Book のバックアップ(No.4)

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English Books †

• 2. "Plasma Medical Science" (Academic Press, July 10, 2018） web, Amazonで購入
  • Chapter 2 Physical and Chemical Basis of Nonthermal Plasma　DOI
  • Chapter 2.1 Introduction
  • Chapter 2.4 Optical diagnostics of atmospheric pressure plasma
  • Chapter 2.5 Electrical diagnostics
  • Chapter 2.6 Plasma chemistry of reactive species in gaseous phase
  • Chapter 2.8 Reaction of reactive species in cell culture medium

• 1. "Cold Plasma in Food and Agriculture, Fundamentals and Applications" (Academic Press, Aug. 2016) ed. by N. N. Misra, Oliver Schlüter, P. J. Cullen web, DOI, Amazonで購入

• Chapter 5. "Plasma Diagnostics",

和書 †

• 9. 「プラズマプロセス技術」プラズマ・核融合学会編　林康明編集委員　（森北出版, Jan 27, 2017） web, Amazonで購入
  • 第７章　計測技術とプロセス解析　７．２節　表面計測　分担執筆　原稿

• 8. 『化学便覧 応用化学編 第7版』（丸善, Jan, 2014） web
  • 7.5.2 「ドライエッチング」　分担執筆

• 7. 『精密加工と微細構造の形成技術 －材料･プロセスの最適化、トラブル対策－』 web (技術情報協会, July 31, 2013)　
  • 第2章第2節[2] ArFフォトレジストのプラズマエッチング技術　分担執筆　原稿

• 6. 「ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成（表面技術協会編）」 web （コロナ社, May 20, 2013） Amazonで購入
  • 第３章　ドライプロセスによる薄膜形成と表面処理　3.4節「ドライエッチング」 分担執筆　原稿

• 5. 「次世代ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術と膜・界面の物性科学」 web (エヌティエス出版, July 20, 2012)　
  • 第５編　絶縁成膜とエッチング　第５章　層間絶縁膜の成膜とエッチング　分担執筆 pp. 309-222　原稿

• 4. 「レジストプロセスの最適化テクニック」 web （情報機構, September 30, 2011）　
  • 第６章　エッチング工程の手法およびレジスト・レジストパターンへの影響　分担執筆　原稿

• 3. 「有機汚染物質／アウトガスの発生メカニズムとトラブル対策事例集」, （技術情報協会 2008年）　
  • 第５章　半導体プロセス洗浄方法とその効果 分担執筆　原稿

• 2. 「エレクトロニクス洗浄技術」, （技術情報協会 2007年）　
  • 第１３章　シリコン基板の洗浄　分担執筆　原稿

• 1． 「半導体ドライ洗浄技術の開発現況と展望」, （工業技術会主催「次世代半導体洗浄における課題と解決技術」)　原稿

雑誌 †

工業材料 (2006年9月)　半導体プロセス洗浄方法
精密工学会 (2004年6月)　半導体表面のドライ清浄化

その他 †

平成15年度成果報告書 (ASET, 有機酸蒸気による酸化銅表面の清浄化)　原稿