第２回名古屋大学プラズマナノ工学スクール
「プラズマの基礎と実演による測定法の理解」

2008年11月21日（金）9:20 - 17:10

名古屋大学　IB電子情報館　大講義室

---

本スクールでは，プロセスプラズマの基礎とプラズマ計測技術について講演いたします。第一部がプロセスプラズマの基礎、第二部がプラズマ計測技術となっています。第一部ではプロセスプラズマを物理的観点から理解を深めていただきます。第二部では，最先端のプラズマ計測技術の研究開発を行っている名古屋大学プラズマナノ工学研究センターの研究者が，プラズマ計測技術の基礎から応用までを実演を交えて懇切丁寧に解説いたします。汎用計測技術，先進計測技術，研究開発用精密計測技術，生産管理用モニタリング技術，表面計測評価技術といった幅広いプラズマ計測技術に関する実践的知識が得られるまたとない機会としてご活用いただければ幸いです。第一部だけのご参加も可能です。企業研究者・技術者および学生諸君の積極的な参加をお待ちしております。

問合せ先：名古屋大学工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター

事務