第２回名古屋大学プラズマナノ工学スクール
プラズマの基礎と実演による測定法の理解
プログラム
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9:20-9:30
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開会挨拶
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鈴置保雄
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第一部（講義）
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9:30-11:00
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プラズマの基礎
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河野明廣
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プラズマは電子とイオンがクーロン相互作用によりほぼ電気的中性を保った状態であり，固体壁や電磁場との相互作用において特異なふるまいをする。プラズマの応用において，これら基本的性質を理解しておくことが重要である。プラズマを特徴づける種々の基本的パラメータの物理的意味，プラズマと壁の接触（シースの生成），電磁場との相互作用，電子加熱，プラズマの生成消滅バランス等について分かりやすく解説する。
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11:00-12:30
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CCP、ICP、マイクロ波プラズマの生成法とプラズマ物理
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豊田浩孝 |
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プラズマ特性はプラズマ生成法に大きく依存することから、プラズマ応用にあたって目的に応じてどのようなプラズマ生成法を選択するかは重要なポイントです。本講義では代表的なプラズマ生成法として、容量結合型プラズマ、誘導結合型プラズマ、 マイクロ波プラズマを取り上げ、その生成の物理機構、プラズマの特徴や問題点などを解説します。
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12:30-13:30
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昼 食
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13:30-15:00
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大気圧プラズマの生成と物理
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神藤正士 |
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大気圧プラズマは、その高熱の工業的利用を目的として早くから研究され、ＡＣ／ＤＣ電力によるプラズマジェットやアーク放電が金属の溶接や切断、空中窒素の固定などに利用されている。一方、低周波電力による誘電体バリア放電が反応性に富んだ大気圧低温プラズマの生成に最適であり、微細加工、光源、殺菌等に応用して成果を上げている。本稿ではこれらの大気圧プラズマと対比しながら、種々の大気圧マイクロ波プラズマの生成法と特性について解説する。
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15:00-15:10
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休 憩
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第二部（実演）
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A1グループ |
B1グループ |
C1グループ |
| 15:10-15:40 |
プローブ計測技術 |
発光分光計測技術 |
QMS計測技術 |
| 15:40-16:10 |
実演と質疑応答 |
実演と質疑応答 |
実演と質疑応答 |
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A2グループ |
B2グループ |
C2グループ |
| 16:10-16:40 |
プローブ計測技術 |
発光分光計測技術 |
QMS計測技術 |
| 16:40-17:10 |
実演と質疑応答 |
実演と質疑応答 |
実演と質疑応答 |
＊ A,B,Cと３つの計測技術実演講習の中から２つまでお選び頂けます。
例えば、A(プローブ）とB（発光分光）、あるいはB（発光分光）とC(QMS)等。
＊各グループ先着10名様に限定させて頂きます。
＊第３希望まで選択して頂き、希望者多数の場合は調整いたします。
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18:00-19:30
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懇親会 （名古屋大学 レストラン花の木）
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講習会参加費：
第一部（講義）：一般20,000円、学生3,000円
第一部（講義）および第二部（実演）：一般35,000円、学生3,000円
（但し、第二部は一般の受講希望者を優先しますので学生の方は受講できない場合があります）
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プログラム
会場への交通
スクールの様子（準備中）