プラズマプロセスの基礎〜最新応用
- 講義と実践的なプラズマ計測実習 -

2009年12月1日（火）9:20 - 17:30

名古屋大学　野依記念学術交流館

主催
名古屋大学工学研究科附属　プラズマナノ工学研究センター


協賛
財団法人　名古屋都市産業振興公社　プラズマ技術産業応用センター
社団法人　応用物理学会東海支部
社団法人　電気学会東海支部
社団法人　日本表面科学会
日本真空工業会

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　本スクールは，企業においてプラズマを道具として用いられている研究者、技術者、および学生諸君の方々に対して毎年開催してまいりました。このたび３回目のプラズマナノ工学スクールを，プロセスプラズマの基礎から最新応用に関する講義、および、プラズマ計測技術の実践的な実習を併せて開催いたします。

　講義は，プラズマ計測技術の基礎から応用まで、懇切丁寧に解説いたします。実習については、汎用計測技術，先進計測技術，研究開発用精密計測技術，生産管理用モニタリング技術，表面計測評価技術といった幅広いプラズマ計測技術に関する実践的知識が得られるまたとない機会としてご活用いただければ幸いです。企業研究者・技術者および学生諸君の積極的な参加をお待ちしております。