先端プラズマ計測の基礎と応用

プラズマ計測技術は，プラズマプロセシングの研究開発を行う上で基盤となる重要技術です。本スクールでは，最先端のプラズマ計測技術の研究開発を行っている名古屋大学プラズマナノ工学研究センターの研究者が，プラズマ計測技術の基礎から応用までを懇切丁寧に解説いたします。汎用計測技術，先進計測技術，研究開発用精密計測技術，生産管理用モニタリング技術，表面計測評価技術といった幅広いプラズマ計測技術に関する実践的知識が得られるまたとない機会としてご活用いただければ幸いです。企業研究者・技術者および学生諸君の積極的な参加をお待ちしております。