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2012年

2012年春季 第59回応用物理学関係連合講演会(早稲田大学) 2012年3月15日-3月18日

  • Effect of growth temperature on chemical bonding structures of amorphous carbon films prepared by radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition
    • 17a-A7-8
      • 于楽泳,九鬼淳,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝
  • 水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における成膜速度の向上効果
    • 16p-A7-8
      • 陸雅,福島敦史,阿部祐介,金淵俊,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝
  • GaN におけるプラズマダメージの水素ラジカル修復(2)
    • 17p-A7-7
      • 陳尚,盧翌,米谷亮祐,石川健治,竹田圭吾,近藤博基,加納浩之,徳田豊,関根誠,江川孝志,天野浩,堀勝
  • プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(3)
    • 17p-A7-9
      • 鷲見直也,石川健治,河野昭彦,堀邊英夫,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝
  • ハイドロフルオロカーボンプラズマにおける絶縁膜の高選択エッチングメカニズムの解明
    • 17p-A7-10
      • 古室達也,竹田圭吾,石川健治,関根 誠,近藤博基,堀勝
  • 絶縁膜プラズマエッチングにおけるArFフォトレジストの表面モフォロジと化学結合変化の解析
    • 17p-A7-13
      • 浅野高平,山本洋,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,山崎敦代,鈴木建文,松本裕一,関根誠,堀勝
  • プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発
    • 17p-A7-14
      • 田嶋聡美,石川健治,林俊雄,堀勝
  • H2/N2プラズマ中のラジカル密度へ前のプロセスが与える影響
    • 17p-A7-16
      • 鈴木俊哉,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,節原裕一,白谷正治,関根誠,堀勝
  • C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチングの機構解明
    • 17p-A7-17
      • 宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,伊東安曇,鈴木健文,松本裕一,関根誠,堀勝
  • SiエッチングにおけるO2、N2添加効果(II)
    • 17p-A7-19.
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
  • 基本的なエッチングガスの電子物性
    • 17p-A7-20.
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝,河野明廣,鄒弘綱
  • ミドリカビ胞子からの電子スピン共鳴信号の同定
    • 17p-B8-7.
      • 森山寛子,民谷和浩,橋爪博司,田中宏昌,石川健治,太田貴之,伊藤昌文,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,堀勝
  • カーボンナノウォールの結晶学的構造に対する過酸化水素水処理の効果
    • 17p-A3-9.
      • 下枝弘尚,近藤博基,石川健治,平松美根男,関根誠,堀勝
  • 超臨界流体を用いたPt-Au合金ナノ微粒子/カーボンナノウォール(CNWs)複合材料の作成
    • 17p-B2-16.
      • 堀部剛良,三ツ口真司,加納浩之,近藤博基,石川健治,平松美根男,関根誠,堀勝
  • 有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成
    • 16a-E3-5.
      • 鈴木俊哉,Arkadiusz Malinowski,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,節原裕一,白谷正治,関根誠,堀勝
  • カーボンナノウォールの構造制御合成と高次機能化
    • 15p-E8-4.
      • 堀勝,近藤博基,石川健治,竹田圭吾,関根誠,平松美根男
  • Inactivation of spores of P. digitatum and its quantitative-evaluation using non-equilibrium atmospheric-pressure high-density oxygen-radical source
    • 16a-B8-1.
      • Hiroshi Hashizume,Takayuki Ohta,Masafumi Ito,Sachiko Iseki,Fengdong Jia,Keigo Takeda,Kenji Ishikawa,and Masaru Hori
  • Anti-tumor effects of glioma cancer cells by plasma activated medium
    • 16a-B8-5.
      • Hiromasa Tanaka,Kae Nakamura,Sachiko Iseki,Hiroko Moriyama,Hiroaki Kajiyama,Kenji Ishikawa,Hiroyuki Kano,Fumitaka Kikkawa,Masaaki Mizuno,and Masaru Hori
  • Real time in situ ESR measurements of Penicillium digitatum spores during oxygen radical irradiation
    • 16p-B8-2.
      • Kazuhiro Tamiya,Kenji Ishikawa,Hiroshi Hashizume,Takayuki Ohta,Masafumi Ito,Hiromasa Tanaka,Hiroko Moriyama,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,and Masaru Hori
  • Spatio-temporal behaviours of species generated by atmospheric pressure plasma (1)
    • 16p-B8-6.
      • Fengdong Jia,Keigo Takeda,Kenji Ishikawa,Hiroyuki Kano,Kularatne Jagath,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,and Masaru Hori
  • Gas Temperature Behavior of Atmospheric Pressure Plasma Used for Metal Element Analysis in Liquid
    • 16p-B8-12.
      • Jagath Kularatne,Hiroyuki Kano,Fengdong Jia,Masafumi Ito,Takayuki Ohta,Keigo Takeda,Kenji Ishikawa,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,and Masaru Hori

中部ナノテク総合支援: ナノ材料創製加工と先端機器分析 平成23年度成果報告会, 自然科学研究機構岡崎コンファレンスセンター、2012年3月31日,

  • フッ素ラジカル密度計測システムの開発
    • T05
      • 東島康裕, 高島成剛, 竹田圭吾, 石川健治, 関根 誠, 堀 勝
  • AC励起大気圧非平衡O2/Arプラズマジェットの酸素原子空間密度分布
    • P05
      • 竹田圭吾, 加藤正規, 石川健治, 関根 誠, 堀 勝

  • 水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解機構の解明
    • 第9回 Cat-CVD研究会 日本大学津田沼キャンパス, 2012年6月22日-23日, OS-03
      • 新井 祐, 能登 雄祐, 渡邉 誠, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河野 昭彦, 石川 健治, 堀 勝, 堀邊 英夫

2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会(愛媛大学・松山大学) 2012年9月11日-14日

  • Measurement of SiH3 Radicals in SiH4/H2 Plasma for Silicon Thin-Film Solar Cells
    • 13p-E1-16
      • Yusuke Abe,Atsushi Fukushima,Ya Lu,Youn Joon Kim,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Kenji Ishikawa,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Effect of nitrogen doping on photoconductivity of amorphous carbon films grown by radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition
    • 13p-E1-17
      • Leyong Yu,Jun Kuki,Hiroki Kondo,Kenji Ishikawa,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Study on reaction mechanism of plasma-enhanced atomic layer deposition of SiO2 using in-situ ATR-FTIR
    • 13p-E1-18
      • Yi Lu,Akiko Kobayashi,Youn Joon Kim,Kenji Ishikawa,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Relationship between Ion Energy and Highly Selective SiO2 Etching Characteristics using C5HF7 Gas
    • 13p-E1-1
      • Yudai Miyawaki,Yusuke Kondo,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Kenji Ishikawa,Azumi Ito,Hirikazu Matsumoto,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Mechanism of Etching and Generating Active Species in CHxFy Plasma
    • 13p-E1-2
      • Yusuke Kondo,Yudai Miyawaki,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Kenji Ishikawa,Toshio Hayashi,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Impact of Last Reactor Condition to Radical Density in Subsequent H2/N2 plasma and its Control
    • 13p-E1-3
      • Toshiya Suzuki,Arkadiusz Malinowski,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Kenji Ishikawa,Yuiichi Setsuhara,Masaharu Shiratani,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Properties of GaAs surface by ion irradiation of chlorine
    • 13p-E1-4
      • Jongyun Park,Takuya Takeuchi,Jiadong Cao,Kenji Ishikawa,Yuichi Setsuhara,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Behaviors of activated species generated by ultrahigh density 60 Hz atmospheric pressure Ar plasma in atmospheric gas
    • 13p-E1-9
      • Keigo Takeda,Kenji Ishikawa,Hiromasa Tanaka,Hiroyuki Kano,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Identification of ESR signals arisen from Penicillium digitatum spores-2
    • 13p-E1-10
      • Hiroko Mizuno,Hiroshi Hashizume,Hiromasa Tanaka,Kenji Ishikawa,Takayuki Ohta,Masafumi Ito,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Vibrational Sum-Frequency-Generation (SFG) Spectroscopic study -2
    • 13p-E1-11
      • Kenji Ishikawa,Hiroko Mizuno,Hiromasa Tanaka,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • Measuring Metal Elements in Food Products Using Ar Atmospheric Pressure Plasma
    • 13p-E1-12
      • Jagath Kularatne,Hiroyuki Kano,Masafumi Ito,Takayuki Ohta,Keigo Takeda,Hiroki Kondo,Kenji Ishikawa,Makoto Sekine,Masaru Hori
  • 窒化ガリウム(GaN)向けサファイア基板の周波数領域型低コヒーレンス干渉計による温度計測
    • 11p-E2-8
      • 堤隆嘉,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,太田貴之,伊藤昌文,関根誠,堀勝
  • Study on synthesis mechanisms of nano-graphene materials employing alcohol in-liquid plasma
    • 12a-E1-4
      • 近藤博基,萩野達也,石川健治,関根誠,加納浩之,堀勝
  • 水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜のRFパワーによる膜質変化
    • 13a-E2-6
      • 陸雅,福島敦史,阿部祐介,金淵俊,竹田圭吾,石川健治,近藤博基,関根誠,堀勝
  • SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法におけるHラジカル・成膜前駆体フラックス比とシリコン薄膜膜質の関係性
    • 13a-E2-7
      • 福島敦史,阿部祐介,陸雅,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,堀勝
  • プリンタブルエレクトロニクスに向けた大気圧ミスト化学気相堆積技術の構築
    • 13p-E2-3
      • 孫昿達,竹田圭吾,近藤博基,田嶋聡美,石川健治,関根誠,堀勝,伊藤仁
  • C5HF7ガスプラズマによるArFフォトレジストの表面ラフネス形成の低減機構
    • 13p-E2-17
      • 浅野高平,宮脇雄大,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,伊東安曇,松本裕一,関根誠,堀勝
  • 二周波容量結合型プラズマへのDCバイアス重畳によるSiC膜に対する高選択比絶縁膜エッチング
    • 13p-E2-19
      • 古室達也,竹田圭吾,石川健治,関根誠,大矢欣伸,近藤博基,堀勝
  • GaNにおけるプラズマダメージのラジカル修復(3)
    • 13p-E2-20
      • Zecheng Liu,陳尚,盧翌,米谷亮祐,石川健治,加納浩之,竹田圭吾,近藤博基,関根誠,江川孝志,堀勝,天野浩
  • Ga系化合物半導体のプラズマエッチングに関する研究
    • 13p-E2-21
      • 曹佳棟,米谷亮祐,朴鐘胤,盧翌,陳尚,石川健治,関根誠,堀勝
  • プラズマからの紫外線照射によるSiNx:H/Si界面準位生成
    • 13a-E3-1
      • 深沢正永,松谷弘康,本多孝好,宮脇雄大,近藤祐介,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,関根誠,南正樹,上澤史且,堀勝,辰巳哲也
  • C5F8および C5HF7の励起解離
    • 13a-E3-4
      • 林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝
  • 活性酸素種の密度測定によるミドリカビ胞子殺菌の定量的評価の検討
    • 13a-E1-35
      • 橋爪博司,太田貴之,伊藤昌文,賈鳳東,竹田圭吾,石川健治,堀勝
  • プラズマ培養液によるグリオーマ脳腫瘍細胞の選択的殺傷
    • 13a-E1-37
      • 田中宏昌,水野正明,石川健治,中村香江,梶山広明,加納浩之,吉川史孝,堀勝
  • 超臨界流体を用いたカーボンナノウォール(CNWs)へのPt, Au微粒子の2段階担持における微粒子相互作用
    • 11p-C2-38
      • 堀部剛良,近藤博基,加納浩之,石川健治,関根誠,平松美根男,堀勝
  • カーボンナノウォールの結晶構造に対するラジカル酸化効果
    • 12p-E3-2
      • 下枝弘尚,近藤博基,石川健治,平松美根男,関根誠,堀勝
  • カーボンナノウォールのテラヘルツ時間領域分光計測による光学特性評価
    • 12a-C2-2
      • 平岡丈弘,竹田圭吾,太田貴之,海老塚昇,近藤博基,石川健治,伊藤昌文,川瀬晃道,関根誠,堀勝
  • 窒素/水素混合ガスプラズマを用いたグラフェンエッジ化学修飾によるカーボンナノウォールの電気的特性制御
    • 12a-C2-6
      • 趙亨峻,近藤博基,石川健治,関根誠,平松美根男,堀勝
  • プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発(II)
    • 13a-F7-4
      • 田嶋聡美,林俊雄,石川健治,関根誠,堀勝
  • 有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成(II)
    • 13p-F7-1
      • 鈴木俊哉,Arkadiusz Malinowski,竹田圭吾,近藤博基,石川健治,節原裕一,白谷正治,関根誠,堀勝

  • 水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解反応
    • 第61回高分子討論会, 名古屋工業大学, 2012年9月19日~21日, 2N07
      • 新井 祐, 能登 雄佑, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河野 昭彦, 石川 健治, 堀 勝, 堀邊 英夫
  • Etched Profile Control in H2/N2 Plasma with Radical Density Monitoring
    • Advanced Metallization Conference (ADMETA) 2012, 22nd Asian Session, 東京大学, 2012年10月23日~25日, P-9
      • Toshiya Suzuki, A. Malinowski, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori

国内 会議 2022 | 2021 | 2020 | 2019 | 2018 | 2017 | 2016 | 2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | before 2009


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Last-modified: 2020-11-20 (金) 22:56:22