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2024

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第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月22日～25日　於：東京都市大学　世田谷キャンパス

  • [24a-61B-7]カーボンハードマスクの膜特性に対する基板バイアス寄与度の局所的顕在化
    • 〇安藤 悠介1、近藤 博基2、堤 隆嘉3、石川 健治3、関根 誠3、堀 勝3 (1.名大院工、2.九大シス情、3.名大低温プラズマ)
      • 2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:3061B (6号館)
  • [24a-61B-8]パルスプラズマにおける負イオンエネルギー分布の時間分解測定
    • 〇(M2)都地 一輝1、堤 隆嘉2、蕭 世男2、関根 誠2、堀 勝2、石川 健治2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)
  • [25a-61B-2]基板昇温下でのGaN選択エッチング
    • 〇中村 昭平1,2、谷出 敦1,2、灘原 壮一1,2、石川 健治2、堀 勝2 (1.SCREENホールディングス、2.名古屋大学)
      • 2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
  • [25a-61B-5]パルスプラズマを用いた絶縁膜加工における荷電粒子の過渡状態解析
    • 〇福島 航平1、中村 雄吾1、都地 一輝2、トラン トラングエン2、堤 隆嘉2、石川 健治2、片平 研1 (1.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング(株)、2.名古屋大学)
      • 2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
  • [25a-61B-8]計算化学によるC3F8とC3F6の解離過程の比較
    • 〇林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名古屋大学工)
      • 2024年3月25日(月) 9:15 〜 11:3061B (6号館)
  • [22a-12H-7]がん細胞におけるPAL内オートファジー誘導物質に関する評価
    • 〇山川 太嗣1、中村 香江2、梶山 広明2、豊國 伸哉2、水野 正明2、石川 健治2、堀 勝2、田中 宏昌2 (1.名大院工、2.名大)
      • 2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:1512H (1号館)
  • [24p-P10-8]プラズマ活性化溶液によるイチゴ果実成熟促進
    • 〇橋爪 博司1、松本 省吾1、坪田 憲紀1、三田 薫1、阿部 明子1、水野 寛子1、湯浅 元気2、東野 里江2、田中 宏昌1、石川 健治1、伊藤 昌史3、北野 英己1、鴨下 直史4、広末 庸治2、榊原 均1、前島 正義1、水野 正明1、堀 勝1 (1.名古屋大学、2.富士通クライアントコンピューティング株式会社、3.名城大学、4.幸田町企画部企業立地課)
      • 2024年3月24日(日) 16:00 〜 18:00P10 (9号館)

others

  • [24a-61B-5]プラズマ誘起欠陥の発生と修復～RIE-SiO2に伴うSiO2/Si界面の欠陥評価～
    • 〇布村 正太1、堤 隆嘉2、深沢 正永1、堀 勝2 (1.産総研、2.名大)
      • 2024年3月24日(日) 9:00 〜 11:3061B (6号館)
  • [22a-12H-1]大気圧酸化窒素ラジカル源への水蒸気添加効果
    • 〇杉江 恭輔1、山本 航大1、呉 準席2、田中 宏昌3、堀 勝3、伊藤 昌文1 (1.名城大理工、2.大阪公立大工、3.名古屋大)
      • 2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:1512H (1号館)
  • [22p-12H-2]酸化窒素ラジカル照射によるリグニン分解酵素の生産性向上
    • 〇石川 雄偉1、大橋 龍一1、加藤 大志1、清水 元亨1、加藤 雅士1、堀 勝2、伊藤 昌文1 (1.名城大、2.名古屋大)
      • 2024年3月22日(金) 14:15 〜 17:0012H (1号館)
  • [22p-12H-4]酸素ラジカル活性化L-トリプトファン溶液処理シロイヌナズナの遺伝子発現解析
    • 〇荒木 祥多1、太田 智通1、塚越 啓央1、堀 勝2、伊藤 昌文1 (1.名城大学、2.名古屋大学)
      • 2024年3月22日(金) 14:15 〜 17:0012H (1号館)
  • [22p-12H-1][第24回業績賞（研究業績）受賞記念講演] 低温プラズマが拓く文明と文化
    • 〇堀 勝1 (1.名大低温プラズマ)
      • 2024年3月22日(金) 13:00 〜 13:4512H (1号館)
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秋応用物理学会 9/16-20

  • 18a-A31-6 9/18 10:15-10:30
    • EBEP CVD法を⽤いたBN膜形成における基板種の影響
      • 針⾕ 達, 井上 健⼀, 髙島 成剛, 上坂 裕之, ⽯川 健治, 堀 勝
  • 18p-A31-4 9/18 14:15-14:30
    • 電⼦線⽀援原⼦層エッチングにおけるGaN表⾯フッ素化反応
      • 泉 祐輔, 堤 隆嘉, 近藤 博基, 関根 誠, ⽯川 健治, 堀 勝
  • 18p-A31-5 9/18 14:30-14:45
    • 酸素プラズマとギ酸蒸気によるPtの原⼦層エッチング時の表⾯反応
      • 三輪 和弘, ｸﾞｴﾝ ﾃｨ ﾄｩｲ ｶﾞｰ, ⾚⽊ ⼤⼆郎, 岡東 健, 堀 勝, ⽯川 健治
  • 18p-A31-10 9/18 15:45-16:00
    • 紫外光照射時のGaN表⾯エッチング反応機構
      • ⾼橋 遼⼈, 酒井 流星, ⽯川 健治, 関根 誠, 堤 隆嘉, 堀 勝
  • 18p-A31-14 9/18 17:00-17:15
    • ⾼アスペクト⽐ホール内におけるラジカルの付着確率の輸送への影響
      • 来島 拓海, 堤 隆嘉, 関根 誠, 堀 勝, ⽯川 健治
  • 18p-A31-17 9/18 17:45-18:00
    • CF4/H2プラズマによるSiO2低温エッチングのRFバイアス依存性
      • 今井 祐輔, 蕭 世男, 関根 誠, 堤 隆嘉, ⽯川 健治, 堀 勝
  • 19a-A36-1 9/19 9:00-9:15
    • カーボンナノウォール成⻑時の構造制御と基板温度効果
      • ゴ クアンミン, ノ ヴァンノン, ⼩⽥ 修, ⽯川 健治, 堀 勝
  • 20a-A33-5 9/20 10:00-10:15
    • 温度制御した酸素ラジカル活性化ピロール溶液の殺菌効果
      • 渡邊 拓哉, 北川 ⼤慈, ⽯川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌⽂
  • 20a-A33-6 9/20 10:15-10:30
    • 酸素ラジカル活性化インドール溶液による中性pH領域での殺菌効果
      • 北川 ⼤慈, 渡邊 拓哉, 志⽔ 元亨, 加藤 雅⼠, ⽯川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌⽂
  • 20a-A33-10 9/20 11:30-11:45
    • SiC被覆カーボンナノウォール上でのヒト間葉系幹細胞への電気刺激印加の効果
      • ⼩野 浩毅, ⽥中 ⽂⼦, ⽯川 健治, ⽵内 和歌奈, 上原 賢⼀, 安原 重雄, 堀 勝, ⽥中 宏昌
  • 20p-A33-2 9/20 13:45-14:00
    • 酸素ラジカル活性L-トリプトファン溶液による線維芽細胞の増殖促進効果
      • ⽥島 慶⼈, ⽯川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌⽂
  • 20p-A33-4 9/20 14:15-14:30
    • プラズマ活性乳酸リンゲル液による正常細胞のマイトファジー誘導評価
      • 森 皓平, ⽯川 健治, ⽥中 宏昌, 堀 勝
  • 20p-A33-5 9/20 14:30-14:45
    • マンモスフェア由来細胞を標的としたプラズマ活性溶液の影響
      • 鈴⽊ 崇⽮, ⼭川 太嗣, ⽥中 ⽂⼦, ⽔野 正明, 豊國 伸哉, 梶⼭ 広明, 中村 ⾹江, ⽯川 健治, 堀 勝, ⽥中 宏昌
  • 20p-A33-6 9/20 14:45-15:00
    • Heプラズマジェットを⽤いた直接照射による豚⽪膚への影響
      • ⼭⽥ 真帆, 中村 ⾹江, 梶⼭ 広明, 豊國 伸哉, ⽔野 正明, ⽯川 健治, 堀 勝, ⽥中 宏昌
  • 20p-A33-7 9/20 15:00-15:15
    • プラズマ活性乳酸リンゲル液（PAL）が及ぼすプラナリアの再⽣評価
      • ⼩島 陽太, ⽯川 健治, 橋⽖ 博司, 堀 勝, ⽥中 宏昌
  • 20p-A32-11 9/20 16:15-16:30
    • スピントラップ法を⽤いたプラズマ/液相界⾯ラジカルの実時間検出
      • 井上 健⼀, 近藤 隆, ⽯川 健治, 堀 勝
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2025

第86回応用物理学会秋季学術講演会

  • 7p-S103-8 2025年9月7日(日) 16:15 〜 16:30
    • 窒化チタンの熱サイクル原子層エッチング(Thermal-Cyclic ALE)における塩化プロセスのIn-Situ表面反応解析によるメカニズム解明
      • 平井 俊也、篠田 和典、グエン ティ トゥイ ガー、井上 健一、堤 隆嘉、石川 健治
  • 10a-N323-9 2025年9月10日(水) 11:15 〜 11:30
    • 機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析(2)
      • 高橋 康太朗、安藤 悠介、堤 隆嘉、井上 健一、関根 誠、石川 健治
  • 10p-N324-1 2025年9月10日(水) 13:30 〜 13:45
    • 酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt膜の異方性サイクルエッチング
      • 三輪 和弘、グエン ティ トゥイ ガー、赤木 大二郎、堀 勝、石川 健治
  • 10p-N324-2 2025年9月10日(水) 13:45 〜 14:00
    • 電子線支援原子層エッチングにおけるフッ素化 GaN 表面の反応性評価
      • 島津 大隼、平井 俊也、堤 隆嘉、関根 誠、井上 健一、石川 健治
  • 10p-N324-4 2025年9月10日(水) 14:15 〜 14:30
    • プラズマエッチングによるダイヤモンドトレンチ形状の精密制御
      • 大矢 拓人、トラン トラン グエン、グエン ティ トゥイ ガー、井上 健一、堤 隆嘉、石川 健治
  • 10p-N324-7 2025年9月10日(水) 15:15 〜 15:30
    • 気相中ラジカル組成比がCFxの付着確率に及ぼす影響
      • 来島 拓海、堤 隆嘉、関根 誠、井上 健一、石川 健治
  • 10p-N324-9 2025年9月10日(水) 15:45 〜 16:00
    • ラジカル種の深さ依存性がSiエッチング中の側壁保護に与える影響の調査
      • 土岡 柊斗、井上 健一、堤 隆嘉、関根 誠、石川 健治
  • 10p-N324-10 2025年9月10日(水) 16:00 〜 16:15
    • エッチングガス解離過程の光電子－光イオンコインシデンスによる分析
      • トラン トラン グエン、岩山 洋士、林 俊雄、井上 健一、堤 隆嘉、石川 健治
  • 10p-N324-11 2025年9月10日(水) 16:15 〜 16:30
    • CF3OCF3分子の電子物性と解離
      • 林 俊雄、石川 健治、関根 誠、堀 勝
  • 10p-N324-12 2025年9月10日(水) 16:30 〜 16:45
    • CF3OC2F5分子の電子物性と解離
      • 林 俊雄、石川 健治、関根 誠、堀 勝
  • 9a-N206-6 2025年9月9日(火) 10:45 〜 11:00
    • Si0.7Ge0.3/Si/Si0.7Ge0.3積層構造のCF4/H2プラズマエッチングにより形成したSiナノシートの欠陥評価
      • 尾崎 孝太朗、今井 祐輔、今井 友貴、堤 隆嘉、石川 健治、山本 裕司、Wen Wei-Chen、牧原 克典
  • 7a-N323-1 2025年9月7日(日) 9:00 〜 9:15
    • NOラジカルの逐次生成に与えるプラズマ照射条件の影響
      • 山川 太嗣、井上 健一、石川 健治、堀 勝、田中 宏昌
  • 7a-N323-2 2025年9月7日(日) 9:15 〜 9:30
    • 複数回PAL処理による抗腫瘍効果の調査
      • 若司 瞭、キャメリア ミロン、中村 香江、石川 健治、堀 勝、田中 宏昌
  • 7a-N323-3 2025年9月7日(日) 9:30 〜 9:45
    • プラズマ処理が抗体-抗原相互作用に与える影響の調査
      • 葛 紹云、水野 寛子、石川 健治、鎌足 雄司、大塚 智裕、原 宏和、伊藤 昌文、堀 勝、田中 宏昌
  • 7p-N323-2 2025年9月7日(日) 13:45 〜 14:00
    • 酸素ラジカル活性化インドール溶液の殺菌物質の分析
      • 北川 大慈、清水 健太、志水 元亨、加藤 雅士、西川 泰弘、田中 宏昌、石川 健治、堀 勝、伊藤 昌文
  • 7p-N323-9 2025年9月7日(日) 15:45 〜 16:00
    • 大気圧質量分析法を用いたイネ種皮の酸化窒素ラジカル透過率測定
      • 川口 幸大、塚越 啓央、田中 宏昌、石川 健治、堀 勝、伊藤 昌文
  • 7p-N323-10 2025年9月7日(日) 16:00 〜 16:15
    • 非平衡大気圧プラズマを用いた植物種子の発芽性向上とそのメカニズムの解明
      • 伊藤 輝喜、橋爪 博司、近藤 隆、石川 健治、堀 勝、田中 宏昌
  • 9p-P10-3
    • 酸素ラジカル照射銅クロロフィリンナトリウム溶液の殺菌効果
      • 福井 公輝、田中 宏昌、石川 健治、堀 勝、伊藤 昌文
  • 9p-P10-4
    • 酸素ラジカル活性化インドール溶液中の長寿命殺菌物質
      • 清水 健太、北川 大慈、田中 宏昌、石川 健治、堀 勝、伊藤 昌文

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Last-modified: 2025-07-02 (水) 22:00:21