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2014年

「ゲートスタック研究会 ―材料・プロセス・評価の物理―」(第19回)

  • 1. 盧翌, 小林明子, 石川健治, 近藤博基, 関根誠, 堀勝
    • プラズマ支援原子層堆積法によるSiO2低温成長機構に関する研究
      • p. 151.
  • 2. 孫昿達, 竹田圭吾, 石川健治, 近藤博基, 関根誠, 堀勝
    • 大気圧プラズマを用いたミスト化学気相堆積法によるSiO2絶縁膜の低温形成
      • p. 155.

2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会(青山学院大学)3/16~20, 2014

  • [19p-F6-17] CF4-x(x=0-3)化合物の超励起状態とイオン化
    • 2014年3月19日(水) 18:30~18:45
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝
  • [17p-F2-10] コヒーレントアンチストークスラマン散乱分光法を用いたナノグラフェン合成用液中プラズマの診断
    • 2014年3月17日(月) 16:30~16:45
      • 小島和晃,安藤睦,竹田圭吾,石川健治,太田貴之,伊藤昌文,堀勝
  • [20a-E14-3] NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(I)
    • 2014年3月20日(木) 09:30~09:45
      • 田嶋聡美,林俊雄,石川健治,関根誠,佐々木実,山川晃司,堀勝
  • [19p-F6-8] Mechanism of Surface Roughness of ArF Photoresist During HBr Plasma Etching Processes (2)
    • 2014年3月19日(水) 16:00~16:15
      • 張彦,石川健治,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [17p-F1-7] 大気圧プラズマ化学気相堆積法による超撥水薄膜の形成
    • 2014年3月17日(月) 15:30~15:45
      • 孫昿達,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [17p-F2-8] プロセス履歴のチャンバー壁表面損失確率への影響とH2/N2プラズマ中のラジカル密度の時間変化
    • 2014年3月17日(月) 15:45~16:00
      • 鈴木俊哉,福永裕介,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,掘勝
  • [18p-PA8-10] 大気圧誘電体バリア放電プラズマジェットにおける反応性粒子生成挙動 - 放電周波数に対す効果 -
    • 2014年3月18日(火) 13:30~15:30
      • 内田儀一郎,竹中弘祐,宮崎敦史,川端一史,節原裕一,竹田圭吾,石川健治,堀勝
  • [19p-F2-8] AC励起大気圧非平衡Arプラズマ生成における大気ガス巻込みの影響
    • 2014年3月19日(水) 15:45~16:00
      • 梁思潔,竹田圭吾,近藤博基,加納浩之,石川健治,関根誠,堀勝
  • [19a-F6-6] CH4/H2プラズマによるGaNの高温エッチング
    • 2014年3月19日(水) 12:15~12:30
      • 加古隆,劉沢セイ,石川健治,小田修,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [19p-F6-7] 高温における窒化ガリウム(GaN)のエッチング機構(4)
    • 2014年3月19日(水) 15:45~16:00
      • 劉沢セイ,加古隆,石川健治,小田修,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [19p-F2-18] 酸素ラジカル殺菌におけるミドリカビ胞子の細胞内構造の観察
    • 2014年3月19日(水) 18:30~18:45
      • 橋爪博司,岡有也,唐渡卓也,太田貴之,竹田圭吾,石川健治,堀勝,伊藤昌文
  • [17p-D5-4] カーボンナノウォールの結晶構造に対するラジカル酸化効果(Ⅲ)
    • 2014年3月17日(月) 16:45~17:00
      • 近藤博基,下枝弘尚,石川健治,平松美根男,関根誠,堀勝
  • [17p-F2-13] 非接触基板温度計測システムを用いたプラズマプロセス中の基板温度および熱流速計測
    • 2014年3月17日(月) 17:15~17:30
      • 堤隆嘉,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,太田貴之,伊藤昌文,関根誠,堀勝
  • [19p-F2-15] 医療・バイオ用AC励起大気圧非平衡プラズマジェットの気相診断
    • 2014年3月19日(水) 17:45~18:00
      • 熊倉匠,竹田圭吾,石川健治,田中宏昌,近藤博基,加納浩之,中井義浩,関根誠,堀勝
  • [19p-F6-5] CHxFyプラズマにおける活性種生成過程とエッチング機構の解明(IV)
    • 2014年3月19日(水) 15:00~15:15
      • 近藤祐介,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,田嶋聡美,石川健治,林俊雄,関根誠,堀勝
  • [18p-F7-9] 液中プラズマで合成したナノグラフェンを用いた燃料電池用電極の安定性
    • 2014年3月18日(火) 17:15~17:30
      • 天野智貴,近藤博基,竹田圭吾,石川健治,太田貴之,伊藤昌文,平松美根男,加納浩之,関根誠,堀勝
  • [19p-F3-7] AC励起アルコール液中プラズマにおけるナノグラフェン合成機構の解析
    • 2014年3月19日(水) 15:45~16:00
      • 安藤睦,小島和晃,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,太田貴之,伊藤昌文,平松美根男,加納浩之,堀勝
  • [19p-F2-7] プラズマ照射した食肉血液成分の電子スピン共鳴解析
    • 2014年3月19日(水) 15:30~15:45
      • 坂倉崚亮,石川健治,田中宏昌,橋爪博司,太田貴之,伊藤昌文,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [19a-F6-5] プラズマ光と表面の相互作用の解明
    • 2014年3月19日(水) 12:00~12:15
      • 張彦,石川健治,関根誠,深沢正永,長畑和典,冨谷茂隆,辰巳哲也,竹田圭吾,近藤博基,堀勝
  • [19a-F6-1] プラズマプロセス中のポリメタクリル酸メチル(PMMA)表面の実時間・その場電子スピン共鳴法による反応解析
    • 2014年3月19日(水) 11:00~11:15
      • 宮脇雄大,王浩然,石川健治,近藤祐介,竹田圭吾,近藤博基,堀邊英夫,関根誠,堀勝
  • [19p-F2-3] 大気圧プラズマ照射培養液の電子スピン共鳴(ESR)による解析
    • 2014年3月19日(水) 14:30~14:45
      • 倉家尚之,田中宏昌,石川健治,中村香江,梶山広明,吉川史隆,近藤隆,水野正明,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝

第11回Cat-CVD研究会 2014年7月11日,東北大学

  • (招待)水素ラジカルのポリマー表面反応の実時間・その場電子スピン共鳴(ESR)解析
    • S01
      • 石川健治

第67回日本酸化ストレス学会学術集会(同志社大学、9/4~5, 2014)

  • X. 大気圧Ar プラズマによる細胞内外の活性酸素生成-EPR スピン捕捉法およびフローサイトメトリーによる検討-
    • 14:05 O-23
      • 近藤隆, 内山英史, 趙慶利, 能島信行, 竹田圭吾, 石川健治, 堀勝
  • X. 大気圧プラズマ照射培養液の電子スピン共鳴(ESR)による解析
    • 9/4 17:50 P-04
      • 石川健治, 倉家尚之, 田中宏昌, 中村香江, 近藤隆, 梶山広明, 吉川史隆, 水野正明, 竹田圭吾,近藤博基, 関根誠, 堀勝

2014年 第75回応用物理学会秋季学術講演会(北海道大学)9/16-20, 2014

  • [20a-S8-9] ウシ血清アルブミン(BSA)の非平衡大気圧プラズマ照射による質量分析スペクトルの変化
    • 2014年9月20日(土) 11:15~11:30
      • 藤田英彦,太田貴之,石川健治,竹田圭吾,堀勝
  • [18p-S1-3] (招待) 計算化学を用いたプロセスプラズマ中の反応解析
    • 2014年9月18日(木) 14:15~14:45
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝
  • [18p-A1-8] (招待) プラズマ誘起バイオマテリアルの表面反応とプラズマ医療への展開
    • 2014年9月18日(木) 16:15~16:45
      • 石川健治,田中宏昌,橋爪博司,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [20a-S8-1] 電子スピン共鳴法による中性酸素ラジカル照射溶液の解析
    • 2014年9月20日(土) 09:00~09:15
      • 唐渡卓也,橋爪博司,太田貴之,石川健治,堀勝,伊藤昌文
  • [19p-PB6-7] Study on Homo-Epitaxial Growth of GaN by Radical-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (REMOCVD)
    • 2014年9月19日(金) 16:00~18:00
      • 盧翌,小田修,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝
  • [20a-S9-5] 白金微粒子担持カーボンナノウォールの電気化学特性
    • 2014年9月20日(土) 10:00~10:15
      • 今井駿,近藤博基,石川健治,平松美根男,関根誠,堀勝
  • [19p-A19-10] NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(II)
    • 2014年9月19日(金) 16:30~16:45
      • 田嶋聡美,林俊雄,石川健治,関根誠,佐々木実,山川晃司,堀勝
  • [20p-S9-3] アルゴン/フッ素ガスを用いたグラフェンエッジ終端のカーボンナノウォールの化学構造および電気的特性に対する効果
    • 2014年9月20日(土) 13:30~13:45
      • 趙亨峻,田嶋聡美,近藤博基,石川健治,関根誠,平松美根男,堀勝
  • [19p-S10-5] 基板温度制御による有機Low-k膜のエッチング形状制御
    • 2014年9月19日(金) 15:15~15:30
      • 福永裕介,堤隆嘉,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [20a-S8-4] 非平衡大気圧プラズマによるアルテミアの成長への影響に関する研究
    • 2014年9月20日(土) 09:45~10:00
      • 熊倉匠,竹田圭吾,田中宏昌,秋山真一,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝
  • [19p-S10-4] 高速・高精度基板温度センサとパルス放電による基板温度制御
    • 2014年9月19日(金) 15:00~15:15
      • 堤隆嘉,福永祐介,石川健治,竹田圭吾,近藤博基,太田貴之,伊藤昌文,関根誠,堀勝
  • [20a-S8-11] 大気圧プラズマ照射培養液の抗腫瘍効果作用機序の解析
    • 2014年9月20日(土) 11:45~12:00
      • 倉家尚之,田中宏昌,石川健治,中村香江,梶山広明,吉川史隆,近藤隆,関根誠,堀勝
  • [17p-S10-10] Diagnostics of reactive species on bio-liquid treatment with AC power excited non-equilibrium atmospheric pressure Ar plasma
    • 2014年9月17日(水) 17:00~17:15
      • Sijie Liang, Takumi Kumakura, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Hiroyuki Kano, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
  • [17p-S10-11] Diagnostics of AC power excited non-equilibrium atmospheric pressure plasma jet with vacuum ultraviolet spectroscopy
    • 2014年9月17日(水) 17:15~17:30
      • Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Tanaka Hiromasa, Kano Hiroyuki, Yasuhiro Higashijima, Makoto Sekine, Masaru Hori
  • [17a-S10-6] Influence of annealing on properties of amorphous carbon films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition
    • 2014年9月17日(水) 10:15~10:30
      • Lingyun Jia, Da Xu, Masayuki Nakamura, Hirotsugu Sugiura, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Makoto Sekine, Masaru Hori

プラズマカンファレンス 新潟コンベンションセンター 2014年11月~

  • (招待講演) Experimental study of Plasma-Liquid Interaction プラズマ照射液相の実験的解析
    • S13-6
      • 石川健治, 倉家尚之、田中宏昌、橋爪博司、中村香江、梶山広明、
        吉川史隆、水野正明、近藤隆、竹田圭吾、近藤博基、関根誠、堀勝
  • 非平衡大気圧プラズマ照射によるアミノ酸の質量分析スペクトルの変化
    • 19aD1-6
      • 藤田英彦, 太田貴之,石川健治,竹田圭吾,堀勝
  • 微生物殺菌のための酸素ラジカル照射され溶液の電子スピン共鳴解析
    • 18aF-2
      • 唐渡卓也、橋爪博司、太田貴之、石川健治、堀勝、伊藤昌文

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Last-modified: 2020-11-20 (金) 22:55:10