロセスによる薄膜形成と表面処理 3.4節「ドライエッチング」 分担執筆 [[原稿>Book06]]

-5. 「次世代ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術と膜・界面の物性科学」 [[web:http://www.nts-book.co.jp/item/detail/summary/buturi/20120720_66.html]] (エヌティエス出版, July 20, 2012) 
--第5編 絶縁成膜とエッチング 第5章 層間絶縁膜の成膜とエッチング 分担執筆 pp. 309-222 [[原稿>Book04]]

-4. 「レジストプロセスの最適化テクニック」 [[web:http://www.johokiko.co.jp/publishing/BC110901.php]]  (情報機構, September 30, 2011) 
--第6章 エッチング工程の手法およびレジスト・レジストパターンへの影響 分担執筆 [[原稿>Book03]]

-3. 「有機汚染物質/アウトガスの発生メカニズムとトラブル対策事例集」, (技術情報協会 2008年) 
--第5章 半導体プロセス洗浄方法とその効果 分担執筆 [[原稿>Book02]]

-2. 「エレクトロニクス洗浄技術」, (技術情報協会 2007年) 
--第13章 シリコン基板の洗浄 分担執筆 [[原稿>Book01]]

-1. 「半導体ドライ洗浄技術の開発現況と展望」, (工業技術会主催「次世代半導体洗浄における課題と解決技術」) [[原稿>Book10]]

*雑誌 [#hd0455bd]

工業材料 (2006年9月) 半導体プロセス洗浄方法
精密工学会 (2004年6月) 半導体表面のドライ清浄化


*その他 [#o5983fe3]

平成15年度成果報告書 (ASET, 有機酸蒸気による酸化銅表面の清浄化) [[原稿>Book11]]

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