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2010年

  • “Study for Damage in Porous SiOCH Film with Air Exposure after H2 Plasma Processing”
    • 第27回プラズマプロセシング研究会,横浜市開港記念会館,2010年2月1日~3日,A6-06
      • 鈴木俊哉,山本洋,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝:
  • “大望遠鏡による高分散分光観測の展望”
    • "可視、近赤外、中間赤外の高分散素子の展望"研究集会、国立天文台、東京、2010年2月12-13日
      • 海老塚昇, 石川健治, 近藤博基, 堀勝, 平原靖大, 佐藤修二, 家正則:

2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会(東海大) 2010年3月17日-3月20日

  • “イオン照射誘起深い準位欠陥の水素ラジカルによる不活性化”
    • 17p-D-7
      • 陳尚,永江陽一,石川健治,中井雅文,加納浩之,竹田圭吾,近藤博基,徳田豊,関根誠,堀勝
  • “ポーラスSiOCH low-k膜へのH2/N2プラズマアッシングダメージ発生機構の解明(II)”
    • 18a-ZD-8
      • 山本洋,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝,上夏井健,林久貴,酒井伊都子,大岩徳久
  • “反応性プラズマ中におけるc-C4F8の解離過程”
    • 18a-ZD-10
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
  • “反応性プラズマ中におけるC2F4の解離過程”
    • 18a-ZD-11
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
  • “O2プラズマおよびCO2プラズマによるレジストアッシング機構”
    • 18p-ZD-2
      • 阿部祐介,竹田圭吾,石川健治,近藤博基, 関根誠,堀勝
  • “SF6/O2プラズマによるフォトレジスト表面改質層の解析”
    • 18p-ZD-3
      • 竹内拓也,尼崎新平,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝
  • “ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明(II)”
    • 18p-ZD-9
      • 宮脇雄大,竹田圭吾,伊東安曇,中村昌洋,石川健治,関根誠,堀勝
  • “ポーラスSiOCH膜プラズマ処理後の大気曝露の影響(II)”
    • 18p-ZD-10
      • 鈴木俊哉,山本洋,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝
  • “誘導結合型H2/N2プラズマによる有機low-k薄膜のための小型コンビナトリアルプラズマエッチングプロセス”
    • 18p-ZD-18
      • 堀勝,チャンソン ムン,竹田圭吾,関根誠,節原裕一,白谷正治,石川健治,近藤博基
  • “プラズマCVD法における微結晶シリコン薄膜形成のメカニズム解明”
    • 19a-ZB-8
      • 川嶋翔,阿部祐介,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “和周波振動分光によるプラズマ処理表面の解析”
    • 19a-R-14
      • 石川健治,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝:

2010年秋季 第71回応用物理学会学術講演会(長崎大) 2010年9月14-17日

  • “Spatial distribution measurement of the electron temperature and density of 60 Hz nonequilibrium atmospheric pressure plasma by laser Thomson scattering”
    • 15p-D-4
      • 賈鳳東,鷲見直也,石川健治,加納浩之,乾裕俊,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子表面損失確率(II)”
    • 15p-D-11
      • 阿部祐介,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関する研究”
    • 15p-D-16
      • 加藤正規,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌速度の酸素ラ ジカル密度依存性”
    • 15p-D-17
      • 井関紗千子,太田貴之,伊藤昌文,加納浩之,東島康裕,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜の成膜”
    • 16a-ZF-8
      • 川嶋翔,阿部祐介,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “N原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御”
    • 16p-ZF-2
      • 九鬼淳,木野徳重,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果”
    • 16p-ZF-3
      • 木野徳重,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝:
  • “H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討”
    • 16p-ZF-10
      • 乾裕俊,吉田直史,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝:
  • “SF6/O2プ ラズマを用いたSiエッチング機構”
    • 16a-ZA-3
      • 尼崎新平,竹内拓也,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝,櫻井典子,林久貴,酒井伊都子,大岩徳久:
  • “Radical Transport Simulation under Roof on Substrate in Processing Plasma”
    • 16a-ZA-7
      • アルカディウス マリノフスキ,堀勝,関根誠,石川健治,近藤博基,山本洋,竹内拓也,鈴木俊哉,宮脇雄大,リディア ルカシャック,アンジェイ ヤクボフスキ,ダニエル トマシェフスキ
  • “C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解明”
    • 16p-ZA-1
      • 近藤祐介,宮脇雄大,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,林俊雄,関根誠,岡本秀一,堀勝:
  • “ラジカルが発生し易いエッチングガスと分子構造”
    • 16p-ZA-2
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱:
  • “フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面改質層の解析”
    • 16p-ZA-4
      • 竹内拓也,尼崎新平,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,豊田浩孝,関根誠,堀勝,康松潤,沢田郁夫:
  • “ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明(III)”
    • 16p-ZA-5
      • 宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,伊東安曇,松本裕一,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝:
  • “C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネ ス発生抑制機構”
    • 16p-ZA-6
      • 山本洋,宮脇雄大,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝,伊東安曇,松本裕一:
  • “サブナノメーター形状揺らぎ制御有機膜エッチングのための主要因子の解明”
    • 16p-ZA-8
      • 鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝:
  • “二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのDCバイアス印加効果(III)”
    • 16p-ZA-9
      • 山口剛,竹田圭吾,輿水地塩,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝:
  • “O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メカニズム”
    • 16p-ZA-12
      • 浅野高平,山本洋,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の解析”
    • 16p-ZA-13
      • 鷲見直也,石川健冶,河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “プラズマエッチング高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエッチング表面反応の解明”
    • 17a-ZA-2
      • 米谷亮祐,陳尚,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,江川孝志,節原裕一,天野浩,堀勝:
  • “プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析”
    • 17a-ZA-3
      • 陳尚,米谷亮祐,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,加納浩之,徳田豊,関根誠,節原裕一,江川孝志,天野浩,堀勝:
  • “エタノールを用いた気液プラズマによるカーボンナノ材料の作製”
    • 14a-ZK-6
      • 萩野達也,乾裕俊,加納浩之,石川健治,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “和周波振動分光(SFG)によるポリフッ化ビニリデンの分極配向特性評価”
    • 14a-K-2
      • 石川健治,河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝:
  • “カーボンナノウォールの成長に対する基板形状の効果”
    • 16p-ZM-3
      • 渡邊均,近藤博基,石川健治,竹田圭吾,関根誠,堀勝,平松美根男:
  • “単一カーボンナノウォールの電気特性”
    • 16a-ZQ-6
      • 神田貴幸,山川晃司,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,平松美根男,関根誠,堀勝:
  • (シンポジウム招待講演)“ESR インライン計測による材料エッチング過程の観察”,
    • 17a-ZC-6
      • 石川健治,山崎聡,関根誠,堀勝:

  • (招待 講演)“半導体プラズマプロセス中の表面反応機構の解析”,
    • 第10回インテリジェントナノプロセス 2010年12月22日,東北大学
      • 石川健治,関根誠,堀勝:

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Copyright Kenji Ishikawa (c) 2009-2020 Center for Low-temperature plasma sciences, Nagoya University.

Last-modified: 2020-11-20 (金) 22:57:42