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2013年 †

第30回 プラズマプロセシング研究会 （SPP-30）, 静岡大学, 2013年1月21日～23日,

• プラズマ医療科学の創成とその展望
  • T-01
    • 堀 勝, 井関 紗千子, 田中 昌弘, 石川 健治, 近藤 博基, 竹田 圭吾, 関根 誠, 中村 香江, 林 萌美, 梶山 広明, 加納 浩之, 吉川 史隆
• O(3Pj)とO2(1Δg)密度測定によるミドリカビ胞子の殺菌因子の評価
  • A1-03
    • 橋爪 博司, 太田 貴之, 賈 鳳東, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌文
• 塩素ガスプラズマによる窒化ガリウムの高温エッチング
  • B1-01
    • 米谷 亮祐, 陳 尚, 曹 佳棟, 劉 沢铖, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 天野 浩, 堀 勝
• CHF3, CH2F2分子の電子励起解離過程
  • B1-04
    • 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
• プラズマ励起ミスト化学気相成長法を用いた絶縁膜合成
  • B4-04
    • 孫 昿達, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 田嶋 聡美, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 伊藤 仁
• 超臨界流体を用いた2 段階担持法によるカーボンナノウォールへの超高密度Pt-Au ナノ微粒子担持
  • P1-41
    • 堀部 剛良, 近藤 博基, 加納 浩之, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
• ハイドロフルオロカーボンガスプラズマによるArF フォトレジストの低ラフネスエッチング機構
  • P2-02
    • 浅野 高平, 宮脇 雄大, 石川 健治, 関根 誠, 伊東 安曇, 松本 裕一, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 堀 勝

第60回応用物理学会春季学術講演会，（神奈川工科大学，3/27～30, 2013

• [27p-A3-5] F2+NOx(x=1-2)の反応ポテンシャルと反応速度定数
  • 2013年3月27日(水) 2:30 PM ～ 2:45 PM
    • 林俊雄，田嶋聡美，石川健治，関根誠，堀勝
• [27p-A7-11] ▼Study on mechanism of gallium nitride growth employing a plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition
  • 2013年3月27日(水) 4:15 PM ～ 4:30 PM
    • Yi Lu，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [27p-A3-7] H2/N2プラズマ中のラジカル密度へ前のプロセスが与える影響とその制御
  • 2013年3月27日(水) 3:00 PM ～ 3:15 PM
    • 鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [29a-G7-1] NOx(x=1 or 2) / F2 混合ガスの高温下Si ケミカルドライエッチング
  • 2013年3月29日(金) 9:00 AM ～ 9:15 AM
    • 田嶋聡美，林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝
• [29a-B8-6] ｢講演奨励賞受賞記念講演｣ 窒化ガリウム（GaN）向けサファイア基板の周波数領域型低コヒーレンス干渉計による温度計測(Ⅱ)
  • 2013年3月29日(金) 10:30 AM ～ 10:45 AM
    • 堤隆嘉，竹田圭吾，石川健治，近藤博基，太田貴之，伊藤昌文，関根誠，堀勝
• [27p-A3-17] プラズマプロセスによるArFフォトレジスト表面凹凸の解析
  • 2013年3月27日(水) 5:45 PM ～ 6:00 PM
    • 竹内拓也，石川健治，節原裕一，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
• [29a-B7-12] 超臨界流体を用いた2段階担持プロセスによるカーボンナノウォールへのPtナノ微粒子の超高密度担持および粒径分布制御
  • 2013年3月29日(金) 12:00 PM ～ 12:15 AM
    • 堀部剛良，近藤博基，加納浩之，石川健治，関根誠，平松美根男，堀勝
• [27p-A3-16] プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析（4）
  • 2013年3月27日(水) 5:30 PM ～ 5:45 PM
    • 王浩然，石川健治，堀邉英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
• [28a-A5-6] In situ Surface analysis of GaAs irradiated by Cl plasma beams
  • 2013年3月28日(木) 10:30 AM ～ 10:45 AM
    • 朴鐘胤，竹内拓也，石川健治，節原裕一，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
• [28p-G8-12] 加熱触媒体により生成した水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解機構の解明Ⅱ
  • 2013年3月28日(木) 4:00 PM ～ 4:15 PM
    • 能登雄佑，新井祐，高橋聖司，河野昭彦，石川健治，堀勝，堀邊英夫
• [27p-G12-25] カーボンナノウォールの結晶構造に対するラジカル酸化効果(Ⅱ)
  • 2013年3月27日(水) 2:18 PM ～ 2:20 PM, 4:00 PM ～ 6:00 PM
    • 下枝弘尚，近藤博基，石川健治，平松美根男，関根誠，堀勝
• [27p-A3-15] CHxFyプラズマにおける活性種生成過程とエッチング機構の解明(II)
  • 2013年3月27日(水) 5:15 PM ～ 5:30 PM
    • 近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝
• [27p-G12-24] 窒素プラズマを用いた化学修飾によるカーボンナノウォールの構造および電気的特性の制御
  • 2013年3月27日(水) 2:16 PM ～ 2:18 PM, 4:00 PM ～ 6:00 PM
    • 趙亨峻，近藤博基，石川健治，関根誠，平松美根男，堀勝
• [27p-A7-9] プリンタブルエレクトロニクスに向けたプラズマ励起ミスト化学気相堆積技術に関する研究
  • 2013年3月27日(水) 3:45 PM ～ 4:00 PM
    • 孫昿達，竹田圭吾，伊藤仁，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [27p-A7-8] 水素ラジカル注入型プラズマCVDによる微結晶シリコン膜の特性解析
  • 2013年3月27日(水) 3:30 PM ～ 3:45 PM
    • 阿部祐介，三輪佳大，福島敦史，陸雅，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [29p-B7-10] 混合ガスプラズマ培養液によるグリオーマ脳腫瘍培養細胞に対する抗腫瘍効果の解析
  • 2013年3月29日(金) 5:45 PM ～ 6:00 PM
    • 権田亮，田中宏昌，竹田圭吾，田嶋聡美，近藤博樹，石川健治，関根誠，加納浩之，水野正明，堀勝
• [27p-A3-8] AlGaNのプラズマエッチング機構に関する研究
  • 2013年3月27日(水) 3:15 PM ～ 3:30 PM
    • 曹佳棟，米谷亮佑，盧翌，朴鐘胤，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [28a-G11-7] MOCVD n-GaN の正孔トラップの評価
  • 2013年3月28日(木) 11:45 AM ～ 12:00 AM
    • Zecheng Liu，曹佳棟，石川健治，堀勝，松村俊哉，阿比留明洋，小島旭，本田銀熙，徳田豊，上田博之，成田哲生，上杉勉，加地徹
• [29p-B9-13] (講演奨励賞) Behaviors of activated species generated by AC power excited non-equilibrium atmospheric pressure Ar plasma jet in atmosphere
  • 2013年3月29日(金) 4:45 PM ～ 5:00 PM
    • Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, Masaru Hori
• [29p-B9-2] Fluorescent observation of Penicillium digitatum spores treated by oxygen radicals
  • 2013年3月29日(金) 1:45 PM ～ 2:00 PM
    • Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Masafumi Ito
• [29p-B9-7] Morphological variation of P. digitatum spores in oxygen-radical inactivation
  • 2013年3月29日(金) 3:00 PM ～ 3:15 PM
    • Takayuki Ohta, Hiroshi Hashizume, Yoshinori Sugihara, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, Masafumi Ito
• [29p-B9-1] Intracellular molecular mechanisms of apoptosis in glioblastoma brain tumor cells by plasma-activated medium
  • 2013年3月29日(金) 1:30 PM ～ 1:45 PM
    • Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, Kenji Ishikawa, Kae Nakamura, Hiroaki Kajiyama, Hiroyuki Kano, Fumitaka Kikkawa, Masaru Hori
• [29p-B9-6] Identification of ESR signals arisen from Penicillium digitatum spores-3
  • 2013年3月29日(金) 2:45 PM ～ 3:00 PM
    • Hiroko Mizuno, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori

第66回日本酸化ストレス学会学術集会 WINCあいち，名古屋 (2013年6月13日～14日)

• ミドリカビ胞子からの実時間その場ESR信号観察
  • 第66回日本酸化ストレス学会学術集会 WINCあいち，名古屋 (2013年6月13日～14日) O-55
    • 石川 健治，水野 寛子，田中 宏昌，橋爪 博司，太田 貴之, 伊藤 昌文，竹田 圭吾，近藤 博基，関根 誠，堀 勝
• 非平衡大気圧プラズマより発生する活性酸素種の数密度測定とミドリカビ胞子の殺菌効果の評価
  • 第66回日本酸化ストレス学会学術集会 WINCあいち，名古屋 (2013年6月13日～14日) O-54
    • 橋爪 博司，太田 貴之，賈 鳳東，竹田 圭吾，石川 健治, 堀 勝，伊藤 昌文
• (優秀演題賞) 低温酸素プラズマを用いたミドリカビ胞子の殺菌
  • 第66回日本酸化ストレス学会学術集会 WINCあいち，名古屋 (2013年6月13日～14日) P-70
    • 太田貴之, 橋爪 博司，伊藤 昌文，石川 健治, 竹田 圭吾，堀 勝
• (優秀演題賞) 卵巣癌細胞におけるプラズマの抗腫瘍効果とROSの関与
  • 第66回日本酸化ストレス学会学術集会 WINCあいち，名古屋 (2013年6月13日～14日) P-69
    • 中村 香江, 梶山 広明, 内海史, 田中 宏昌, 水野 正明, 石川 健治, 近藤 博基, 加納 浩之, 堀 勝, 吉川 史隆

12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12), July 14-19, 2013

• Crystallographic and Chemical Modification of Carbon Nanowalls by Radical Oxidation
  • APPC12 A3-3-O4 (July 18, 2013) 15:55-16:10
    • Hironao Shimoeda, H. Kondo, Kenji Ishikawa, M. Hiramatsu, M. Sekine, M. Hori
• Detection of Metal Elements in Soil Using Atmospheric Pressure Plasma
  • APPC12 D2-PTu-10 (July 16, 2013) 12:30-
    • Jagath Kularatne, J. Jolibois, H. Kano, M. Ito, T. Ohta, K. Takeda, H. Kondo, Kenji Ishikawa, M. Sekine, and M. Hori
• Effect of Hexane on the Synthesis of Nanographene Using Liquid Plasma
  • APPC12 D2-PTh-6 (July 18, 2013) 12:20-
    • Jerome Jolibois, J. Kularatne, H. Kano, M. Ito, H. Kondo, Kenji Ishikawa, and M. Hori

2013 JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto (2013年9月16日～20日, 2013)

• Chemical analyses of edible meat irradiated atmospheric-pressure-plasmas
  • 2013 JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto (2013年9月16日～20日, 2013), 16a-M3-7
    • Kenji Ishikawa, Hiroko Mizuno, Hiroshi Hashizume, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Hiromasa Tanaka, Keigo Takeda, Satomi Tajima, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori
• Modification of A549 mitochondria activity, cell shape, and cell cytoskeleton by an atomic oxygen radical source
  • 2013 JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto (2013年9月16日～20日, 2013)　16a-M3-6
    • Satomi Tajima, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, and Masaru Hori
• Plasma-activated medium downregulated a survival and proliferation signaling molecule, AKT kinase in glioma brain tumor cells.
  • 2013 JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto (2013年9月16日～20日, 2013)　16a-M3-3
    • Hiromasa Tanaka, Masaaki Mizuno, ... Masaru Hori
• Observation of P. digitatum spores treated with oxygen radicals by confocal laser fluorescent microscopy
  • 2013 JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto (2013年9月16日～20日, 2013), 16p-M3-7
    • Hiroshi Hashizume, Takuya Towatari, Takayuki Ohta, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori and Masafumi Ito
• Measurement of activated species generated by AC power excited non-equilibrium atmospheric pressure Ar plasma jet in open air
  • 2013 JSAP-MRS Joint Symposia, Kyoto (2013年9月16日～20日, 2013) 17p-PM4-11
    • Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, and Masaru Hori

第74回応用物理学会秋季学術講演会, 同志社大学 京都 2013年9月16日～20日

• [18a-C2-1] CHxF4-x(x=0-3)化合物の電子衝突解離(III)
  • 2013年9月18日(水) 09:30～09:45
    • 林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝
• [19a-C1-6] 「講演奨励賞受賞記念講演」AC励起非平衡大気圧Arプラズマジェットにおける活性種生成への大気巻き込みの影響
  • 2013年9月19日(木) 10:30～10:45
    • 竹田圭吾，石川健治，田中宏昌，加納浩之，関根誠，堀勝
• [18a-C1-5] プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造に対する基板バイアス印加効果
  • 2013年9月18日(水) 10:00～10:15
    • 中村将之，賈凌雲，徐達，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [18a-C1-3] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造及びラジカル密度に対するガス流量効果
  • 2013年9月18日(水) 09:30～09:45
    • 徐達，賈凌雲，中村将之，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [18a-C2-4] NOx(x=1 or 2)/F2 混合ガスの高温下Si ケミカルドライエッチング(II)
  • 2013年9月18日(水) 10:15～10:30
    • 田嶋聡美，林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝
• [18a-C2-8] プラズマによるHとNラジカルの表面損失確率の変化
  • 2013年9月18日(水) 11:30～11:45
    • 鈴木俊哉，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [19a-C2-3] カーボンナノウォールの表面化学修飾とナノバイオ応用
  • 2013年9月19日(木) 09:30～09:45
    • 近藤博基，渡邊均，石川健治，関根誠，堀勝，平松美根男
• [17p-C11-6] 「プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演」 プラズマ－表面相互作用の実時間その場電子スピン共鳴分光研究
  • 2013年9月17日(火) 16:30～17:00
    • 石川健治，鷲見直也，河野昭彦，堀邊英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
• [18a-C2-6] プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析（5）
  • 2013年9月18日(水) 11:00～11:15
    • 王浩然，石川健治，堀邉英夫，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
• [19p-C2-8] AC励起非平衡大気圧プラズマの放電機構の解明に向けた時空間計測
  • 2013年9月19日(木) 15:15～15:30
    • 梁思潔，孫昿達，竹田圭吾，近藤博基，加納浩之，石川健治，関根誠，堀勝
• [18a-C2-5] Real-time / In-situ Electron Spin Resonance Analysis of Chemical Reactions on Silicon-Nitride with CF4 Gas Plasma
  • 2013年9月18日(水) 10:45～11:00
    • 宮脇雄大，王浩然，近藤祐介，石川健治，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝
• [18a-C1-4] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造及び電気特性に対するボロン注入効果
  • 2013年9月18日(水) 09:45～10:00
    • 賈凌雲，九鬼淳，于楽泳，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [17a-C1-4] 大気圧プラズマを用いたミスト化学気相堆積法によるシリコン酸化膜の低温形成
  • 2013年9月17日(火) 10:30～10:45
    • 孫昿達，竹田圭吾，伊藤仁，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝
• [17a-C2-7] An Inhibition Mechanism for Surface Roughening of Photoresist During Plasma Etching Process with Plasma Cure
  • 2013年9月17日(火) 11:00～11:15
    • 張彦，竹内拓也，永野浩貴，石川健治，関根誠，竹田圭吾，近藤博基，堀勝
• [18a-B2-5] カーボンナノウォールに対する酸素原子及びアルゴンイオンの同時照射効果
  • 2013年9月18日(水) 10:00～10:15
    • 下枝弘尚，近藤博基，石川健治，平松美根男，関根誠，堀勝
• [17a-C2-8] CHxFyプラズマにおける活性種生成過程とエッチング機構の解明(III)
  • 2013年9月17日(火) 11:15～11:30
    • 近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝
• [19a-C2-4] 液中プラズマで合成したナノグラフェンを用いた燃料電池用白金触媒電極の特性評価
  • 2013年9月19日(木) 09:45～10:00
    • 天野智貴，加納浩之，竹田圭吾，近藤博基，太田貴之，伊藤昌文，平松美根男，石川健治，関根誠，堀勝
• [19a-C2-5] ナノグラフェン合成中の液中プラズマの分光診断
  • 2013年9月19日(木) 10:00～10:15
    • 安藤睦，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，太田貴之，伊藤昌文，平松美根男，加納浩之，堀勝
• [20a-D7-1] 塩素ガスプラズマによるGaNエッチングにおける窒素ガス添加の効果
  • 2013年9月20日(金) 09:00～09:15
    • 劉沢セイ，朴鐘胤，曹佳棟，加古隆，石川健治，小田修，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝

第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26）, 2013年9月23日-24日, 九州大学医学部 百年講堂 (福岡県福岡市東区馬出3丁目1番1号)

• CH4/H2 plasma etching on gallium nitride at high temperature
  • 第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26）, 24a-A-3
    • Takashi Kako, Ze-cheng Liu, Kenji Ishikawa, K. Takeda, H. Kondo, O. Oda, M. Sekine, M. Hori
• Etching Characteristics of Gallium Nitride based compound semiconductors with Inductively Coupled Cl2 Plasma
  • 第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26）, 23p-A-3
    • Jia-dong Cao, Yi Lu, Jong-yun Park, Ze-cheng Liu, Takashi Kako, Kenji Ishikawa, KeigoTakeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine and Masaru Hori
• Electrical properties of microcrystalline silicon thin films deposited by employing hydrogen radical-injection plasma-enhanced CVD method
  • 第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26）, 23p-B-9
    • Keita Miwa, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, and Masaru Hori
• In-situ fluorescent observation of oxidation of P. digitatum spores treated by neutral oxygen radicals
  • 第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26）, P-13
    • Hiroshi Hashizume, Takuya Towatari, Takayuki Ohta, Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Masaru Hori, and Masafumi Ito

インキュベーションホール, 2013年9月25日～27日, 静岡県御殿場市の
国立中央青少年交流の家

薄膜太陽電池セミナー 2013年11月

• 水素ラジカル注入型プラズマCVD法により成膜した微結晶シリコン薄膜の成膜特性
  • X
    • 三輪佳大、竹田圭吾、近藤博基、’’石川健治’’、関根誠、堀勝

電気学会　2013年11月21日～23日, 名城大学名駅サテライト

• CHxFyプラズマにおける活性種生成過程の解明
  • PST-13-117 (Nov. 21, 2013)
    • 近藤祐介,　宮脇雄大,　竹田圭吾,　近藤博基,　田嶋聡美,　石川健治, 林俊雄, 関根誠, 堀勝
• ナノグラフェン合成のための気－液プラズマの分光計測
  • PST-13-127 (Nov. 22, 2013)
    • 安藤睦, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 太田貴之, 伊藤昌文, 平松美根男, 加納浩之, 堀勝
• 酸素ラジカルの密度測定に基づいた真菌胞子のプラズマ殺菌
  • PST-13-130 (Nov. 23, 2013)
    • 橋爪博司, 太田貴之, 竹田圭吾, 石川健治, 堀勝, 伊藤昌文

MRS-J ★国際シンポジウムP 先端プラズマ技術が拓くナノマテリアルズフロンティア 横浜市開港記念会館　6号室

• X. Synthesis of graphene Using Alcohol In-Liquid Plasma
  • P-O9-004 12/9 15:10-15:30
    • Kenji Ishikawa, ...
• X. Crystallographic structure control and fuel cell application of nano-graphene materials synthesized by in-liquid plasma
  • P-O9-005 12/9 15:30-15:50
    • Tomohiro Amano, Kenji Ishikawa, ...
• X. Diagnostics of gas-liquid plasma synthesis of nanographene using spectroscopic technique
  • P-O10-003 12/10 10:30-10:50
    • Atsushi Ando, Kenji Ishikawa, ...
• X. Inactivation mechanism of fungal spores treated with density-controlled oxygen radicals
  • P-O11-011 12/11 17:00-17:20
    • Hiroshi Hashizume, Kenji Ishikawa, ...

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